화강암 공기 베어링 단계는 반도체 및 미세 전자 공학, 광학 장치 및 위성의 제조 및 테스트에 일반적으로 사용되는 정밀 장비의 필수 부분입니다. 이 단계는 얇은 공기 층에 의해 침수되고 전자기 모터 및 선형 인코더로 구동되는 움직이는 플랫폼을 수용하는 화강암베이스로 구성됩니다. 화강암 공기 베어링 스테이지에는 여러 가지 유형의 단계에서 선호하는 선택이 많이 있습니다.
화강암 공기 베어링 단계의 장점 :
1. 높은 정밀도 및 정확도 - 화강암 공기 베어링 단계는 높은 수준의 정밀도를 제공하며 몇 나노 미터 내에서 정확도를 유지할 수 있습니다. 이는 리소그래피와 같은 프로세스에서 중요하며, 모든 오류가 최종 제품에 중대한 변화를 일으킬 수 있습니다.
2. 높은 하중 용량 - 화강암 공기 베어링 스테이지에는 볼 베어링 스테이지와 같은 다른 대안과 달리 무거운 하중을 운반 할 수있는 강력한 화강암베이스가 있습니다. 이 기능은 반도체 및 마이크로 전자 공학 생산에 사용되는 대형 웨이퍼 및 도구를 처리하는 데 이상적입니다.
3. 마찰이없는 움직임과 부드러움 - 화강암 공기 베어링 단계는 플랫폼과베이스 사이의 접촉을 제거하는 얇은 공기 층으로 이동 플랫폼을 매달린다. 따라서 움직이는 부품 사이에는 마찰이 없으므로 부드럽고 진동이없는 움직임을 제공합니다.
4. 고속 기능-화강암 공기 베어링 스테이지에 사용되는 전자기 모터는 고속 이동을 허용하므로 위치, 스캔 및 기타 고정밀 작업에 이상적입니다.
5. 장수 및 최소 유지 보수 - 무대의 기초를 형성하는 화강암베이스는 탁월한 강성, 열 안정성 및 마모에 대한 저항을 제공합니다. 따라서 화강암 공기 베어링 단계는 최소한의 유지 보수가 필요하며 수명이 길어집니다.
화강암 공기 베어링 단계의 단점 :
1. 비용 - 화강암 공기 베어링 단계를 설계하고 제조하는 데 사용되는 고급 기술은 비용이 많이 드는 투자입니다. 이는 소규모 비즈니스 또는 예산이 부족한 회사의 단점이 될 수 있습니다.
2. 복잡한 설치-화강암 에어 베어링 단계는 설치, 교정 및 운영 중에 특수한 지식과 전문 지식이 필요하므로 비전문가에게는 어려움이 있습니다.
3. 진동 감도-화강암 공기 베어링 스테이지는 부드럽고 진동이없는 움직임을 제공하도록 설계되었지만 플로팅 플랫폼의 섬세한 균형을 방해하는 외부 진동의 영향을받을 수 있습니다.
결론적으로, 화강암 공기 베어링 단계는 큰 하중의 부드럽고 빠른 움직임이 필요한 고정밀 응용 분야를위한 매우 효과적이고 정확한 솔루션입니다. 견고성, 내구성 및 긴 수명은 많은 제조, 테스트 및 연구 운영에 선호되는 선택입니다. 초기 비용과 복잡한 설치가 단점 일 수 있지만 화강암 공기 베어링 단계에서 제공하는 장점은 그들의 단점을 능가하므로 정밀 장비에 대한 훌륭한 투자가되었습니다.
후 시간 : 10 월 20 일