♦알루미나(Al2오3)
중휘 인텔리전트 제조 그룹(ZHHIMG)에서 생산하는 정밀 세라믹 부품은 고순도 세라믹 원료(알루미나 92~97%, 99.5%, 99.9% 이상)를 사용하여 CIP 냉간 등방성 프레스 방식으로 제작됩니다. 고온 소결 및 정밀 가공을 통해 치수 정확도 ±0.001mm, 평활도 최대 Ra0.1, 사용 온도 최대 1600°C를 달성합니다. 고객 요구 사항에 따라 흑색, 백색, 베이지색, 진홍색 등 다양한 색상의 세라믹을 제작할 수 있습니다. 당사에서 생산하는 정밀 세라믹 부품은 고온, 부식, 마모 및 절연에 대한 내성이 뛰어나 고온, 진공 및 부식성 가스 환경에서 장기간 사용할 수 있습니다.
다양한 반도체 생산 장비에 널리 사용됩니다: 프레임(세라믹 브라켓), 기판(베이스), 암/브리지(조작기), 기계 부품 및 세라믹 공기 베어링.
| 제품명 | 고순도 99 알루미나 세라믹 사각 튜브/파이프/막대 | |||||
| 색인 | 단위 | 85% 알루미나이드 | 95% 알루미나이드 | 99% 알루미나이드 | 99.5% 알루미나이드 | |
| 밀도 | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| 물 흡수 | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| 소결 온도 | 섭씨 | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| 경도 | 모스 | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| 굽힘강도(20℃) | 엠파 | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| 압축 강도 | kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| 장시간 작동 온도 | 섭씨 | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| 최대 작동 온도 | 섭씨 | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| 체적 저항률 | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
고순도 알루미나 세라믹의 적용:
1. 반도체 장비에 적용 : 세라믹 진공 척, 커팅 디스크, 클리닝 디스크, 세라믹 CHUCK.
2. 웨이퍼 이송 부품: 웨이퍼 핸들링 척, 웨이퍼 절단 디스크, 웨이퍼 세척 디스크, 웨이퍼 광학 검사 흡입 컵.
3. LED/LCD 평판 디스플레이 산업: 세라믹 노즐, 세라믹 연삭 디스크, LIFT PIN, PIN 레일.
4. 광통신, 태양광 산업: 세라믹 튜브, 세라믹 막대, 회로 기판 스크린 인쇄 세라믹 스크레이퍼.
5. 내열성 및 전기 절연성 부품: 세라믹 베어링.
현재 산화알루미늄 세라믹은 고순도와 일반 세라믹으로 나눌 수 있습니다. 고순도 산화알루미늄 세라믹 계열은 99.9% 이상의 Al₂O₃를 함유한 세라믹 소재를 말합니다. 소결 온도가 최대 1650~1990°C이고 투과 파장이 1~6μm이기 때문에 백금 도가니 대신 용융 유리로 가공하는 것이 일반적입니다. 용융 유리는 빛 투과율이 높고 알칼리 금속에 대한 내식성이 뛰어나 나트륨 관으로 사용할 수 있습니다. 전자 산업에서는 IC 기판의 고주파 절연 재료로 사용할 수 있습니다. 산화알루미늄의 함량에 따라 일반 산화알루미늄 세라믹 계열은 99 세라믹, 95 세라믹, 90 세라믹, 85 세라믹으로 나눌 수 있습니다. 때로는 산화알루미늄 함량이 80% 또는 75%인 세라믹도 일반 산화알루미늄 세라믹 계열로 분류됩니다. 그중 99 산화알루미늄 세라믹 소재는 고온 도가니, 내화로 튜브, 그리고 세라믹 베어링, 세라믹 씰, 밸브 플레이트와 같은 특수 내마모성 소재를 생산하는 데 사용됩니다. 95 알루미늄 세라믹은 주로 내식성 및 내마모성 부품으로 사용됩니다. 85 세라믹은 다양한 특성을 혼합하여 전기적 성능과 기계적 강도를 향상시킵니다. 몰리브덴, 니오븀, 탄탈륨 등의 금속 씰을 사용할 수 있으며, 일부는 전기 진공 장치로 사용됩니다.
| 품질 품목(대표 가치) | 제품명 | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| 화학성분 저나트륨 이소결 제품 | 물 | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ㅋㅋㅋ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| 철₂O₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| 나₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| 산화마그네슘* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂O₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| 중간 입자 직경(MT-3300, 레이저 분석법) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α 결정 크기 | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| 형성 밀도** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| 소결 밀도** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| 소결 라인의 수축률** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Al₂O₃의 순도 계산에는 MgO는 포함되지 않습니다.
* 스케일링 분말 없음 29.4MPa(300kg/cm²), 소결 온도는 1600°C입니다.
AES-11 / 11C / 11F : 0.05 ~ 0.1%의 MgO를 첨가하면 소결성이 우수하여 순도 99% 이상의 산화알루미늄 세라믹에 적용 가능합니다.
AES-22S: 높은 성형 밀도와 소결 라인의 낮은 수축률을 특징으로 하며, 슬립폼 주조 및 치수 정확도가 요구되는 기타 대형 제품에 적용 가능합니다.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S보다 성형 밀도, 틱소트로피가 높고 점도가 낮습니다. 전자는 세라믹에 사용되고 후자는 내화재의 감수제로 사용되어 인기를 얻고 있습니다.
♦탄화규소(SiC) 특성
| 일반적인 특성 | 주요성분 순도(중량%) | 97 | |
| 색상 | 검은색 | ||
| 밀도(g/cm³) | 3.1 | ||
| 수분 흡수율(%) | 0 | ||
| 기계적 특성 | 굽힘강도(MPa) | 400 | |
| 탄성계수(GPa) | 400 | ||
| 비커스 경도(GPa) | 20 | ||
| 열 특성 | 최대 작동 온도(°C) | 1600 | |
| 열팽창계수 | 상온~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | 상온~800°C | 4.3 | |
| 열전도도(W/m x K) | 130 110 | ||
| 열충격 저항성 ΔT (°C) | 300 | ||
| 전기적 특성 | 체적 저항률 | 25도 | 3 x 106 |
| 300도 | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800도 | - | ||
| 유전율 | 10GHz | - | |
| 유전 손실(x 10-4) | - | ||
| Q 인자(x 104) | - | ||
| 유전 파괴 전압(KV/mm) | - | ||
♦질화규소 세라믹
| 재료 | 단위 | Si₃N₄ |
| 소결 방법 | - | 가스압 소결 |
| 밀도 | g/cm³ | 3.22 |
| 색상 | - | 다크 그레이 |
| 물 흡수율 | % | 0 |
| 영률 | 평균 평점 | 290 |
| 비커스 경도 | 평균 평점 | 18 - 20 |
| 압축 강도 | 엠파 | 2200 |
| 굽힘 강도 | 엠파 | 650 |
| 열전도도 | W/mK | 25 |
| 열충격 저항성 | Δ (°C) | 450 - 650 |
| 최대 작동 온도 | °C | 1200 |
| 체적 저항률 | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| 유전율 | - | 8.2 |
| 유전 강도 | kV/mm | 16 |