화강암은 건설 업계에서 자주 사용되는 단단하고 내구성이 뛰어난 소재입니다.그러나 이는 반도체 제조, 특히 집적 회로의 제조 및 처리에 유용하게 사용되는 특성도 가지고 있습니다.화강암 테이블 및 화강암 블록과 같은 화강암 성분은 안정성, 평탄도 및 낮은 열 팽창 계수에 널리 사용됩니다.
반도체 제조에서 화강암 성분의 주요 용도 중 하나는 제조 공정에 있습니다.통합 회로의 기본 빌딩 블록 인 실리콘 웨이퍼는 높은 정밀도와 정확도로 제작되어야합니다.프로세스 동안 왜곡 또는 이동은 통합 회로의 품질과 기능에 영향을 줄 수있는 결함으로 이어질 수 있습니다.안정성과 평탄도가 높은 화강암 테이블은 웨이퍼 처리 장비를위한 좋은 플랫폼을 제공합니다.또한 공정에 필요한 가열 및 냉각으로 인한 열 팽창 및 수축에 내성이 있습니다.
화강암 블록은 또한 열 안정성을 위해 반도체 처리에 사용됩니다.에칭 또는 증착 공정 동안, 뜨거운 가스 또는 플라즈마를 사용하여 실리콘 웨이퍼의 표면을 수정합니다.프로세스가 효율적이고 정확하게 수행되도록 웨이퍼의 온도를 제어해야합니다.열 팽창 계수가 낮은 화강암 블록은 웨이퍼의 온도를 안정화시키는 데 도움이되어 가공 된 재료의 품질에 영향을 줄 수있는 온도 변동의 위험을 줄입니다.
제조 및 가공 공정 외에도 화강암 성분은 반도체 제조의 계측 및 검사 단계에서도 사용됩니다.웨이퍼의 구조물의 크기, 모양 및 위치가 필요한 사양 내에 있는지 확인하기 위해 계측 측정이 이루어집니다.화강암 블록은 치수 안정성과 정확도로 인해 이러한 측정에서 기준 표준으로 사용됩니다.또한 검사 단계에서 사용되며, 통합 회로의 품질이 높은 배율로 점검됩니다.
전반적으로, 반도체 제조에서 화강암 성분의 사용은 최근 몇 년 동안 증가했습니다.통합 회로의 제조 및 처리에서 높은 정밀도, 정확성 및 안정성의 필요성으로 인해 반도체 제조업체가 이러한 재료의 채택을 주도했습니다.경도, 안정성 및 낮은 열 팽창 계수와 같은 화강암의 고유 한 특성은 이러한 공정에서 사용하기에 탁월한 선택입니다.반도체 기술의 지속적인 개발과 개선으로 인해 화강암 성분의 사용은 향후 더 커질 것으로 예상됩니다.
게시 시간: 2023년 12월 5일