♦ Alumina (al2O3)
Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhhimg)이 생산 한 정밀 세라믹 부품은 고급 세라믹 원자재, 92 ~ 97% 알루미나, 99.5% 알루미나,> 99.9% 알루미나 및 CIP 콜드 등방성 프레스로 만들 수 있습니다. 고온 소결 및 정밀 가공, ± 0.001mm의 치수 정확도, 최대 1600 도의 온도를 사용하십시오. 검은 색, 흰색, 베이지 색, 진한 빨간색 등과 같은 고객의 요구 사항에 따라 다양한 색상의 세라믹을 만들 수 있습니다. 우리 회사에서 생산하는 정밀 세라믹 부품은 고온, 부식, 마모 및 단열재에 저항력이 있으며 고온, 진공 및 부식 가스 환경에서 오랫동안 사용될 수 있습니다.
다양한 반도체 생산 장비에 널리 사용됩니다 : 프레임 (세라믹 브래킷), 기판 (베이스), 암/ 브리지 (조작자), 기계 구성 요소 및 세라믹 에어 베어링.
제품 이름 | 고순도 99 알루미나 세라믹 사각형 튜브 / 파이프 /로드 | |||||
색인 | 단위 | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99.5 % AL2O3 | |
밀도 | G/CM3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
수분 흡수 | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
소결 온도 | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
경도 | 모스 | 7 | 9 | 9 | 9 | |
굽힘 강도 (20 20)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
압축 강도 | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
오랜 시간 동안 작동 온도 | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
맥스. 작업 온도 | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
부피 저항성 | 20 ℃ | ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
고순도 알루미나 세라믹의 적용 :
1. 반도체 장비에 적용 : 세라믹 진공 척, 절단 디스크, 세정 디스크, 세라믹 척.
2. 웨이퍼 전송 부품 : 웨이퍼 처리 척, 웨이퍼 절단 디스크, 웨이퍼 청소 디스크, 웨이퍼 광학 검사 흡입 컵.
3. LED / LCD 평면 패널 디스플레이 산업 : 세라믹 노즐, 세라믹 그라인딩 디스크, 리프트 핀, 핀 레일.
4. 광학 통신, 태양 광 산업 : 세라믹 튜브, 세라믹로드, 회로 보드 스크린 인쇄 세라믹 스크레이퍼.
5. 열 내성 및 전기 절연 부품 : 세라믹 베어링.
현재, 알루미늄 산화물 세라믹은 고순도와 일반적인 세라믹으로 나눌 수 있습니다. 고순도 알루미늄 산화물 세라믹 시리즈는 99.9% 이상의 Allool을 포함하는 세라믹 물질을 지칭합니다. 최대 1650-1990 ° C의 소결 온도와 1 ~ 6μm의 투과 파장으로 인해 일반적으로 백금 도가니 대신 융합 유리로 가공됩니다. 이는 알칼리 금속에 대한 광 투과 및 부식성으로 인해 나트륨 튜브로 사용될 수 있습니다. 전자 산업에서는 IC 기판을위한 고주파 단열재로 사용될 수 있습니다. 산화 알루미늄의 다른 함량에 따르면, 일반적인 알루미늄 산화물 세라믹 시리즈는 99 개의 세라믹, 95 개의 세라믹, 90 개 세라믹 및 85 개의 세라믹으로 나눌 수 있습니다. 때로는 60% 또는 75%의 알루미늄 산화물이있는 세라믹은 또한 일반적인 알루미늄 산화물 세라믹 시리즈로 분류됩니다. 그 중 99 개의 알루미늄 세라믹 물질은 고온 도가니, 내화 용광로 및 세라믹 베어링, 세라믹 씰 및 밸브 플레이트와 같은 특수 마모 재료를 생산하는 데 사용됩니다. 95 알루미늄 세라믹은 주로 부식성 내마모성 부품으로 사용됩니다. 85 세라믹은 종종 일부 특성에서 혼합되어 전기 성능과 기계적 강도를 향상시킵니다. Molybdenum, Niobium, Tantalum 및 기타 금속 씰을 사용할 수 있으며 일부는 전기 진공 장치로 사용됩니다.
품질 항목 (대표 가치) | 제품 이름 | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | Al-31-03 | |
화학 성분 저소음 쉬운 소결 제품 | h₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
ㅋㅋㅋ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
fe₂0₂ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
시오 ₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
na₂o | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
MGO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
Al₂0₂ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
중간 입자 직경 (MT-3300, 레이저 분석 방법) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α 결정 크기 | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
밀도 형성 ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
소결 밀도 ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
소결 선의 수축률 ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO는 al₂o₃의 순도 계산에 포함되지 않습니다.
* 스케일링 파우더 29.4mpa (300kg/cm²) 없음, 소결 온도는 1600 ° C입니다.
AES-11 / 11C / 11F : 0.05 ~ 0.1% MGO를 추가하십시오. 소결 성이 우수하므로 99% 이상의 순도를 갖는 산화 알루미늄 세라믹에 적용 할 수 있습니다.
AES-22S : 높은 형성 밀도와 소결 라인의 낮은 수축률을 특징으로하며, 이는 미끄러짐 형태 캐스팅 및 필요한 치수 정확도를 갖는 기타 대규모 제품에 적용 할 수 있습니다.
AES-23 / AES-31-03 : AES-22보다 더 높은 형성 밀도, Thixotropy 및 점도가 낮습니다. 전자는 도자기에 사용되는 반면 후자는 내화성 재료의 물 감소제로 사용되어 인기를 얻습니다.
♦ 실리콘 카바이드 (SIC) 특성
일반적인 특성 | 주요 구성 요소의 순도 (WT%) | 97 | |
색상 | 검은색 | ||
밀도 (g/cm³) | 3.1 | ||
수분 흡수 (%) | 0 | ||
기계적 특성 | 굴곡 강도 (MPA) | 400 | |
젊은 모듈러스 (GPA) | 400 | ||
Vickers 경도 (GPA) | 20 | ||
열 특성 | 최대 작동 온도 (° C) | 1600 | |
열 팽창 계수 | RT ~ 500 ° C | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C | 4.3 | |
열전도율 (w/m x k) | 130 110 | ||
열 충격 저항 ΔT (° C) | 300 | ||
전기 특성 | 부피 저항성 | 25 ° C | 3 x 106 |
300 ° C | - | ||
500 ° C | - | ||
800 ° C | - | ||
유전 상수 | 10GHz | - | |
유전 손실 (x 10-4) | - | ||
Q 팩터 (x 104) | - | ||
유전체 파괴 전압 (kv/mm) | - |
♦ 실리콘 질화물 세라믹
재료 | 단위 | Si₃n₄ |
소결 방법 | - | 가스 압력 소결 |
밀도 | g/cm³ | 3.22 |
색상 | - | 어두운 회색 |
수분 흡수율 | % | 0 |
젊은 모듈러스 | GPA | 290 |
비커스 경도 | GPA | 18-20 |
압축 강도 | MPA | 2200 |
굽힘 강도 | MPA | 650 |
열전도율 | w/mk | 25 |
열 충격 저항 | δ (° C) | 450-650 |
최대 작동 온도 | ° C | 1200 |
부피 저항성 | ω · cm | > 10 ^ 14 |
유전 상수 | - | 8.2 |
유전력 | kv/mm | 16 |