화강암은 높은 강성, 낮은 열팽창, 그리고 탁월한 진동 감쇠 특성과 같은 고유한 특성으로 인해 특히 웨이퍼 처리 장비의 기계 베이스에 적합한 소재입니다. 전통적으로 금속이 기계 베이스 소재로 사용되어 왔지만, 화강암은 다음과 같은 이유로 우수한 대안으로 부상했습니다.
높은 강성: 웨이퍼 가공 중 진동을 최소화하고 정확도를 유지하려면 기계 베이스가 견고하고 안정적이어야 합니다. 화강암은 높은 강성 대 중량비를 가지고 있어 매우 견고하고 안정적이며, 진동을 줄이고 뛰어난 가공 정확도를 보장합니다.
낮은 열팽창: 온도 변화는 금속의 팽창이나 수축을 유발하여 기계 바닥의 치수 변화를 초래하고 가공 정확도를 떨어뜨립니다. 반면 화강암은 열팽창 계수가 낮아 온도 변화에 따른 팽창이나 수축이 크지 않아 가공의 안정성과 정확성을 보장합니다.
탁월한 진동 감쇠력: 진동은 공작 기계에서 흔히 발생하는 문제이며, 치수 오차, 표면 조도 문제, 심지어 기계 부품의 조기 마모로 이어질 수 있습니다. 화강암은 탁월한 진동 감쇠력으로 잘 알려져 있어 진동을 흡수하고 감쇠시켜 부드럽고 정확한 가공을 보장합니다.
내화학성: 웨이퍼 가공에는 다양한 화학 물질이 사용되며, 이러한 화학 물질에 노출되면 시간이 지남에 따라 장비 베이스가 부식되고 성능이 저하될 수 있습니다. 화강암은 내화학성이 매우 뛰어나 웨이퍼 가공 장비의 장비 베이스에 안전하고 내구성이 뛰어난 소재로 선택됩니다.
낮은 유지 보수 비용: 화강암은 유지 보수가 거의 필요 없고, 청소가 간편하며, 금속처럼 부식되거나 녹슬지 않습니다. 따라서 유지 보수 비용이 낮고 장비 가동 중단 시간도 줄어듭니다.
전반적으로 웨이퍼 가공 장비용 머신 베이스로 금속 대신 화강암을 선택하면 높은 강성, 낮은 열팽창, 탁월한 진동 감쇠력, 뛰어난 내화학성, 그리고 낮은 유지 보수 비용 등 여러 가지 장점을 얻을 수 있습니다. 이러한 장점들은 머신 베이스의 안정성, 정확성, 그리고 내구성을 보장하여 고품질 웨이퍼 가공과 생산성 향상으로 이어집니다.
게시 시간: 2023년 12월 28일