정밀 가공된 화강암이 반도체 리소그래피 부품에 가장 적합한 소재일까요?

프리시전 그래나이트는 비자성, 높은 강성, 그리고 거의 0에 가까운 열팽창률 덕분에 리소그래피 및 계측 분야에서 나노미터 수준의 정밀도를 보장하는 데 필수적인 소재입니다.

비자성 및 화학적 안정성

반도체 제조의 고강도 전자기 환경에서,화강암 구성 요소화강암은 비자성 특성으로 인해 간섭을 방지합니다. 또한 화학적으로 불활성이며 가스를 방출하거나 입자를 생성하지 않으므로 ISO 1등급 클린룸 환경에 적합합니다.

최고의 물리적 강성 및 크리프 저항성

ZHHIMG가 선정한 고밀도 흑색 화강암은 극도의 경도를 자랑합니다. 장기간 하중을 받아도 물리적 변형이 거의 발생하지 않아 XY 스테이지에 안정적인 기반을 제공하고 수년간의 작동 기간 동안 일관되고 반복 가능한 위치 정밀도를 보장합니다.

열팽창에 따른 자연적 이점

반도체 공정은 열에 매우 민감합니다. 그래닛의 낮은 열팽창 계수는 정밀 모터에서 발생하는 열을 상쇄합니다. 여기에 당사의 고정밀 가공 기술이 더해져 다양한 작동 온도에서도 부품의 기하학적 형상이 변하지 않도록 보장합니다.

재료 성능 매트릭스

FAQ: 프리시전 그래닛

1. "검은색" 화강암을 선택해야 하는 이유는 무엇일까요? 검은색 화강암은 회색 화강암보다 밀도가 높고, 수분 흡수율이 낮으며, 안정성이 뛰어납니다.

2. 어떤 정밀 등급을 제공하시나요? 당사는 DIN 876 000 등급 표준까지 제조합니다.

3. 최대 크기는 얼마입니까? ZHHIMG는 최대 12미터 길이의 단일 부품을 가공할 수 있습니다.

4. 화강암 제품은 어떻게 관리해야 하나요? 특수 pH 중성 세척제를 사용하고 산성 물질과의 접촉을 피하십시오.

5. 인서트용 구멍을 뚫을 수 있습니까? 네, 스테인리스 스틸 인서트용 정밀 드릴링 및 2차 접합 서비스를 제공합니다.

6. 진공 상태에서 사용하기에 적합한가요? 물론입니다. 천연 화강암은 진공 상태에서도 가스를 방출하지 않습니다.