반도체 장비에서 화강암의 일반적인 용도는 무엇입니까?

화강암은 수년 동안 반도체 장비의 제조 및 설계에 널리 사용되어 왔습니다.이는 우수한 특성으로 인해 많은 응용 분야에 이상적인 소재입니다.화강암은 마모, 부식 및 열충격에 대한 저항력이 뛰어나 열악한 환경에서 사용하기에 적합합니다.이 기사에서는 반도체 장비에 화강암을 적용하는 몇 가지 일반적인 용도에 대해 설명합니다.

1. 계측 장비

계측 장비는 반도체 장치의 크기와 특성을 측정하는 데 사용됩니다.화강암은 치수 안정성이 높기 때문에 이러한 장비의 기초로 자주 사용됩니다.화강암 표면의 평탄도와 정밀도는 정확한 측정을 위한 이상적인 기준을 제공합니다.또한 화강암의 열 안정성은 온도 변화로 인한 치수 변화 위험을 줄여줍니다.

2. 광학기기

화강암은 반도체 장치 제조에 사용되는 리소그래피 기계와 같은 광학 장비에도 사용됩니다.화강암 베이스는 이러한 기계에 사용되는 고정밀 광학 장치를 위한 안정적인 플랫폼을 제공합니다.Granite의 우수한 진동 감쇠 특성은 광학 장치의 성능과 정확성에 영향을 미칠 수 있는 진동을 줄이는 데에도 도움이 됩니다.

3. 웨이퍼 가공 장비

반도체 웨이퍼 처리에는 세척, 에칭, 증착을 포함한 여러 단계가 포함됩니다.화강암은 웨이퍼 처리 장비의 여러 구성 요소에 사용됩니다.예를 들어, 화강암은 실리콘 웨이퍼에 박막을 증착하는 데 사용되는 화학기상증착(CVD) 장비의 기판으로 사용됩니다.화강암은 우수한 내화학성과 치수 안정성이 필수적인 에칭 챔버 및 기타 공정 용기의 구성에도 사용됩니다.

4. 테스트 장비

테스트 장비는 반도체 소자의 성능과 품질을 검증하는 데 사용됩니다.화강암은 높은 강성과 안정성으로 인해 테스트 장비의 베이스로 자주 사용됩니다.Granite는 민감한 테스트 장비와의 간섭을 제거하는 비자성 및 비전도성 플랫폼을 제공합니다.화강암 표면의 평탄도와 정밀도로 인해 매우 정확한 테스트 결과가 가능합니다.

결론

결론적으로 화강암은 반도체 장비의 설계 및 제조에 있어서 중요한 재료이다.치수 안정성, 열 안정성, 내화학성, 진동 감쇠 등 탁월한 특성으로 인해 다양한 응용 분야에 이상적인 소재입니다.화강암은 계측 장비, 광학 장비, 웨이퍼 처리 장비 및 테스트 장비를 포함하여 반도체 장비의 여러 중요한 구성 요소에 사용됩니다.더 빠르고, 더 작고, 더 강력한 반도체 장치에 대한 수요가 계속 증가함에 따라 반도체 장비에 화강암을 사용하는 것은 여전히 ​​필수적일 것입니다.

정밀 화강암29


게시 시간: 2024년 4월 8일