화강암 기계 베드는 웨이퍼 처리 장비의 중요한 구성 요소입니다. 그것은 웨이퍼 처리 장비가 장착되는 화강암으로 만들어진 평평하고 안정적인베이스를 나타냅니다. 화강암은 우수한 안정성, 낮은 열 팽창, 우수한 진동 감쇠 및 높은 정확도로 인해 제조업에서 널리 사용되는 천연 석재입니다. 웨이퍼 가공 장비에서 화강암 기계 베드는 기계의 정확성, 안정성 및 반복성을 보장하는 데 중요한 역할을합니다.
웨이퍼 처리 장비가 반도체 웨이퍼를 제조하는 데 사용되므로 기계의 정확도는 반도체 제조의 성공에 필수적입니다. 기계 정렬에서 사소한 오류조차도 웨이퍼 처리 결과에 크게 영향을 줄 수 있으며, 이는 최종 제품에 심각한 결과를 초래할 수 있습니다. 따라서, 웨이퍼 처리 장비를위한 안정적이고 정확한베이스를 갖추어야하므로 기계가 정확하고 일관되게 작동 할 수 있습니다.
화강암은 열 팽창 계수가 낮으므로 온도 변화에 따라 크기와 모양을 유지할 수 있기 때문에 기계 베드에 이상적입니다. 이는 기계가 처리 중에 많은 열을 생성하기 때문에 웨이퍼 처리 장비에 특히 중요합니다. 온도 변화로 인해 기계 침대가 확장되거나 계약되면 기계의 정렬에 영향을 미쳐 처리의 부정확성이 발생할 수 있습니다.
또한, 화강암은 우수한 진동 감쇠 특성을 가지므로 기계 나 외부 소스에 의해 생성 된 진동을 흡수 할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 처리 기능의 노이즈 레벨을 줄이고 진동이 기계의 정확도를 방해하지 않도록합니다.
화강암은 또한 마모, 부식 및 화학적 손상에 저항력이 있습니다. 웨이퍼 처리 장비의 가혹한 작업 환경을 견딜 수 있고 장기간에 걸쳐 안정성과 정확성을 유지할 수있는 내구성이 뛰어난 재료입니다.
결론적으로, 화강암 기계 베드는 웨이퍼 처리 장비의 중요한 구성 요소입니다. 기계의 평평하고 안정적인베이스를 제공하여 정확성, 안정성 및 반복성을 보장하는 데 도움이됩니다. 화강암은 열 팽창이 낮고 진동 댐핑이 우수하며 높은 정확도로 인해 기계 베드에 이상적인 재료입니다. 반도체 산업이 계속 성장하고 발전함에 따라, 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리 장비의 중요성은 계속 증가하여 화강암 기계 베드가 반도체 제조 공정의 필수 부분이 될 것입니다.
시간 후 : 12 월 29 일 -2023 년