화강암은 탁월한 기계적 특성과 내구성으로 인해 웨이퍼 처리 산업에서 인기있는 재료입니다. 전 세계 채석장에서 채굴 된 천연 석재이며 반도체 장비 제조를 포함하여 다양한 건축 목적으로 수세기 동안 사용되었습니다. 이 기사에서는 화강암의 특성과 웨이퍼 처리 장비의 다양한 응용에 대해 논의 할 것입니다.
화강암의 특성
화강암은 운모, 장석 및 석영으로 구성된 화성암입니다. 탁월한 강도, 경도 및 내구성으로 유명하여 높은 정밀도와 정확도가 필요한 응용 분야에 이상적인 재료입니다. 화강암은 열 팽창 계수가 낮으므로 온도 변화로 인해 확장되거나 수축되지 않으므로 매우 안정적입니다. 또한 화강암은 부식 및 화학 물질에 저항력이있어 가혹한 환경에서 사용하기에 이상적인 재료입니다.
웨이퍼 처리 장비에서 화강암의 응용
화강암은 고유 한 특성 조합으로 인해 웨이퍼 처리 산업에서 널리 사용되는 재료입니다. 다음은 웨이퍼 처리 장비에서 화강암의 적용 중 일부입니다.
1. 메트로학 도구
화강암은 일반적으로 좌표 측정 기계 (CMM) 및 광학 측정 시스템과 같은 계측 도구의 제조에 사용됩니다. 이 도구에는 진동과 열에 저항 할 수있는 안정적인 표면이 필요합니다. 화강암의 높은 강성 및 낮은 열 팽창은 이러한 응용 분야에 이상적인 재료입니다.
2. 웨이퍼 척
웨이퍼 척은 제조 공정에서 웨이퍼를 유지하는 데 사용됩니다. 이 척은 웨이퍼가 뒤틀 리거나 구부러지지 않도록 평평하고 안정적인 표면이 필요합니다. 화강암은 평평한 표면을 제공하여 뒤틀림에 매우 안정적이고 저항력이있어 웨이퍼 척을위한 우수한 재료입니다.
3. CMP (Chemical Mechanical Polishing) 도구
CMP 도구는 제조 공정에서 웨이퍼를 연마하는 데 사용됩니다. 이 도구에는 진동과 열에 저항 할 수있는 안정적인 플랫폼이 필요합니다. 탁월한 강성과 화강암의 열 팽창은 CMP 도구에 이상적인 재료입니다.
4. 웨이퍼 검사 장비
웨이퍼 검사 장비는 웨이퍼가 결함과 결함을 검사하는 데 사용됩니다. 이 도구는 정확한 측정을 보장하기 위해 안정적이고 평평한 표면이 필요합니다. 화강암은 뒤틀림에 내성이있는 안정적이고 평평한 표면을 제공하여 웨이퍼 검사 장비에 이상적인 재료입니다.
결론
결론적으로, 화강암은 탁월한 기계적 특성과 내구성으로 인해 웨이퍼 처리 산업에서 널리 사용되는 재료입니다. 일반적으로 계측 도구, 웨이퍼 척, CMP 도구 및 웨이퍼 검사 장비의 제조에 사용됩니다. 고유 한 속성 조합은 높은 정밀도와 정확도가 필요한 애플리케이션에 이상적인 재료입니다. 많은 이점으로 화강암은 웨이퍼 가공 장비에 인기있는 선택으로 남아 있으며, 앞으로도 계속 증가 할 것입니다.
후 시간 : 12 월 27 일 -2023 년