화강암은 자연적으로 발생하는 암석으로 오랫동안 웨이퍼 가공 장비에 사용되어 왔습니다.낮은 열팽창, 높은 강성 및 우수한 안정성을 갖는 우수한 특성으로 알려져 있습니다.그러나 모든 재료와 마찬가지로 화강암에도 웨이퍼 처리 장비의 품질에 영향을 미칠 수 있는 자체 결함이 있습니다.
화강암의 주요 결함 중 하나는 깨지거나 부서지는 경향이 있다는 것입니다.이는 암석이 형성되는 동안 발생할 수 있는 미세 균열이 존재하기 때문입니다.이러한 미세 균열을 적절하게 식별하고 처리하지 않으면 전파되어 장비 고장으로 이어질 수 있습니다.이러한 일이 발생하지 않도록 처리 장비 제조업체는 미세 균열이 없는지 확인하기 위해 처리 및 테스트를 거친 고품질 화강암을 사용해야 합니다.
화강암의 또 다른 결함은 부식에 취약하다는 것입니다.화강암 장비가 부식성 환경과 접촉하면 시간이 지남에 따라 성능이 저하될 수 있습니다.이로 인해 장비가 손상되거나 제대로 작동하지 않을 수 있습니다.이를 방지하기 위해 제조업체는 장비에 사용되는 화강암을 적절하게 처리하고 코팅하여 부식이 발생하지 않도록 해야 합니다.
화강암은 또한 고유한 열적 특성으로 인해 시간이 지남에 따라 뒤틀리는 경향이 있습니다.이는 화강암의 열팽창 계수가 매우 낮기 때문입니다. 즉, 온도 변화에 따라 크게 팽창하거나 수축하지 않습니다.그러나 약간의 팽창이나 수축이라도 시간이 지남에 따라 장비가 뒤틀릴 수 있습니다.장비 제조업체는 이러한 결함이 발생하지 않도록 장비를 설계할 때 화강암의 열 특성을 고려하는 것이 중요합니다.
마지막으로 화강암의 다공성 특성으로 인해 오염 문제가 발생할 수 있습니다.화강암이 제대로 밀봉되지 않으면 웨이퍼 품질에 영향을 줄 수 있는 오염 물질을 흡수할 수 있습니다.이로 인해 비용이 많이 드는 가동 중지 시간과 생산 손실이 발생할 수 있습니다.이를 방지하기 위해 제조업체는 오염 물질이 흡수되는 것을 방지하기 위해 화강암을 적절하게 밀봉해야 합니다.
결론적으로 화강암은 웨이퍼 가공 장비에 사용하기에 탁월한 재료입니다.그러나 결함을 인식하고 결함이 발생하지 않도록 필요한 예방 조치를 취하는 것이 중요합니다.적절한 관리와 유지 관리를 통해 화강암 장비는 수년 동안 계속 작동하여 반도체 산업에 고품질 웨이퍼를 제공할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 12월 27일