반도체 제조 공정 장치의 손상된 화강암 조립체의 외관을 수리하고 정확도를 재보정하는 방법은 무엇입니까?

화강암 어셈블리는 높은 정밀도, 안정성 및 경도로 인해 반도체 제조 공정에 일반적으로 사용됩니다.그러나 시간이 지남에 따라 이러한 어셈블리는 마모로 인해 손상될 수 있으며, 이는 정확성과 신뢰성에 영향을 미칠 수 있습니다.이 기사에서는 손상된 화강암 조립품의 외관을 수리하고 정확성을 재보정하는 과정에 대해 논의합니다.

필요한 도구 및 재료:

- 화강암 수리 키트
- 사포(800방)
- 폴리싱 컴파운드
- 물
- 수건 건조
- 진공 청소기
- 교정기
- 측정 장비(예: 마이크로미터, 다이얼 게이지)

1단계: 피해 정도 파악

손상된 화강암 조립품을 수리하는 첫 번째 단계는 손상 정도를 확인하는 것입니다.여기에는 화강암 표면의 균열, 칩 또는 긁힘을 찾기 위한 육안 검사가 포함될 수 있습니다.캘리브레이터와 측정 장비를 사용하여 어셈블리의 평탄도와 직진도를 확인하는 것도 중요합니다.

2단계: 화강암 표면 청소

손상이 확인되면 화강암 표면을 철저히 청소하는 것이 중요합니다.여기에는 진공청소기를 사용하여 표면의 먼지나 이물질을 제거한 다음 젖은 수건으로 닦아내는 작업이 포함됩니다.필요한 경우 비누나 순한 세척제를 사용하여 잘 지워지지 않는 얼룩이나 자국을 제거할 수 있습니다.

3단계: 균열이나 칩 수리

화강암 표면에 균열이나 칩이 있는 경우 교정 프로세스를 시작하기 전에 수리해야 합니다.이는 일반적으로 손상된 부위에 붓고 건조시킬 수 있는 수지 기반 재료가 포함된 화강암 수리 키트를 사용하여 수행할 수 있습니다.수리 재료가 건조되면 나머지 표면과 같은 높이가 될 때까지 고운 사포(800방)를 사용하여 사포질할 수 있습니다.

4단계: 화강암 표면 연마

수리가 완료된 후에는 외관과 매끄러움을 복원하기 위해 화강암 조립체의 표면을 연마해야 합니다.이는 연마제, 물, 연마 패드를 사용하여 수행할 수 있습니다.패드에 소량의 연마제를 바르고 화강암 표면이 매끄럽고 빛날 때까지 원을 그리며 버프합니다.

5단계: 어셈블리 정확도 재보정

화강암 조립체의 표면을 수리하고 광택을 낸 후에는 정확성을 재보정하는 것이 중요합니다.여기에는 캘리브레이터와 측정 장비를 사용하여 어셈블리의 평탄도와 직진도는 물론 전반적인 정밀도를 확인하는 작업이 포함됩니다.어셈블리가 최적의 정확도 수준에서 작동하도록 보장하기 위해 심이나 기타 메커니즘을 사용하여 모든 조정을 수행할 수 있습니다.

결론적으로, 손상된 화강암 조립체의 외관을 수리하고 정확성을 재보정하는 것은 반도체 제조에 있어서 중요한 공정입니다.다음 단계를 수행하면 어셈블리의 성능을 복원하고 제조 프로세스의 요구 사항을 지속적으로 충족할 수 있습니다.

정밀 화강암15


게시 시간: 2023년 12월 6일