화강암은 웨이퍼 가공 장비에 오랫동안 사용 된 자연적으로 발생하는 암석입니다. 열 팽창이 낮고 강성이 높고 안정성이 우수한 탁월한 특성으로 유명합니다. 그러나 모든 재료와 마찬가지로 화강암에는 웨이퍼 처리 장비의 품질에 영향을 줄 수있는 자체 결함이 있습니다.
화강암의 주요 결함 중 하나는 금이 가거나 파손되는 경향입니다. 이것은 바위가 형성되는 동안 발생할 수있는 미세 균열의 존재 때문입니다. 이러한 미세 균열이 제대로 식별되고 처리되지 않으면 전파하고 장비의 고장으로 이어질 수 있습니다. 이런 일이 발생하지 않도록 처리 장비 제조업체는 미세 균열이 없는지 확인하기 위해 처리 및 테스트 된 고품질 화강암을 사용해야합니다.
화강암의 또 다른 결함은 부식에 대한 감수성입니다. 화강암 장비가 부식성 환경과 접촉하면 시간이 지남에 따라 저하되기 시작할 수 있습니다. 이로 인해 장비가 손상되거나 제대로 작동하지 않을 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 제조업체는 장비에 사용 된 화강암이 부식이 발생하지 않도록 올바르게 처리 및 코팅되도록해야합니다.
화강암은 또한 고유 한 열 특성으로 인해 시간이 지남에 따라 뒤틀리기 쉽습니다. 화강암은 열 팽창 계수가 매우 낮기 때문에 온도 변화에 따라 확장되거나 수축되지 않기 때문입니다. 그러나 소량의 확장 또는 수축조차도 시간이 지남에 따라 장비의 뒤틀림을 유발할 수 있습니다. 장비 제조업체는이 결함이 발생하지 않도록 장비를 설계 할 때 화강암의 열 특성을 고려하는 것이 중요합니다.
마지막으로, 화강암의 다공성 특성은 오염과 관련된 문제로 이어질 수 있습니다. 화강암이 제대로 밀봉되지 않으면 웨이퍼의 품질에 영향을 줄 수있는 오염 물질을 흡수 할 수 있습니다. 이로 인해 비용이 많이 드는 가동 중지 시간과 생산이 손실 될 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 제조업체는 화강암을 올바르게 밀봉하여 오염 물질이 흡수되는 것을 방지해야합니다.
결론적으로, 화강암은 웨이퍼 가공 장비에 사용하기에 우수한 재료입니다. 그러나 결함을 알고 결함이 발생하지 않도록 필요한 예방 조치를 취하는 것이 중요합니다. 적절한 관리 및 유지 보수를 통해 화강암 장비는 수년간 계속 작동하여 반도체 산업에 고품질 웨이퍼를 제공 할 수 있습니다.
후 시간 : 12 월 27 일 -2023 년