웨이퍼 처리 장비용 화강암 기계 베이스를 깨끗하게 유지하는 가장 좋은 방법은 무엇입니까?

화강암은 높은 강성, 낮은 열팽창 및 우수한 진동 감쇠 특성과 같은 고유한 특성으로 인해 기계 베이스, 특히 웨이퍼 처리 장비에 탁월한 재료입니다.금속은 전통적으로 기계 베이스의 재료로 사용되었지만 다음과 같은 이유로 화강암이 탁월한 대안으로 부상했습니다.

높은 강성: 웨이퍼 처리 중에 진동을 최소화하고 정확성을 유지하려면 기계 베이스가 견고하고 안정적이어야 합니다.화강암은 무게 대비 강성이 높아 매우 견고하고 안정적이어서 진동을 줄이고 탁월한 가공 정확도를 보장합니다.

낮은 열팽창: 온도 변화로 인해 금속이 팽창하거나 수축하여 기계 베이스의 치수가 변경되고 가공이 부정확해질 수 있습니다.반면 화강암은 열팽창 계수가 낮아 온도 변화에 따라 크게 팽창하거나 수축하지 않아 가공의 안정성과 정확성이 보장됩니다.

뛰어난 진동 감쇠: 진동은 공작 기계에서 흔히 발생하는 문제이며 치수 오류, 표면 마감 문제, 심지어 기계 구성 요소의 조기 마모 및 파손까지 초래할 수 있습니다.화강암은 뛰어난 진동 감쇠 특성으로 잘 알려져 있습니다. 즉, 진동을 흡수하고 감쇠시켜 부드럽고 정확한 가공을 보장합니다.

내화학성: 웨이퍼 처리에는 다양한 화학 물질이 사용되며 이러한 화학 물질에 노출되면 시간이 지남에 따라 기계 베이스가 부식되고 성능이 저하될 수 있습니다.화강암은 화학적 부식에 대한 저항력이 뛰어나 웨이퍼 처리 장비의 기계 베이스에 안전하고 내구성이 뛰어난 재료로 선택됩니다.

낮은 유지 관리: 화강암은 최소한의 유지 관리가 필요하고 청소가 쉽고 금속처럼 부식되거나 녹슬지 않습니다.이는 유지 관리 비용이 낮아지고 장비의 가동 중지 시간이 줄어드는 것을 의미합니다.

전반적으로, 웨이퍼 처리 장비의 기계 베이스로 금속보다 화강암을 선택하면 높은 강성, 낮은 열팽창, 우수한 진동 감쇠, 탁월한 내화학성, 낮은 유지 관리 등 여러 가지 이점을 얻을 수 있습니다.이러한 이점을 통해 기계 베이스가 안정적이고 정확하며 내구성이 유지되어 고품질 웨이퍼 처리와 생산성 향상이 가능해집니다.