화강암 에어 베어링 스테이지는 반도체, 마이크로일렉트로닉스, 광학 장치, 위성의 제조 및 테스트에 일반적으로 사용되는 정밀 장비의 필수 부품입니다. 이 스테이지는 화강암 베이스 위에 얇은 공기층에 의해 부상되고 전자기 모터와 선형 인코더로 구동되는 이동 플랫폼이 있는 구조로 구성됩니다. 화강암 에어 베어링 스테이지는 여러 가지 고유한 특성을 가지고 있어 다른 여러 유형의 스테이지보다 선호됩니다.
화강암 에어 베어링 스테이지의 장점:
1. 높은 정밀도와 정확도 – 화강암 에어 베어링 스테이지는 높은 수준의 정밀도를 제공하며, 수 나노미터 이내의 정확도를 유지할 수 있습니다. 이는 리소그래피와 같이 오류가 최종 제품에 중대한 영향을 미칠 수 있는 공정에서 매우 중요합니다.
2. 높은 하중 용량 - 화강암 에어 베어링 스테이지는 견고한 화강암 베이스를 사용하여 볼 베어링 스테이지와 같은 다른 스테이지와 달리 무거운 하중을 견딜 수 있습니다. 이러한 특징으로 인해 반도체 및 마이크로전자 제품 생산에 사용되는 대형 웨이퍼와 공구를 처리하는 데 이상적입니다.
3. 마찰 없는 동작 및 부드러움 - 화강암 에어 베어링 스테이지는 이동 플랫폼을 얇은 공기층에 매달아 플랫폼과 베이스 사이의 접촉을 제거합니다. 따라서 이동 부품 사이에 마찰이 없어 부드럽고 진동 없는 동작을 제공합니다.
4. 고속 기능 – 화강암 공기 베어링 스테이지에 사용되는 전자기 모터는 고속 이동을 허용하므로 위치 지정, 스캐닝 및 기타 고정밀 작업에 이상적입니다.
5. 긴 수명과 최소한의 유지 보수 - 스테이지의 기초를 형성하는 화강암 베이스는 탁월한 강성, 열 안정성, 그리고 내마모성을 제공합니다. 따라서 화강암 에어베어링 스테이지는 최소한의 유지 보수만 필요하고 긴 수명을 제공합니다.
화강암 공기 베어링 스테이지의 단점:
1. 비용 – 화강암 에어베어링 스테이지의 설계 및 제조에 사용되는 첨단 기술은 투자 비용이 높습니다. 이는 소규모 사업체나 예산이 부족한 기업에게는 단점이 될 수 있습니다.
2. 복잡한 설치 – 화강암 공기 베어링 스테이지는 설치, 교정 및 작동 중에 전문적인 지식과 전문성이 필요하므로 전문가가 아닌 사람에게는 어렵습니다.
3. 진동에 대한 민감성 – 화강암 공기 베어링 스테이지는 부드럽고 진동 없는 동작을 제공하도록 설계되었지만, 부유 플랫폼의 섬세한 균형을 방해하는 외부 진동의 영향을 받을 수 있습니다.
결론적으로, 화강암 에어 베어링 스테이지는 큰 하중의 부드럽고 빠른 이동이 필요한 고정밀 응용 분야에 매우 효과적이고 정확한 솔루션입니다. 견고성, 내구성, 그리고 긴 수명으로 인해 많은 제조, 시험 및 연구 작업에 선호되는 선택입니다. 높은 초기 비용과 복잡한 설치가 단점일 수 있지만, 화강암 에어 베어링 스테이지는 이러한 단점을 상쇄하는 장점을 제공하므로 정밀 장비에 대한 훌륭한 투자입니다.
게시 시간: 2023년 10월 20일