화강암 성분은 우수한 표면 마감, 강성 및 우수한 진동 감쇠와 같은 우수한 특성으로 인해 반도체 제조 공정에서 널리 사용되었습니다. 화강암 성분은 제조 공정에서 정밀 위치 및 안정성을 제공하므로 리소그래피 기계, 연마기 및 계측 시스템을 포함한 반도체 제조 장비에 필수적입니다. 화강암 성분을 사용하면 모든 장점에도 불구하고 결함도 있습니다. 이 기사에서는 반도체 제조 공정 제품에 대한 화강암 성분의 결함에 대해 논의 할 것입니다.
첫째, 화강암 성분은 높은 열 팽창 계수를 갖습니다. 이는 열 응력 하에서 크게 확장되어 제조 공정에서 문제를 일으킬 수 있음을 의미합니다. 반도체 제조 공정에는 열 응력으로 인해 손상 될 수있는 높은 정밀 및 치수 정확도가 필요합니다. 예를 들어, 열 팽창으로 인한 실리콘 웨이퍼 변형은 리소그래피 중에 정렬 문제를 일으킬 수 있으며, 이는 반도체 장치의 품질을 손상시킬 수 있습니다.
둘째, 화강암 성분은 반도체 제조 공정에서 진공 누출을 일으킬 수있는 다공성 결함을 가지고 있습니다. 시스템에 공기 또는 기타 가스가 있으면 웨이퍼 표면에 오염이 발생하여 반도체 장치의 성능에 영향을 줄 수있는 결함이 발생할 수 있습니다. 아르곤 및 헬륨과 같은 불활성 가스는 다공성 화강암 성분으로 스며 들어 진공 공정의 무결성을 방해 할 수있는 가스 기포를 만들 수 있습니다.
셋째, 화강암 성분에는 제조 공정의 정밀도를 방해 할 수있는 미세 생성이 있습니다. 화강암은 특히 일정한 응력주기에 노출 될 때 시간이 지남에 따라 미세 생산을 개발할 수있는 취성 물질입니다. 미세 생성의 존재는 치수 불안정성을 유발하여 리소그래피 정렬 또는 웨이퍼 연마와 같은 제조 공정에서 중요한 문제를 일으킬 수 있습니다.
넷째, 화강암 성분은 유연성이 제한적입니다. 반도체 제조 공정에는 다양한 공정 변경을 수용 할 수있는 유연한 장비가 필요합니다. 그러나 화강암 성분은 단단하며 다른 프로세스 변화에 적응할 수 없습니다. 따라서, 제조 공정의 모든 변화는 화강암 성분의 제거 또는 교체를 필요로하여 가동 중지 시간을 초래하고 생산성에 영향을 미칩니다.
다섯째, 화강암 성분은 체중과 취약성으로 인해 특별한 취급 및 운송이 필요합니다. 화강암은 크레인 및 리프터와 같은 특수 처리 장비가 필요한 조밀하고 무거운 재료입니다. 또한 화강암 구성 요소는 배송 중 손상을 방지하기 위해 신중한 포장 및 운송이 필요하므로 추가 비용과 시간이 발생합니다.
결론적으로, 화강암 성분은 반도체 제조 공정 제품의 품질 및 생산성에 영향을 줄 수있는 몇 가지 단점을 가지고 있습니다. 미세 혈압 및 다공성 결함에 대한 정기 검사, 오염을 방지하기위한 적절한 청소 및 운송 중 신중한 취급을 포함하여 화강암 성분의 신중한 취급 및 유지 보수를 통해 이러한 결함을 최소화 할 수 있습니다. 결함에도 불구하고, 화강암 성분은 우수한 표면 마감, 강성 및 우수한 진동 감쇠로 인해 반도체 제조 공정의 중요한 부분으로 남아 있습니다.
시간 후 : DEC-05-2023