정밀 광학 및 계측 분야에서 안정적이고 진동 없는 환경을 구축하는 것은 신뢰할 수 있는 측정의 기반입니다. 실험실 및 산업 현장에서 사용되는 모든 지원 시스템 중에서 광학 공기 부유 플랫폼(광학 진동 분리 테이블이라고도 함)은 간섭계, 레이저 시스템, 좌표 측정기(CMM)와 같은 계측기의 높은 정확도를 보장하는 데 중요한 역할을 합니다.
광학 플랫폼의 엔지니어링 구성
고품질 광학 플랫폼은 탁월한 강성과 열 안정성을 위해 설계된 완전 밀폐형 강철 허니콤 구조로 구성됩니다. 일반적으로 두께 5mm의 상판과 하판은 0.25mm 두께의 강판으로 정밀 가공된 허니콤 코어에 접합되어 대칭적이고 등방적인 구조를 형성합니다. 이러한 설계는 열 팽창과 수축을 최소화하여 온도 변화에도 플랫폼이 평탄도를 유지하도록 합니다.
알루미늄이나 복합 소재 코어와 달리, 강철 허니콤 구조는 원치 않는 변형 없이 깊이 전체에 걸쳐 일관된 강성을 제공합니다. 측벽 또한 강철로 제작되어 혼합 소재 플랫폼에서 흔히 발생하는 습도 관련 불안정성을 효과적으로 제거합니다. 자동화된 표면 마감 및 연마 과정을 거친 테이블 상판은 서브미크론 수준의 평탄도를 달성하여 광학 어셈블리 및 정밀 기기에 이상적인 표면을 제공합니다.
정밀 측정 및 규정 준수 테스트
모든 광학 공기 부유 플랫폼은 출고 전 일련의 진동 및 적합성 테스트를 거칩니다. 펄스 해머가 플랫폼 표면에 제어된 힘을 가하는 동안 센서가 진동 반응을 기록합니다. 신호를 분석하여 주파수 응답 스펙트럼을 생성하고, 이는 플랫폼의 공진 및 격리 성능을 결정하는 데 도움이 됩니다.
가장 중요한 측정값은 플랫폼의 네 모서리에서 측정되는데, 이는 최악의 규정 준수 시나리오를 나타내기 때문입니다. 각 제품에는 전용 규정 준수 곡선과 성능 보고서가 제공되어 플랫폼의 동적 특성에 대한 완전한 투명성을 보장합니다. 이러한 수준의 테스트는 기존 업계 관행을 뛰어넘어 사용자에게 실제 작동 조건에서 플랫폼의 동작을 자세히 이해할 수 있도록 합니다.
진동 분리의 역할
진동 차단은 광학 플랫폼 설계의 핵심입니다. 진동은 외부와 내부, 두 가지 주요 원인에서 발생합니다. 외부 진동은 발소리, 주변 기계, 구조적 공명과 같이 지면에서 발생하고, 내부 진동은 공기 흐름, 냉각 시스템, 그리고 장비 자체의 작동에서 발생합니다.
공기 부유 광학 플랫폼은 두 가지 유형을 모두 분리합니다. 공기 서스펜션 다리는 바닥을 통해 전달되는 외부 진동을 흡수하고 감쇠시키며, 테이블 상판 아래의 공기 베어링 댐핑 층은 내부 기계 소음을 필터링합니다. 이 두 가지가 결합되어 고정밀 측정 및 실험의 정확성을 보장하는 조용하고 안정적인 기반을 형성합니다.
고유 주파수 이해
모든 기계 시스템에는 고유 진동수, 즉 교란 시 진동하는 경향이 있는 진동수가 있습니다. 이 매개변수는 시스템의 질량 및 강성과 밀접한 관련이 있습니다. 광 격리 시스템에서는 낮은 고유 진동수(일반적으로 2~3Hz 미만)를 유지하는 것이 매우 중요합니다. 이는 테이블이 주변 진동을 증폭하는 대신 효과적으로 격리할 수 있도록 하기 때문입니다. 질량, 강성, 그리고 감쇠 사이의 균형은 시스템의 격리 효율과 안정성을 직접적으로 결정합니다.
에어 플로팅 플랫폼 기술
최신 에어 플로팅 플랫폼은 XYZ 선형 에어 베어링 스테이지와 회전 에어 베어링 플랫폼으로 구분할 수 있습니다. 이러한 시스템의 핵심은 얇은 압축 공기막으로 지지되는 거의 마찰 없는 운동을 제공하는 에어 베어링 메커니즘입니다. 적용 분야에 따라 에어 베어링은 플랫, 선형 또는 스핀들 유형으로 나뉩니다.
기계식 리니어 가이드와 비교했을 때, 에어 베어링은 미크론 수준의 운동 정확도, 탁월한 반복성, 그리고 무마모성을 제공합니다. 초미세 정밀도와 장기적인 안정성이 필수적인 반도체 검사, 포토닉스, 나노기술 분야에 널리 사용됩니다.
유지 관리 및 수명
광학 공기 부유 플랫폼의 유지 관리는 간단하지만 필수적입니다. 표면을 깨끗하게 유지하고 이물질이 없도록 하며, 공기 공급 장치의 습기나 오염 여부를 주기적으로 점검하고, 테이블에 큰 충격이 가해지지 않도록 주의하십시오. 정밀 광학 테이블은 적절하게 유지 관리하면 수십 년 동안 성능 저하 없이 안정적으로 작동할 수 있습니다.
게시 시간: 2025년 11월 11일