반도체 제조: 칩 제조 공정에서 포토리소그래피 공정은 회로 패턴을 웨이퍼에 정밀하게 전사해야 합니다. 단축 에어 플로팅 초정밀 모션 모듈의 화강암 기반은 리소그래피 장비 내 웨이퍼 테이블에 고정밀 위치 지정과 안정적인 지지력을 제공합니다. 예를 들어, ASML을 비롯한 세계적인 리소그래피 장비 제조업체들은 고급 장비에 화강암 기반 에어 플로팅 모션 모듈을 사용합니다. 이 모듈은 웨이퍼의 위치 지정 정확도를 나노미터 단위로 제어하여 리소그래피 패턴의 정확도를 보장하고, 이를 통해 칩의 집적도와 성능을 향상시킵니다.
정밀 측정 분야: CMM은 산업 생산에서 일반적으로 사용되는 정밀 측정 장비로, 공작물의 크기, 형상 및 위치 정확도를 측정하는 데 사용됩니다. 화강암 받침대 위에 설치된 단축 에어 플로트의 초정밀 모션 모듈은 CMM의 모션 플랫폼으로 사용되어 고정밀 직선 운동을 구현하고 측정 프로브에 안정적인 모션 궤적을 제공합니다. 예를 들어, Hexagon의 고급 CMM은 이러한 조합을 활용하여 마이크론 수준의 측정 정확도로 크고 복잡한 부품을 측정하여 자동차, 항공우주 및 기타 산업 분야의 부품 품질 관리를 강력하게 보장합니다.
항공우주 분야: 항공우주 부품의 가공 및 시험에는 높은 정밀도가 요구됩니다. 예를 들어, 항공기 엔진 블레이드 가공은 블레이드 형상의 정확도를 보장하기 위해 공구의 운동 궤적을 정밀하게 제어해야 합니다. 단축 에어 플로팅 초정밀 모션 모듈의 화강암 기반은 5축 머시닝 센터 및 기타 장비에 적용되어 공구에 대한 고정밀 모션 제어를 제공하고 블레이드 가공 정확도가 설계 요구 사항을 충족하도록 보장합니다. 동시에, 항공 엔진 조립 공정에서는 부품의 조립 정확도를 측정하기 위해 고정밀 측정 장비가 필요합니다. 화강암 기반 에어 플로팅 모션 모듈은 측정 장비에 안정적인 지지력과 정확한 이동을 제공하여 조립 품질을 보장합니다.
광학 검사 분야: 광학 부품의 제조 및 테스트 공정에서는 광학 부품의 고정밀 위치 결정 및 측정이 필수적입니다. 예를 들어, 거울이나 렌즈와 같은 고정밀 광학 부품을 제조할 때는 간섭계 및 기타 장비를 사용하여 표면 형상 정확도를 측정해야 합니다. 단축 에어 플로팅 초정밀 모션 모듈의 화강암 기반은 간섭계의 이동 플랫폼으로 사용되어 서브미크론 수준의 위치 결정 정확도를 구현하고 광학 부품 검출을 위한 정확한 데이터 지원을 제공할 수 있습니다. 또한, 레이저 가공 장비에서는 레이저 빔의 스캐닝 궤적을 제어하기 위해 고정밀 모션 플랫폼이 필요하며, 에어 플로팅 모션 모듈의 화강암 기반은 이러한 요구 사항을 충족하여 고정밀 레이저 가공을 달성할 수 있습니다.
게시 시간: 2025년 4월 7일