화강암은 뛰어난 기계적 특성과 내구성으로 인해 웨이퍼 가공 산업에서 널리 사용되는 재료입니다.전 세계 채석장에서 채굴되는 천연석으로 반도체 장비 제조를 비롯한 다양한 건축용으로 수세기 동안 사용되어 왔습니다.이 기사에서는 화강암의 특성과 웨이퍼 처리 장비에서의 다양한 응용에 대해 논의합니다.
화강암의 성질
화강암은 운모, 장석, 석영으로 구성된 화성암입니다.뛰어난 강도, 경도 및 내구성으로 잘 알려져 있어 높은 정밀도와 정확성이 요구되는 응용 분야에 이상적인 소재입니다.화강암은 열팽창계수가 낮아 온도변화에 팽창하거나 수축하지 않아 안정성이 매우 높습니다.또한 화강암은 부식 및 화학 물질에 강하므로 열악한 환경에서 사용하기에 이상적인 재료입니다.
웨이퍼 처리 장비에 화강암의 응용
화강암은 고유한 특성 조합으로 인해 웨이퍼 가공 산업에서 널리 사용되는 재료입니다.다음은 웨이퍼 처리 장비에 화강암을 적용한 것 중 일부입니다.
1. 계측 도구
화강암은 일반적으로 좌표 측정기(CMM) 및 광학 측정 시스템과 같은 계측 도구 제조에 사용됩니다.이러한 도구에는 진동과 열에 저항할 수 있는 안정적인 표면이 필요합니다.화강암은 강성이 높고 열팽창이 낮기 때문에 이러한 용도에 이상적인 재료입니다.
2. 웨이퍼 척
웨이퍼 척은 제조 공정에서 웨이퍼를 고정하는 데 사용됩니다.이러한 척은 웨이퍼가 휘거나 구부러지는 것을 방지하기 위해 평평하고 안정적인 표면이 필요합니다.화강암은 매우 안정적이고 뒤틀림에 강한 평평한 표면을 제공하므로 웨이퍼 척에 탁월한 소재입니다.
3. 화학기계연마(CMP) 도구
CMP 도구는 제조 공정에서 웨이퍼를 연마하는 데 사용됩니다.이러한 도구에는 진동과 열에 견딜 수 있는 안정적인 플랫폼이 필요합니다.화강암의 뛰어난 강성과 낮은 열팽창으로 인해 화강암은 CMP 도구에 이상적인 재료입니다.
4. 웨이퍼 검사 장비
웨이퍼 검사 장비는 웨이퍼의 결함 및 결함을 검사하는 데 사용됩니다.이러한 도구는 정확한 측정을 보장하기 위해 안정적이고 평평한 표면이 필요합니다.화강암은 뒤틀림에 강한 안정적이고 평평한 표면을 제공하므로 웨이퍼 검사 장비에 이상적인 재료입니다.
결론
결론적으로 화강암은 뛰어난 기계적 특성과 내구성으로 인해 웨이퍼 가공 산업에서 널리 사용되는 재료입니다.계측 도구, 웨이퍼 척, CMP 도구 및 웨이퍼 검사 장비 제조에 일반적으로 사용됩니다.고유한 특성 조합으로 인해 높은 정밀도와 정확성이 요구되는 응용 분야에 이상적인 소재입니다.많은 이점을 지닌 화강암은 웨이퍼 처리 장비로 여전히 인기 있는 선택이며, 앞으로도 그 사용이 계속 늘어날 것으로 보입니다.
게시 시간: 2023년 12월 27일