화강암 베이스는 우수한 진동 감쇠 특성, 열 안정성 및 낮은 열팽창 계수로 인해 반도체 장비에 일반적으로 사용됩니다.그러나 다른 재료와 마찬가지로 화강암도 반도체 장비의 성능에 영향을 미칠 수 있는 결함을 일으킬 수 있습니다.이 기사에서는 반도체 장비의 화강암 기반의 일반적인 결함 중 일부를 강조하고 솔루션을 제공합니다.
결함 #1: 표면 변형
표면 변형은 반도체 장비의 화강암 기반에서 가장 흔한 결함입니다.화강암 기초가 온도 변화나 무거운 하중을 받으면 뒤틀림, 비틀림, 범프와 같은 표면 변형이 발생할 수 있습니다.이러한 변형은 반도체 장비의 정렬 및 정확성을 방해할 수 있습니다.
해결책: 표면 수정
표면 수정은 화강암 기초의 표면 변형을 완화하는 데 도움이 될 수 있습니다.교정 과정에는 화강암 바닥의 표면을 다시 연마하여 평탄함과 매끄러움을 복원하는 작업이 포함됩니다.정밀도를 유지하는 데 사용되는 올바른 연삭 공구와 연마재를 선택하는 데 세심한 주의를 기울여야 합니다.
결함 #2: 균열
열 순환, 무거운 하중 및 가공 오류로 인해 화강암 기반에 균열이 발생할 수 있습니다.이러한 균열은 구조적 불안정으로 이어질 수 있으며, 반도체 장비의 정밀도에 큰 영향을 미칠 수 있습니다.
해결책: 충전 및 수리
균열을 채우고 수리하면 화강암 기초의 안정성과 정밀도를 복원하는 데 도움이 될 수 있습니다.수리 과정에는 일반적으로 균열을 에폭시 수지로 채운 다음 경화하여 화강암 표면의 강도를 복원하는 작업이 포함됩니다.그런 다음 접착된 표면을 다시 연마하여 평탄성과 매끄러움을 복원합니다.
결함 #3: 박리
층간박리는 화강암 기초의 층이 서로 분리되어 표면에 눈에 띄는 틈, 공기 주머니 및 불일치가 생기는 것을 말합니다.이는 부적절한 접착, 열 순환 및 가공 오류로 인해 발생할 수 있습니다.
해결책: 접합 및 수리
접착 및 수리 공정에는 박리된 화강암 부분을 접착하기 위해 에폭시 또는 폴리머 수지를 사용하는 작업이 포함됩니다.화강암 부분을 접착한 후 수리된 표면을 다시 연마하여 평탄함과 매끄러움을 복원합니다.화강암 기초가 원래의 구조적 강도로 완전히 복원되었는지 확인하기 위해 접착된 화강암에 남아 있는 틈과 에어 포켓이 있는지 확인해야 합니다.
결함 #4: 변색 및 얼룩
때로는 화강암 기초에 갈색 및 노란색 반점, 백화 및 어두운 얼룩과 같은 변색 및 얼룩 문제가 발생할 수 있습니다.이는 화학 물질 유출 및 부적절한 청소 관행으로 인해 발생할 수 있습니다.
해결책: 청소 및 유지 관리
화강암 바닥을 정기적으로 적절하게 청소하면 변색과 얼룩을 방지할 수 있습니다.중성 또는 순한 pH 세척제를 사용하는 것이 좋습니다.화강암 표면이 손상되지 않도록 청소 과정은 제조업체의 지침을 따라야 합니다.잘 지워지지 않는 얼룩의 경우 특수 화강암 세척제를 사용할 수 있습니다.
요약하자면, 화강암 베이스는 내구성이 뛰어나고 신뢰성이 높은 소재로 반도체 장비에 널리 사용됩니다.하지만 시간이 지나면서 온도 변화, 무거운 하중, 가공 오류 등으로 인해 결함이 발생할 수 있습니다.적절한 유지 관리, 청소 및 수리를 통해 화강암 기반을 복원하여 반도체 장비의 최적 성능을 보장할 수 있습니다.
게시 시간: 2024년 3월 25일