화강암은 높은 강성, 낮은 열팽창률, 우수한 진동 감쇠 특성과 같은 고유한 성질 덕분에 기계 베이스, 특히 웨이퍼 가공 장비에 매우 적합한 소재입니다. 전통적으로 기계 베이스 소재로는 금속이 사용되어 왔지만, 화강암은 다음과 같은 이유로 우수한 대안으로 떠오르고 있습니다.
높은 강성: 웨이퍼 가공 중 진동을 최소화하고 정확도를 유지하려면 기계 베이스가 견고하고 안정적이어야 합니다. 화강암은 무게 대비 강성이 매우 높아 뛰어난 강성과 안정성을 제공하므로 진동을 줄이고 탁월한 가공 정확도를 보장합니다.
낮은 열팽창률: 온도 변화는 금속의 팽창 또는 수축을 유발하여 기계 베이스의 치수 변화를 초래하고 가공의 정확도를 떨어뜨릴 수 있습니다. 반면 화강암은 열팽창 계수가 낮아 온도 변화에 따른 팽창이나 수축이 거의 없어 가공의 안정성과 정확성을 보장합니다.
탁월한 진동 감쇠: 진동은 공작기계에서 흔히 발생하는 문제이며, 치수 오차, 표면 조도 불량, 심지어 기계 부품의 조기 마모로 이어질 수 있습니다. 화강암은 뛰어난 진동 감쇠 특성으로 잘 알려져 있으며, 이는 진동을 흡수하고 감쇠시켜 부드럽고 정확한 가공을 보장한다는 것을 의미합니다.
내화학성: 웨이퍼 가공에는 다양한 화학 물질이 사용되며, 이러한 화학 물질에 노출되면 시간이 지남에 따라 기계 베이스가 부식되고 열화될 수 있습니다. 화강암은 화학적 부식에 대한 저항성이 매우 뛰어나 웨이퍼 가공 장비의 기계 베이스에 안전하고 내구성이 뛰어난 소재입니다.
유지보수 최소화: 화강암은 유지보수가 거의 필요 없고 청소가 간편하며 금속처럼 부식되거나 녹슬지 않습니다. 이는 유지보수 비용 절감과 장비 가동 중단 시간 단축으로 이어집니다.
전반적으로 웨이퍼 가공 장비의 기계 받침대에 금속 대신 화강암을 선택하면 높은 강성, 낮은 열팽창률, 탁월한 진동 감쇠, 우수한 내화학성 및 낮은 유지보수 비용 등 여러 가지 이점을 얻을 수 있습니다. 이러한 이점 덕분에 기계 받침대는 안정적이고 정확하며 내구성이 뛰어나 고품질 웨이퍼 가공과 생산성 향상으로 이어집니다.
게시 시간: 2023년 12월 28일