화강암 부품은 우수한 표면 조도, 높은 강성, 우수한 진동 감쇠 등 우수한 특성으로 인해 반도체 제조 공정에서 널리 사용되었습니다.화강암 부품은 제조 공정 중에 정밀한 위치 지정과 안정성을 제공하므로 리소그래피 기계, 연마 기계, 계측 시스템을 포함한 반도체 제조 장비에 필수적입니다.화강암 구성 요소 사용의 모든 장점에도 불구하고 결함도 있습니다.이 기사에서는 반도체 제조 공정 제품의 화강암 부품 결함에 대해 논의합니다.
첫째, 화강암 구성 요소는 열팽창 계수가 높습니다.이는 열 응력 하에서 크게 팽창하여 제조 과정에서 문제를 일으킬 수 있음을 의미합니다.반도체 제조 공정에는 열 응력으로 인해 손상될 수 있는 높은 정밀도와 치수 정확도가 필요합니다.예를 들어, 열팽창으로 인한 실리콘 웨이퍼 변형은 리소그래피 중에 정렬 문제를 발생시켜 반도체 장치의 품질을 저하시킬 수 있습니다.
둘째, 화강암 부품에는 반도체 제조 공정에서 진공 누출을 일으킬 수 있는 다공성 결함이 있습니다.시스템에 공기나 기타 가스가 있으면 웨이퍼 표면이 오염되어 반도체 장치의 성능에 영향을 미칠 수 있는 결함이 발생할 수 있습니다.아르곤 및 헬륨과 같은 불활성 가스는 다공성 화강암 구성 요소에 스며들어 진공 공정의 무결성을 방해할 수 있는 가스 거품을 생성할 수 있습니다.
셋째, 화강암 부품에는 제조 공정의 정밀도를 방해할 수 있는 미세 균열이 있습니다.화강암은 시간이 지남에 따라, 특히 지속적인 응력 주기에 노출될 때 미세 균열이 발생할 수 있는 부서지기 쉬운 재료입니다.미세 균열이 있으면 치수 불안정이 발생하여 리소그래피 정렬이나 웨이퍼 연마와 같은 제조 공정 중에 심각한 문제가 발생할 수 있습니다.
넷째, 화강암 구성 요소는 유연성이 제한되어 있습니다.반도체 제조 공정에는 다양한 공정 변화를 수용할 수 있는 유연한 장비가 필요합니다.그러나 화강암 구성요소는 단단하고 다양한 공정 변화에 적응할 수 없습니다.따라서 제조 공정이 변경되면 화강암 구성 요소를 제거하거나 교체해야 하므로 가동 중지 시간이 발생하고 생산성에 영향을 미칩니다.
다섯째, 화강암 구성 요소는 무게와 취약성으로 인해 특별한 취급 및 운송이 필요합니다.화강암은 밀도가 높고 무거운 재료이므로 크레인이나 리프터와 같은 특수 취급 장비가 필요합니다.또한 화강암 구성 요소는 배송 중 손상을 방지하기 위해 신중한 포장 및 운송이 필요하므로 추가 비용과 시간이 발생합니다.
결론적으로 화강암 부품에는 반도체 제조 공정 제품의 품질과 생산성에 영향을 미칠 수 있는 몇 가지 단점이 있습니다.이러한 결함은 미세 균열 및 다공성 결함에 대한 주기적인 검사, 오염 방지를 위한 적절한 청소, 운송 중 세심한 취급 등 화강암 구성 요소의 세심한 취급 및 유지 관리를 통해 최소화할 수 있습니다.결함에도 불구하고 화강암 부품은 우수한 표면 마감, 높은 강성 및 우수한 진동 감쇠로 인해 반도체 제조 공정에서 여전히 중요한 부분으로 남아 있습니다.
게시 시간: 2023년 12월 5일