화강암은 높은 강성, 낮은 열 팽창 및 우수한 진동 감쇠 특성과 같은 고유 한 특성 때문에 기계베이스, 특히 웨이퍼 처리 장비의 우수한 재료입니다. 금속은 전통적으로 기계 기지의 재료로 사용되었지만 화강암은 다음과 같은 이유로 인해 우수한 대안으로 등장했습니다.
높은 강성 : 웨이퍼 처리 중에 진동을 최소화하고 정확도를 유지하려면 기계 기지가 단단하고 안정적이어야합니다. Granite는 강성 대량 비율이 높기 때문에 매우 견고하고 안정적으로 진동을 줄이고 가공 정확도가 우수합니다.
낮은 열 팽창 : 온도 변화로 인해 금속이 팽창하거나 수축 될 수있어 기계 기반의 치수 변화가 발생하여 처리의 부정확성을 초래할 수 있습니다. 반면에 화강암은 열 팽창 계수가 낮으므로 온도 변화와 크게 확장되거나 수축되지 않아 처리의 안정성과 정확성을 보장합니다.
우수한 진동 댐핑 : 진동은 공작 기계에서 일반적인 문제이며, 차원 오류, 표면 마감 문제 및 기계 구성 요소의 조기 마모로 이어질 수 있습니다. 화강암은 우수한 진동 댐핑 특성으로 유명합니다. 즉, 진동을 흡수하고 약화시켜 매끄럽고 정확한 처리를 보장합니다.
화학 저항성 : 웨이퍼 가공에는 다양한 화학 물질의 사용이 포함되며, 이러한 화학 물질에 노출되면 시간이 지남에 따라 기계 기반의 부식 및 분해가 발생할 수 있습니다. 화강암은 화학적 부식에 매우 저항력이있어 웨이퍼 가공 장비의 기계베이스에 안전하고 내구성있는 재료 선택입니다.
유지 보수가 적 으면 화강암은 최소한의 유지 보수가 필요하며 청소하기 쉽고 금속처럼 부식하거나 녹지 않습니다. 이는 유지 보수 비용이 낮아지고 장비의 다운 타임이 줄어 듭니다.
전반적으로, 웨이퍼 처리 장비를위한 기계 기지 용 금속보다 화강암을 선택하면 높은 강성, 낮은 열 팽창, 우수한 진동 감쇠, 우수한 화학 저항성 및 낮은 유지 보수 등 몇 가지 장점이 있습니다. 이러한 이점은 기계 기반이 안정적이고 정확하며 내구성이 유지되도록하여 고품질 웨이퍼 처리와 생산성이 향상됩니다.
후 시간 : 12 월 28 일 -2023 년