반도체 웨이퍼, 전기차 배터리 필름, 마이크로 광학 부품 등에서 서브마이크론 수준의 결함을 검출해야 하는 오늘날, 광학 검사 시스템의 성능은 카메라와 알고리즘뿐 아니라 광 경로의 물리적 안정성에 달려 있습니다. 이러한 안정성의 핵심에는 나노미터 수준의 정밀도로 설계되고 특수 저팽창 소재로 제작된 초정밀 유리 부품, 즉 렌즈, 윈도우, 프리즘, 기준면 등이 있습니다.
ZHHIMG는 선도적인 머신 비전 OEM 및 자동 광학 검사(AOI) 통합업체에 열 중립성, 파면 충실도 및 장기적인 반복성을 보장하는 맞춤형 유리 소자를 제공하여 고처리량 공장 환경에서도 뛰어난 성능을 발휘하도록 지원합니다.
숨겨진 과제: 광 경로의 열 드리프트
표준 광학 유리(예: BK7)의 열팽창 계수(CTE)는 약 7~8ppm/°C입니다. 주변 온도가 ±3°C 범위 내에서 변동하는 24시간 가동 생산 라인에서는 이러한 열팽창 계수로 인해 초점 이동이나 정렬 불량이 5µm를 초과할 수 있으며, 이는 미세한 형상을 흐리게 하거나 불량품 판정 오류를 유발하기에 충분합니다.
고급 검사 시스템에는 다음과 같은 저팽창 유리가 필요합니다.
- ULE®(초저팽창 유리) – 상온 부근에서 열팽창 계수(CTE) ≈ ±0.03 ppb/°C
- 제로듀어®(쇼트) – 0~50°C 범위에서 열팽창계수(CTE) < 0.1 ppb/°C
- 클리어세람-HS / TiO₂ 도핑 유리 세라믹 – 높은 연마성을 갖춘 거의 0에 가까운 열팽창 계수(CTE)
이러한 소재는 열 순환 과정 전반에 걸쳐 광축의 무결성을 유지하여 능동적인 재보정 없이도 일관된 해상도를 보장합니다.
정밀 유리 연삭: 마이크론 단위의 정밀도가 핵심이 되는 분야
적절한 소재를 선택하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 기하학적 형상 또한 완벽해야 합니다. ZHHIMG는 다음과 같은 자체 역량을 보유하고 있습니다.
- λ/20 표면 정밀도를 위한 서브 어퍼처 연마 및 자기유변학적 연마(MRF)
- 텔레센트릭 렌즈 어셈블리의 윈도우 쌍에서 평행도 ≤1 arcsec
- 명시야/암시야 이미징에서 산란을 최소화하기 위해 표면 거칠기는 RMS 기준 0.5nm 미만이어야 합니다.
- 405nm, 532nm 또는 SWIR 파장에 최적화된 맞춤형 AR 코팅
"기준 창을 BK7에서 Zerodur로 변경함으로써 PCB AOI 시스템에서 단계별 측정 편차가 62% 감소했습니다."
— 광학 설계 책임자, 1등급 영상 장비 제조업체
유리를 넘어선: 통합형 다중 소재 솔루션
ZHHIMG를 차별화하는 요소는 정밀 유리와 금속 및 세라믹 구조물을 하나의 어셈블리로 결합하는 능력입니다.
- 응력 없는 운동학적 장착을 위해 저팽창 유리와 인바 마운트를 접착
- 열팽창 계수가 일치하는 인터페이스를 사용하여 유리 프리즘을 알루미늄 하우징에 통합
- 내장형 기준점을 갖춘 하이브리드 광학-기계 모듈 공동 개발
이러한 소재 전반에 걸친 전문 지식은 정렬이나 열적 특성을 저하시키지 않고 기존 광학 엔진에 완벽하게 통합될 수 있도록 보장합니다.
저희가 지원하는 애플리케이션
- 반도체 웨이퍼 및 레티클 검사
- 평면 패널 디스플레이(FPD) 결함 감지
- 리튬 이온 배터리 전극 스캐닝
- 비구면 렌즈용 정밀 측정
- 고해상도 3D 구조광 프로젝터
검사 시스템에서 열 드리프트 현상을 제거할 준비가 되셨습니까?
ZHHIMG는 재료 선정 및 광학 공차 분석부터 간섭계 테스트 보고서를 포함한 인증 납품에 이르기까지 전 과정에 걸쳐 지원을 제공합니다.
2026년 2분기 비전 시스템 구축업체 대상 프로그램:
→ 저팽창 유리(제로듀어 또는 동등 제품) 무료 샘플 제공
→ 48시간 이내 허용 오차 타당성 검토 완료
→ 표준 플라노 부품의 경우 리드 타임이 최단 12일입니다.
→ 저팽창 유리(제로듀어 또는 동등 제품) 무료 샘플 제공
→ 48시간 이내 허용 오차 타당성 검토 완료
→ 표준 플라노 부품의 경우 리드 타임이 최단 12일입니다.
시야를 안정시키고, 통찰력을 날카롭게 하십시오.
ZHHIMG – 기계의 눈을 위해 설계된 정밀 유리.
게시 시간: 2026년 3월 20일