화강암은 탁월한 강성, 높은 무게 및 마모 및 부식에 대한 저항성으로 인해 웨이퍼 가공 장비의 기계 베드에 인기있는 재료입니다. 그러나 이러한 유리한 특성을 사용하더라도 화강암 기계 베드는 특정 결함에 면역되지 않아 장비의 성능, 정밀도 및 신뢰성을 줄일 수 있습니다. 이 기사에서는 웨이퍼 처리 장비를위한 화강암 기계 베드의 가장 일반적인 결함을 검토하고이를 해결하는 방법을 제안합니다.
1. 날실과 활
화강암은 천연 물질이므로 차원과 평탄도에 약간의 변화가 포함될 수 있습니다. 이러한 변형으로 인해 화강암 기계 베드가 시간이 지남에 따라 뒤틀 리거나 활을 일으켜 장비의 정확도에 영향을 줄 수 있습니다. 또한, 무거운 진동 또는 열 사이클링은이 문제를 악화시킬 수 있습니다. 이 문제를 해결하는 한 가지 방법은 더 나은 치수 안정성으로 화강암을 선택하고 고정 장치를 사용하여 기계 베드가 평평하게 유지되도록하는 것입니다.
2. 치핑과 균열
화강암은 단단하고 부서지기 쉬운 물질이므로 충격이 높거나 스트레스를 받으면 쉽게 칩을 뿌리거나 갈라질 수 있습니다. 이러한 결함으로 인해 기계 베드가 고르지 않아 웨이퍼 처리 장비의 움직임의 부드러움에 영향을 줄 수 있습니다. 치핑 및 균열을 방지하려면 설치 및 작동 중에 조심스럽게 화강암 기계 베드를 다루는 것이 중요합니다. 또한 가능한 빨리 손상의 징후를 감지하기 위해 정기 검사를 수행하는 것이 좋습니다.
3. 표면 거칠기
화강암 기계 베드의 표면은 웨이퍼 처리 장비가 정확하고 안정적으로 작동하도록하기 위해 매끄럽고 평평해야합니다. 그러나 기계 베드를 만드는 데 사용되는 가공 공정은 장비의 성능에 영향을 줄 수있는 표면 거칠기를 남길 수 있습니다. 이 문제를 해결하려면주의해서 가공 프로세스를 수행하고 원하는 표면 마감을 달성하기 위해 적절한 도구와 기술을 사용하는 것이 중요합니다.
4. 염색 및 변색
화강암 기계 베드는 화학 물질, 물 및 기타 물질에 노출되어 시간이 지남에 따라 염색되고 변색 될 수 있습니다. 이는 장비의 미적 매력에 영향을 줄 수 있으며 화강암 재료의 조기 분해로 이어질 수 있습니다. 염색 및 변색을 방지하려면 사용 후 장비의 정기적 인 닦기 및 건조를 포함하여 적절한 세척 및 유지 보수 절차를 사용하는 것이 중요합니다.
5. 무게의 고르지 않은 분포
화강암 기계 베드는 무겁고 무게가 고르게 분포되지 않으면 장비가 불안정 해지고 정확성과 정확도에 영향을 줄 수 있습니다. 무게가 고르게 분포되도록하려면 설치 중에 레벨러와 지지대를 사용하는 것이 중요합니다. 또한 불균형을 감지하기 위해 정기적 인 체중 검사를 수행하는 것이 좋습니다.
결론적으로, 화강암 기계 베드는 우수한 특성으로 인해 웨이퍼 가공 장비에 인기있는 선택입니다. 그러나 성능, 정밀도 및 신뢰성에 영향을 줄 수있는 특정 결함에 면역이되지 않습니다. 모범 사례를 따르고 장비를 잘 관리함으로써 이러한 문제를 해결하고 장비가 앞으로 몇 년 동안 최적의 수준에서 작동하도록 할 수 있습니다.
시간 후 : 12 월 29 일 -2023 년