화강암 에어베어링 스테이지는 반도체, 마이크로 전자공학, 광학 장치 및 위성의 제조 및 테스트에 일반적으로 사용되는 정밀 장비의 필수 부품입니다.이 스테이지는 얇은 공기층에 의해 부양되고 전자기 모터와 선형 인코더에 의해 구동되는 움직이는 플랫폼을 수용하는 화강암 베이스로 구성됩니다.화강암 에어베어링 스테이지에는 다른 많은 유형의 스테이지보다 선호되는 선택이 되는 독특한 품질이 많이 있습니다.
화강암 에어베어링 스테이지의 장점:
1. 높은 정밀도 및 정확도 - 화강암 에어 베어링 스테이지는 높은 수준의 정밀도를 제공하며 몇 나노미터 이내의 정확도를 유지할 수 있습니다.이는 오류로 인해 최종 제품에 큰 변화가 발생할 수 있는 리소그래피와 같은 공정에서 매우 중요합니다.
2. 높은 부하 용량 – 화강암 에어 베어링 스테이지는 볼 베어링 스테이지와 같은 다른 대안과 달리 무거운 하중을 지탱할 수 있는 견고한 화강암 베이스를 가지고 있습니다.이 기능은 반도체 및 마이크로전자공학 생산에 사용되는 대형 웨이퍼 및 도구를 처리하는 데 이상적입니다.
3. 무마찰 모션 및 부드러움 – 화강암 에어 베어링 스테이지는 플랫폼과 베이스 사이의 접촉을 제거하는 얇은 공기층에 움직이는 플랫폼을 매달아 놓습니다.따라서 움직이는 부분 사이에 마찰이 없어 부드럽고 진동 없는 움직임을 제공합니다.
4. 고속 기능 – 화강암 에어베어링 스테이지에 사용되는 전자기 모터는 고속 이동이 가능하므로 위치 지정, 스캐닝 및 기타 고정밀 작업에 이상적입니다.
5. 긴 수명 및 최소한의 유지 관리 - 무대의 기초를 형성하는 화강암 베이스는 탁월한 견고성, 열 안정성 및 마모에 대한 저항성을 제공합니다.따라서 화강암 에어베어링 스테이지는 최소한의 유지보수만 필요하고 긴 수명을 제공합니다.
화강암 에어베어링 스테이지의 단점:
1. 비용 - 화강암 에어베어링 스테이지를 설계하고 제조하는 데 사용되는 첨단 기술로 인해 비용이 많이 드는 투자가 이루어집니다.이는 소규모 기업이나 예산이 부족한 기업에게는 단점이 될 수 있습니다.
2. 복잡한 설치 – 화강암 에어베어링 단계는 설치, 교정 및 작동 중에 전문 지식과 전문 지식이 필요하므로 전문가가 아닌 사람에게는 어려운 작업입니다.
3. 진동에 대한 민감성 - 화강암 에어베어링 스테이지가 부드럽고 진동 없는 움직임을 제공하도록 설계되었더라도 플로팅 플랫폼의 섬세한 균형을 방해하는 외부 진동의 영향을 받을 수 있습니다.
결론적으로, 화강암 에어베어링 스테이지는 큰 하중의 부드럽고 빠른 이동이 필요한 고정밀 응용 분야에 매우 효과적이고 정확한 솔루션입니다.견고함, 내구성 및 긴 수명으로 인해 많은 제조, 테스트 및 연구 작업에서 선호되는 선택입니다.높은 초기 비용과 복잡한 설치가 단점일 수 있지만, 화강암 에어베어링 스테이지가 제공하는 장점이 단점보다 크기 때문에 정밀 장비에 대한 탁월한 투자가 됩니다.
게시 시간: 2023년 10월 20일