웨이퍼 검사 및 계측용 초정밀 화강암 베이스

1. 탁월한 소재 과학: ZHHIMG® 블랙 화강암

일반적인 화강암이나, 더 나아가 양심 없는 제조업체들이 사용하는 저급 대리석과는 달리, ZHHIMG의 받침대는 오직 당사 고유의 ZHHIMG® 블랙 화강암으로만 제작됩니다.

● 탁월한 밀도: 당사 제품은 약 3100kg/m³에 달하는 인상적인 밀도를 자랑하며, 이는 유럽과 아메리카 대륙에서 생산되는 많은 일반적인 흑색 화강암보다 우수합니다.

● 열 안정성: 높은 밀도와 최소한의 수분 흡수율은 탁월한 치수 안정성을 보장하여 중요한 검사 주기 동안 열 변형의 영향을 크게 줄여줍니다.

● 진동 감쇠: 천연 광물 구조는 외부 진동으로부터 민감한 광학 장치와 센서를 격리하는 데 필수적인 탁월한 내부 감쇠 기능을 제공합니다.

2. 타의 추종을 불허하는 제조 및 조립 능력

정밀성에 대한 우리의 헌신은 "정밀한 사업은 아무리 까다로워도 지나칠 수 없다"는 핵심 신념에 요약되어 있습니다.

● 장인 정신: 당사의 받침대는 30년 이상의 경력을 가진 숙련된 기술자들이 수작업으로 연마하여 나노미터 수준의 평탄도와 평행도를 구현합니다. 이러한 정밀도는 레니쇼 레이저 간섭계와 와일러 전자 레벨로 검증됩니다.

● 제어된 환경: 가공 및 최종 조립은 엄격한 반도체 제조 공정을 모방한 10,000m² 규모의 온도 및 습도 제어 클린룸 내에서 진행됩니다. 이 시설은 1,000mm 두께의 콘크리트 기초와 2,000mm 깊이의 방진 트렌치를 갖추고 있어 진정으로 안정적인 측정 환경을 보장합니다.

3. 통합 정밀 설계 (이미지 참조)

베이스는 일반적으로 다음과 같은 구성 요소를 포함하는 복잡한 조립체 형태로 제공됩니다.

● L자형/갠트리 구조: 영상 헤드의 수직 이동(Z축)을 지원하도록 설계되어 직교성과 기하학적 정확도를 보장합니다.

● 정밀 홈 및 인서트: 에어 베어링, 선형 모터(XY 테이블), 비전 시스템 및 가이드 레일(THK, HIWIN, Rexroth) 장착을 위한 나사산 강철 인서트와 정밀 다웰 홀이 있는 사전 가공된 표면.

● 맞춤 제작: 당사는 대규모 가공 전문 기업으로, 고객의 장비 규모에 정확히 맞춰 길이 최대 20m, 무게 최대 100톤에 달하는 일체형 화강암 받침대를 제작할 수 있습니다.