♦알루미나(Al2O3)
중후이 지능형 제조 그룹(ZHHIMG)에서 생산하는 정밀 세라믹 부품은 고순도 세라믹 원료(92~97% 알루미나, 99.5% 알루미나, >99.9% 알루미나)를 사용하여 CIP 냉간 등방압 성형으로 제작됩니다. 고온 소결 및 정밀 가공을 통해 치수 정밀도 ± 0.001mm, 표면 평활도 Ra0.1, 사용 온도 최대 1600℃를 달성합니다. 검정, 흰색, 베이지색, 진홍색 등 고객 요구에 따라 다양한 색상의 세라믹을 제작할 수 있습니다. 당사의 정밀 세라믹 부품은 고온, 부식, 마모 및 절연에 강하며 고온, 진공 및 부식성 가스 환경에서 장기간 사용할 수 있습니다.
반도체 생산 장비의 프레임(세라믹 브래킷), 기판(베이스), 암/브리지(매니퓰레이터), 기계 부품 및 세라믹 공기 베어링 등 다양한 분야에 널리 사용됩니다.
| 제품명 | 고순도 99 알루미나 세라믹 사각 튜브/파이프/봉 | |||||
| 색인 | 단위 | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| 밀도 | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| 수분 흡수 | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| 소결 온도 | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| 경도 | 모스 | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| 굽힘 강도(20℃) | 엠파 | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| 압축 강도 | 킬로그램/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| 장시간 작동 온도 | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| 최대 작동 온도 | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| 체적 저항 | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
고순도 알루미나 세라믹의 응용 분야:
1. 반도체 장비에 적용: 세라믹 진공 척, 절단 디스크, 세척 디스크, 세라믹 척.
2. 웨이퍼 이송 부품: 웨이퍼 핸들링 척, 웨이퍼 절단 디스크, 웨이퍼 세척 디스크, 웨이퍼 광학 검사 흡착컵.
3. LED/LCD 평면 디스플레이 산업: 세라믹 노즐, 세라믹 연삭 디스크, 리프트 핀, 핀 레일.
4. 광통신, 태양광 산업: 세라믹 튜브, 세라믹 막대, 회로 기판 스크린 인쇄용 세라믹 스크레이퍼.
5. 내열성 및 전기 절연 부품: 세라믹 베어링.
현재 산화알루미늄 세라믹은 고순도 세라믹과 일반 세라믹으로 나눌 수 있습니다. 고순도 산화알루미늄 세라믹은 Al₂O₃ 함량이 99.9% 이상인 세라믹 소재를 말합니다. 1650~1990°C에 달하는 소결 온도와 1~6μm의 투과 파장 덕분에 백금 도가니 대신 용융 유리로 가공하는 경우가 많으며, 높은 광투과율과 알칼리 금속에 대한 내식성으로 인해 나트륨 튜브로도 사용될 수 있습니다. 전자 산업에서는 IC 기판용 고주파 절연 재료로 사용됩니다. 산화알루미늄 함량에 따라 일반 산화알루미늄 세라믹은 99 세라믹, 95 세라믹, 90 세라믹, 85 세라믹으로 구분됩니다. 때로는 산화알루미늄 함량이 80% 또는 75%인 세라믹도 일반 산화알루미늄 세라믹으로 분류됩니다. 그중 99 알루미늄 산화물 세라믹 소재는 고온 도가니, 내화로관 및 세라믹 베어링, 세라믹 씰, 밸브 플레이트와 같은 특수 내마모성 소재 생산에 사용됩니다. 95 알루미늄 세라믹은 주로 내식성 및 내마모성 부품에 사용됩니다. 85 세라믹은 종종 다른 소재와 혼합되어 전기적 성능과 기계적 강도를 향상시킵니다. 몰리브덴, 니오븀, 탄탈륨 등의 금속 씰과 함께 사용할 수 있으며, 일부는 전기 진공 장치에 사용됩니다.
| 품질 항목 (대표값) | 제품명 | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| 화학적 조성: 저나트륨, 소결 용이 제품 | 물 | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ㅋㅋㅋ | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂O₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| 중간 입자 직경 (MT-3300, 레이저 분석법) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α 결정 크기 | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| 형성 밀도** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| 소결 밀도** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| 소결 라인의 수축률** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO는 Al₂O₃의 순도 계산에 포함되지 않습니다.
* 분말 스케일링 없음, 29.4MPa(300kg/cm²), 소결 온도 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05~0.1%의 MgO를 첨가하면 소결성이 우수하여 순도 99% 이상의 산화알루미늄 세라믹에 적용 가능합니다.
AES-22S: 높은 성형 밀도와 낮은 소결선 수축률이 특징이며, 슬립 성형 주조 및 치수 정밀도가 요구되는 대형 제품 생산에 적합합니다.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S보다 성형 밀도와 요변성이 높고 점도가 낮습니다. 전자는 세라믹에 사용되고, 후자는 내화재용 감수제로 사용되어 인기를 얻고 있습니다.
♦탄화규소(SiC)의 특성
| 일반적인 특징 | 주요 성분의 순도(중량%) | 97 | |
| 색상 | 검은색 | ||
| 밀도 (g/cm³) | 3.1 | ||
| 수분 흡수율(%) | 0 | ||
| 기계적 특성 | 굽힘 강도(MPa) | 400 | |
| 영률(GPa) | 400 | ||
| 비커스 경도(GPa) | 20 | ||
| 열적 특성 | 최대 작동 온도(°C) | 1600 | |
| 열팽창 계수 | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10⁻⁶) | RT~800°C | 4.3 | |
| 열전도율 (W/m x K) | 130 110 | ||
| 열충격 저항 ΔT (°C) | 300 | ||
| 전기적 특성 | 체적 저항률 | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| 유전 상수 | 10GHz | - | |
| 유전 손실 (x 10⁻⁴) | - | ||
| Q 인자 (x 104) | - | ||
| 절연 파괴 전압(kV/mm) | - | ||
♦질화규소 세라믹
| 재료 | 단위 | Si₃N₄ |
| 소결법 | - | 가스 압력 소결 |
| 밀도 | g/cm³ | 3.22 |
| 색상 | - | 짙은 회색 |
| 수분 흡수율 | % | 0 |
| 영률 | 학점 | 290 |
| 비커스 경도 | 학점 | 18-20세 |
| 압축 강도 | 엠파 | 2200 |
| 굽힘 강도 | 엠파 | 650 |
| 열전도율 | 와트/mK | 25 |
| 열충격 저항성 | Δ (°C) | 450 - 650 |
| 최대 작동 온도 | °C | 1200 |
| 체적 저항 | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| 유전 상수 | - | 8.2 |
| 절연 강도 | kV/mm | 16 |