화강암은 반도체 제조 산업에서 없어서는 안될 재료가 된 단단한 암석의 일종입니다.그 특성으로 인해 고온을 견딜 수 있어 반도체 장치 제조 공정의 다양한 단계에서 사용하기에 이상적입니다.결과적으로 화강암 조립은 반도체 제조 공정 장치 제품에서 광범위한 응용 분야를 발견했습니다.
화강암 조립의 가장 많이 활용되는 응용 분야 중 하나는 고정밀 공작 기계 구조를 만드는 것입니다.화강암의 강성과 안정성으로 인해 변형이 거의 또는 전혀 없이 정밀하고 정확한 도구를 생산할 수 있습니다.이러한 수준의 정밀도는 빔이 웨이퍼 위로 정확하게 향해야 하는 이온 주입과 같은 반도체 제조 공정에 필요합니다.
반도체 제조에서 화강암 조립을 적용하는 또 다른 분야는 계측 장비를 만드는 것입니다.계측 장비는 생산되는 장치의 정확성을 측정하고 검증하므로 반도체 제조 공정에서 매우 중요합니다.화강암의 치수 안정성, 낮은 열팽창 및 뛰어난 진동 감쇠 특성으로 인해 화강암은 계측 장비 구성에 선택되는 재료입니다.여기에는 웨이퍼의 준비 및 검사에 사용되는 대형 화강암 표면이 포함됩니다.
광학 테이블은 반도체 산업에서 화강암 조립이 광범위하게 적용되는 또 다른 영역입니다.광학 테이블은 데이터 통신용 도파관과 같은 광학 장치를 테스트하는 데 사용됩니다.Granite의 평탄도, 낮은 열팽창, 높은 강성 및 기계적 안정성으로 인해 광학 장치의 장착 및 위치 지정을 위한 매우 안정적인 표면을 제공할 수 있습니다.Granite 광학 테이블은 광학 장치의 정확하고 정밀한 테스트를 수행하는 데 필요한 안정성과 견고성을 제공할 수 있습니다.
화강암은 또한 웨이퍼 척 및 스테이지 구성에도 적용됩니다.반도체 제조 공정에서는 정밀한 정렬과 위치 제어가 중요합니다.처리 중에 웨이퍼를 제자리에 고정하는 웨이퍼 척은 고온 및 진공 조건을 견디면서 위치 정확도를 유지해야 합니다.화강암은 광범위한 온도에서 치수 안정성이 뛰어나고 진공 조건을 견딜 수 있어 웨이퍼 척 제작에 이상적입니다.한 위치에서 다른 위치로 웨이퍼를 이동하는 데 사용되는 단계는 반도체 제조 공정 중에 일련의 순환 이동을 거칩니다.화강암 조립체는 지속적이고 반복적인 움직임 주기를 견디는 데 필요한 안정성과 내구성을 제공합니다.
요약하면, 반도체 제조 산업에서 화강암 조립의 적용은 광범위합니다.치수 안정성, 낮은 열팽창, 높은 강성 및 진동 감쇠와 같은 특성으로 인해 반도체 장치 제조 공정의 다양한 단계에서 사용하기에 이상적인 소재입니다.고정밀 공작 기계 및 계측 장비의 구성부터 광학 테이블, 웨이퍼 스테이지 및 척에 이르기까지 화강암의 속성은 고품질 반도체 장치 제조를 달성하는 데 필요한 안정성, 정확성 및 반복성을 제공하는 데 중요한 역할을 합니다.
게시 시간: 2023년 12월 6일