화강암베이스는 우수한 진동 감쇠 특성, 열 안정성 및 낮은 열 팽창 계수로 인해 반도체 장비에서 일반적으로 사용됩니다. 그러나 다른 재료와 마찬가지로 화강암은 반도체 장비의 성능에 영향을 줄 수있는 결함을 개발할 수 있습니다. 이 기사에서는 반도체 장비에서 화강암베이스의 일반적인 결함 중 일부를 강조하고 솔루션을 제공합니다.
결함 #1 : 표면 변형
표면 변형은 반도체 장비의 화강암베이스에서 가장 일반적인 결함입니다. 화강암베이스에 온도 변화 또는 무거운 하중이 적용되면 워프, 트위스트 및 범프와 같은 표면 변형이 발생할 수 있습니다. 이러한 변형은 반도체 장비의 정렬 및 정확도를 방해 할 수 있습니다.
해결책 : 표면 보정
표면 보정은 화강암베이스의 표면 변형을 완화하는 데 도움이 될 수 있습니다. 보정 과정은 화강암베이스의 표면을 다시 연락하여 평탄도와 부드러움을 회복시키는 것입니다. 올바른 연삭 도구를 선택하는 데주의를 기울여야하며 정밀도를 유지하는 데 사용되는 연마제를 사용해야합니다.
결함 #2 : 균열
열 순환, 무거운 하중 및 가공 오류의 결과로 화강암베이스에서 균열이 발생할 수 있습니다. 이러한 균열은 구조적 불안정성을 유발하고 반도체 장비의 정밀도에 크게 영향을 줄 수 있습니다.
해결책 : 충전 및 수리
균열을 채우고 수리하면 화강암베이스의 안정성과 정밀도를 복원하는 데 도움이됩니다. 수리 과정은 전형적으로 균열을 에폭시 수지로 채우는 다음, 화강암 표면의 강도를 회복시키기 위해 경화됩니다. 그런 다음 결합 표면은 평평성과 부드러움을 회복시키기 위해 재지됩니다.
결함 #3 : 박리
탈선은 화강암베이스의 층이 서로 분리되어 표면에 가시 간격, 공기 주머니 및 불일치를 만듭니다. 이는 부적절한 결합, 열 순환 및 가공 오류로 인해 발생할 수 있습니다.
해결책 : 결합 및 수리
결합 및 복구 과정은 박리 된 화강암 섹션을 결합하기 위해 에폭시 또는 중합체 수지를 사용하는 것을 포함한다. 화강암 섹션을 결합 한 후, 수리 된 표면은 평평성과 평활성을 회복시키기 위해 재구성된다. 결합 된 화강암은 화강암베이스가 원래 구조적 강도로 완전히 복원되도록하기 위해 남은 갭 및 에어 포켓을 점검해야합니다.
결함 #4 : 변색 및 염색
때로는 화강암 기지가 갈색과 노란색 반점, 이포 및 어두운 얼룩과 같은 변색 및 염색 문제를 일으킬 수 있습니다. 이것은 화학적 유출과 부적절한 청소 관행으로 인해 발생할 수 있습니다.
해결책 : 청소 및 유지 보수
화강암베이스의 규칙적이고 적절한 청소는 변색 및 염색을 방지 할 수 있습니다. 중성 또는 가벼운 pH 클리너 사용이 권장됩니다. 청소 공정은 화강암 표면을 손상시키지 않기 위해 제조업체의 지침을 따라야합니다. 완고한 얼룩의 경우 특수 화강암 세정제를 사용할 수 있습니다.
요약하면, 화강암베이스는 반도체 장비에 널리 사용되는 내구성 있고 신뢰할 수있는 재료입니다. 그러나 온도 변화, 무거운 하중 및 가공 오류로 인해 시간이 지남에 따라 결함이 발생할 수 있습니다. 적절한 유지 보수, 청소 및 수리를 통해 화강암베이스를 복원하여 반도체 장비의 최적 성능을 보장 할 수 있습니다.
시간 후 : 3 월 25-2024 년