화강암은 건설 업계에서 자주 사용되는 단단하고 내구성이 뛰어난 소재입니다.그러나 이는 반도체 제조, 특히 집적 회로의 제조 및 처리에 유용하게 사용되는 특성도 가지고 있습니다.화강암 테이블 및 화강암 블록과 같은 화강암 구성 요소는 안정성, 평탄도 및 낮은 열팽창 계수로 인해 널리 사용됩니다.
반도체 제조에서 화강암 부품의 주요 용도 중 하나는 제조 공정입니다.집적 회로의 기본 구성 요소인 실리콘 웨이퍼는 높은 정밀도와 정확도로 제작되어야 합니다.공정 중 왜곡이나 움직임이 있으면 집적 회로의 품질과 기능에 영향을 미칠 수 있는 결함이 발생할 수 있습니다.높은 안정성과 평탄도를 갖춘 화강암 테이블은 웨이퍼 처리 장비에 적합한 플랫폼을 제공합니다.또한 공정에 필요한 가열 및 냉각으로 인한 열팽창 및 수축에 대한 저항력도 있습니다.
화강암 블록은 열 안정성을 위해 반도체 가공에도 사용됩니다.에칭 또는 증착 공정 중에 뜨거운 가스나 플라즈마가 실리콘 웨이퍼의 표면을 변형하는 데 사용됩니다.공정이 효율적이고 정확하게 수행되도록 하려면 웨이퍼의 온도를 제어해야 합니다.열팽창 계수가 낮은 화강암 블록은 웨이퍼 온도를 안정화하여 처리된 재료의 품질에 영향을 미칠 수 있는 온도 변동 위험을 줄이는 데 도움이 됩니다.
제조 및 처리 공정 외에도 화강암 구성 요소는 반도체 제조의 계측 및 검사 단계에도 사용됩니다.웨이퍼 구조의 크기, 모양 및 위치가 필수 사양 내에 있는지 확인하기 위해 계측 측정이 이루어집니다.화강암 블록은 치수 안정성과 정확성으로 인해 이러한 측정에서 참조 표준으로 사용됩니다.또한 집적 회로의 품질을 고배율로 확인하는 검사 단계에서도 사용됩니다.
전반적으로 최근 몇 년간 반도체 제조에 화강암 부품의 사용이 증가했습니다.집적 회로의 제조 및 처리에 있어서 높은 정밀도, 정확도 및 안정성에 대한 요구로 인해 반도체 제조업체는 이러한 재료를 채택하게 되었습니다.경도, 안정성 및 낮은 열팽창 계수와 같은 화강암의 독특한 특성으로 인해 화강암은 이러한 공정에 사용하기에 탁월한 선택입니다.반도체 기술의 지속적인 개발과 개선으로 화강암 부품의 사용은 앞으로도 더욱 늘어날 것으로 예상됩니다.
게시 시간: 2023년 12월 5일