화강암은 높은 경도, 내구성, 그리고 화학적 부식에 대한 저항성으로 잘 알려진 암석입니다. 이러한 특성으로 인해 반도체 장비의 베이스 소재로 널리 사용되고 있습니다. 화강암 베이스의 가장 큰 장점 중 하나는 뛰어난 열 안정성입니다.
열 안정성이란 재료가 고온에 노출되었을 때 구조 변화에 저항하는 능력을 말합니다. 반도체 장비의 경우, 장비가 장시간 고온에서 작동하기 때문에 베이스의 열 안정성이 매우 중요합니다. 화강암은 열팽창계수(CTE)가 낮고 열 안정성이 우수한 것으로 알려져 있습니다.
재료의 CTE는 온도 변화에 노출되었을 때 치수가 변하는 정도를 나타냅니다. CTE가 낮으면 재료가 다양한 온도에 노출되었을 때 휘거나 변형될 가능성이 적습니다. 이는 특히 정확하고 신뢰할 수 있는 결과를 보장하기 위해 안정적이고 평평하게 유지되어야 하는 반도체 장비의 바닥에서 매우 중요합니다.
반도체 장비 베이스에 일반적으로 사용되는 알루미늄이나 스테인리스 스틸과 같은 다른 소재에 비해 화강암은 열팽창계수(CTE)가 훨씬 낮습니다. 즉, 휘거나 변형되지 않고 더 높은 온도를 견딜 수 있습니다. 또한, 화강암의 열전도도는 열을 빠르게 방출하여 작동 중 안정적인 온도를 유지하는 데 도움이 됩니다.
반도체 장비의 베이스로 화강암을 사용하는 또 다른 장점은 화학적 부식에 대한 저항성입니다. 반도체 제조에 사용되는 장비는 종종 강한 화학 물질을 사용하는데, 이러한 화학 물질은 베이스를 부식시키고 손상시킬 수 있습니다. 화강암의 화학적 부식 저항성은 이러한 화학 물질에 노출되어도 손상되지 않는다는 것을 의미합니다.
결론적으로, 화강암의 열적 안정성은 반도체 장비의 기반에 필수적인 특성입니다. 낮은 CTE, 높은 열전도도, 그리고 화학적 부식에 대한 저항성은 이러한 목적에 이상적인 재료입니다. 화강암을 기반으로 사용함으로써 반도체 제조업체는 장비의 안정성과 정확성을 보장하여 고품질 제품을 생산하고 효율성을 높일 수 있습니다.
게시 시간: 2024년 3월 25일