반도체 제조
리소그래피: 리소그래피는 복잡한 회로 패턴을 웨이퍼에 정밀하게 전사해야 하는 반도체 제조의 핵심 공정입니다. 화강암 기반에 설치된 XYT 정밀 능동 진동 분리 모션 플랫폼은 리소그래피 장비를 안정적으로 지지하고 정확한 위치 결정을 제공하여 노광 공정에서 웨이퍼 테이블의 위치 정확도를 나노미터 수준으로 유지하고, 진동 및 열 변형으로 인한 패턴 편차를 효과적으로 줄이며, 칩의 제조 정확도와 수율을 향상시킵니다.
웨이퍼 검사: 웨이퍼 제조가 완료된 후에는 미세 결함을 발견하기 위해 고정밀 검사를 수행해야 합니다. XYT 정밀 능동 진동 분리 모션 플랫폼은 전자빔 현미경, 원자간력 현미경 등의 검출 장비를 탑재하여 검출 과정에서 안정적인 움직임과 정확한 위치를 유지하도록 합니다. 이를 통해 검출 장비가 웨이퍼 표면을 정확하게 스캔하고 검출 해상도와 정확도를 향상시킬 수 있습니다.
광학 기기 제조
렌즈 연삭 및 연마: 광학 렌즈 제조 공정에서는 우수한 광학 특성을 얻기 위해 렌즈를 고정밀로 연삭하고 연마해야 합니다. XYT 정밀 능동 진동 차단 이동 플랫폼은 연삭 및 연마 공구의 이동 경로를 정밀하게 제어할 수 있으며, 화강암 받침대는 외부 진동을 차단하여 가공 정밀도에 미치는 진동의 영향을 줄여 렌즈 표면의 평탄도 및 마감이 설계 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.
광학 시스템 조립: 광학 시스템 조립 과정에서는 다양한 광학 부품을 특정 위치에 정밀하게 설치하여 빛의 정확한 전파와 이미징 품질을 보장해야 합니다. XYT의 화강암 기반 정밀 능동 진동 분리 모션 플랫폼은 광학 부품의 설치 및 조정을 위한 안정적인 플랫폼을 제공하며, 정밀 모션 제어를 통해 광학 부품의 고정밀 정렬 및 조립을 구현합니다.
항공우주
관성 항법 시스템 시험: 관성 항법 시스템은 항공우주 분야에서 중요한 항법 장비이며, 그 정확도는 항공기의 항법 정확도와 비행 안전에 직접적인 영향을 미칩니다. 관성 항법 시스템 시험 과정에서는 항공기의 다양한 운동 상태를 시뮬레이션하기 위해 고정밀 턴테이블을 사용해야 합니다. XYT 정밀 능동 진동 격리 모션 플랫폼은 회전 테이블의 지지 플랫폼으로 사용할 수 있습니다. 정밀한 모션 제어와 우수한 진동 격리 성능을 통해 관성 항법 시스템 시험에 안정적이고 정확한 이동 환경을 제공하고 시험 정확도와 신뢰성을 향상시킵니다.
항공기 엔진 블레이드 가공: 항공기 엔진 블레이드의 가공 정밀도는 엔진의 성능과 효율에 중요한 영향을 미칩니다. XYT 정밀 능동 진동 분리 이동 플랫폼은 5축 연동 머시닝 센터와 같은 블레이드 가공 공정에 적용되어 공구의 이동 경로를 정밀하게 제어하고 안정적인 가공 환경을 유지함으로써 블레이드의 고정밀 가공을 달성하고, 블레이드 형상 정밀도와 표면 품질이 설계 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.
과학적 연구 테스트
나노과학 연구: 나노과학 연구에서는 나노물질 제조 및 나노소자 조립과 같은 나노 크기의 물체를 작동하고 관찰하는 것이 필수적입니다. XYT 정밀 능동 진동 분리 모션 플랫폼의 화강암 기반은 서브마이크론 또는 나노 수준의 위치 정확도를 제공하고, 나노과학 연구를 위한 안정적이고 정확한 실험 플랫폼을 제공하며, 과학자들이 나노 세계의 신비를 더 깊이 탐구할 수 있도록 지원합니다.
생체 의학 영상: 형광 현미경, 공초점 현미경 및 기타 영상 장치와 같은 생체 의학 분야에서 고해상도 생체 영상을 얻으려면 샘플의 정밀한 위치 조정과 안정적인 영상 촬영이 필수적입니다. XYT 정밀 능동 진동 분리 모션 플랫폼은 생체 샘플을 운반하고, 정확한 모션 제어와 우수한 진동 분리 성능을 통해 샘플의 진동과 드리프트를 줄이며, 영상의 품질과 정확도를 향상시키고, 생체 의학 연구자들이 세포, 조직 및 기타 미세 구조에 대한 심층 연구를 수행할 수 있도록 지원합니다.
게시 시간: 2025년 4월 11일