화강암 공기 베어링 시스템은 널리 사용됩니다.초정밀반도체 제조, 광학 정렬 및 나노미터 규모 계측을 위한 모션 플랫폼.
이러한 시스템은 얇은 가압 공기막을 사용하여 기계적 접촉을 제거함으로써 거의 마찰이 없는 움직임을 구현합니다.
공기 베어링 원리
공기 베어링은 두 표면 사이에 압축 공기를 주입하여 2~20μm 두께의 공기막을 형성함으로써 작동합니다.
이로써 다음이 제거됩니다.
- 기계적 마찰
- 입다
- 스틱-슬립 현상
이 시스템은 유체막 역학과 안정적인 층류 흐름에 기반합니다.
화강암의 역할
화강암은 다음을 제공합니다:
- 구조적 안정성
- 열 드리프트 억제
- 진동 감쇠
이는 모션 시스템의 기계적 기준점 역할을 합니다.
시스템 구성 요소
- 화강암 받침대
- 공기 베어링 패드
- 공기 공급 시스템
- 정밀 인코더
- 모션 제어 시스템
성능 특성
일반적인 성능은 다음과 같습니다.
- 서브마이크론 수준의 위치 정밀도
- 장거리 주행 시 높은 직진성
- 기계적 백래시 없음
주요 오류 원인으로는 기압 불안정, 열 드리프트 및 인코더 오류가 있습니다.
응용 프로그램
- 반도체 웨이퍼 검사
- 리소그래피 시스템
- 광학 정렬 플랫폼
- 고급 계측 장비
자주 묻는 질문
공기 베어링은 마모되나요?
기계적 접촉이 없으므로 마모가 발생하지 않습니다.
화강암을 사용하는 이유는 무엇일까요?
안정성 및 진동 감쇠를 위해.
정확도를 제한하는 요인은 무엇일까요?
대기 안정성 및 열 효과.
그들은 무거운 짐을 운반할 수 있습니까?
네, 디자인에 따라 다릅니다.
게시 시간: 2026년 7월 3일