반도체 제조
리소그래피: 리소그래피는 복잡한 회로 패턴을 웨이퍼에 정밀하게 전사해야 하는 반도체 제조의 핵심 공정입니다. 화강암 받침대 위에 설치된 XYT 정밀 능동 진동 차단 모션 플랫폼은 리소그래피 장비에 안정적인 지지력과 정확한 위치 지정을 제공하여 노광 공정에서 웨이퍼 테이블의 위치 정확도를 나노미터 수준으로 유지하고, 진동 및 열 변형으로 인한 패턴 편차를 효과적으로 줄여 칩 제조 정확도와 수율을 향상시킵니다.
웨이퍼 검사: 웨이퍼 제조가 완료되면 미세한 결함이나 하자를 찾아내기 위해 높은 정밀도로 검사해야 합니다. XYT 정밀 능동 진동 차단 모션 플랫폼은 전자빔 현미경, 원자력 현미경 등의 검사 장비를 탑재하여 검사 과정 동안 안정적인 이동과 정확한 위치 지정을 유지할 수 있도록 지원합니다. 이를 통해 검사 장비는 웨이퍼 표면을 정밀하게 스캔하고 검사 해상도와 정확도를 향상시킬 수 있습니다.
광학기기 제조
렌즈 연삭 및 연마: 광학 렌즈 제조 공정에서 우수한 광학적 특성을 얻기 위해서는 렌즈를 정밀하게 연삭하고 연마해야 합니다. XYT 정밀 능동 진동 차단 이동 플랫폼은 연삭 및 연마 도구의 이동 경로를 정밀하게 제어할 수 있으며, 화강암 베이스는 외부 진동을 차단하여 가공 정밀도에 미치는 진동의 영향을 줄여 렌즈 표면의 평탄도와 마감이 설계 요구 사항을 충족하도록 합니다.
광학 시스템 조립: 광학 시스템 조립 과정에서 정확한 광 전달과 영상 품질을 보장하기 위해서는 다양한 광학 부품을 특정 위치에 정밀하게 설치해야 합니다. 화강암 베이스를 갖춘 XYT 정밀 능동 진동 차단 모션 플랫폼은 광학 부품의 설치 및 조정에 안정적인 플랫폼을 제공하며, 정밀한 모션 제어를 통해 광학 부품의 고정밀 정렬 및 조립을 가능하게 합니다.
항공우주
관성항법시스템 시험: 관성항법시스템은 항공우주 분야에서 중요한 항법 장비이며, 그 정확도는 항공기의 항법 정확도와 비행 안전에 직접적인 영향을 미칩니다. 관성항법시스템 시험 과정에서는 항공기의 다양한 운동 상태를 모사하기 위해 고정밀 회전판을 사용해야 합니다. XYT 정밀 능동 진동 차단 모션 플랫폼은 회전판의 지지대로 활용될 수 있습니다. 정밀한 모션 제어와 우수한 진동 차단 성능을 통해 관성항법시스템 시험에 안정적이고 정확한 이동 환경을 제공하여 시험의 정확도와 신뢰성을 향상시킵니다.
항공기 엔진 블레이드 가공: 항공기 엔진 블레이드의 가공 정밀도는 엔진의 성능과 효율에 중요한 영향을 미칩니다. XYT 정밀 능동 진동 차단 이동 플랫폼은 5축 연동 가공 센터와 같은 블레이드 가공 공정에 적용될 수 있으며, 공구의 이동 경로를 정밀하게 제어하고 안정적인 가공 환경을 유지함으로써 블레이드의 고정밀 가공을 실현하고 블레이드 형상 정밀도와 표면 품질이 설계 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.
과학 연구 테스트
나노과학 연구: 나노과학 연구에서는 나노물질 제조 및 나노소자 조립과 같이 나노 규모의 물체를 조작하고 관찰하는 것이 필수적입니다. XYT 정밀 능동 진동 차단 모션 플랫폼의 화강암 받침대는 서브마이크론 또는 나노 수준의 위치 정밀도를 제공하여 나노과학 연구를 위한 안정적이고 정확한 실험 플랫폼을 구축하고, 과학자들이 나노 세계의 신비를 더욱 심층적으로 탐구할 수 있도록 지원합니다.
생의학 영상: 형광 현미경, 공초점 현미경 등의 생의학 영상 장비에서 고해상도 생물학적 이미지를 얻기 위해서는 시료의 정확한 위치 지정과 안정적인 영상 촬영이 필수적입니다. XYT 정밀 능동 진동 차단 모션 플랫폼은 생물학적 시료를 운반하면서 정확한 모션 제어와 우수한 진동 차단 성능을 통해 시료의 진동과 흔들림을 최소화하여 영상 품질과 정확도를 향상시킵니다. 이를 통해 생의학 연구자들은 세포, 조직 및 기타 미세 구조에 대한 심층적인 연구를 수행할 수 있습니다.
게시 시간: 2025년 4월 11일