화강암은 반도체 제조 산업에서 필수 물질이 된 하드 암석의 한 유형입니다. 그 특성을 통해 고온을 견딜 수 있으므로 반도체 장치 제조 공정의 다양한 단계에서 사용하기에 이상적입니다. 결과적으로 화강암 어셈블리는 반도체 제조 공정 장치 제품에서 광범위한 응용 분야를 발견했습니다.
화강암 어셈블리의 가장 많이 사용되는 응용 중 하나는 고정밀 공작 기계 구조를 구성하는 것입니다. 화강암의 강성과 안정성은 변형이 거의 없거나 전혀없는 정확하고 정확한 도구를 생성 할 수있게합니다. 이 수준의 정밀도는 이온 이식과 같은 반도체 제조 공정에서 필요하며, 여기서 빔은 웨이퍼에 정확하게 지시되어야합니다.
반도체 제조에서 화강암 어셈블리의 또 다른 응용은 계측 장비 건설에 있습니다. Metrology 장비는 반도체 제조 공정에서 생산되는 장치의 정확성을 측정하고 검증하므로 필수적입니다. Granite의 치수 안정성, 낮은 열 팽창 및 우수한 진동 감쇠 특성은 메트로학 장비 건설에서 선택한 재료가됩니다. 여기에는 웨이퍼의 준비 및 검사에 사용되는 큰 화강암 표면이 포함됩니다.
광학 테이블은 반도체 산업에서 화강암 어셈블리를 광범위하게 적용하는 또 다른 영역입니다. 광학 테이블은 데이터 통신을위한 도파관과 같은 광학 장치 테스트에 사용됩니다. 화강암의 평탄도, 낮은 열 팽창, 높은 강성 및 기계적 안정성을 통해 광학의 장착 및 위치를위한 매우 안정적인 표면을 제공 할 수 있습니다. 화강암 광학 테이블은 광학 장치의 정확하고 정확한 테스트를 수행하는 데 필요한 안정성과 강성을 제공 할 수 있습니다.
화강암은 또한 웨이퍼 척 및 무대 건설에 응용 프로그램을 찾습니다. 반도체 제조 공정에서 정밀 정렬 및 위치 제어가 중요합니다. 가공 중에 웨이퍼를 제자리에 고정하는 웨이퍼 척은 고온과 진공 조건을 견딜 때 위치 정확도를 유지해야합니다. 화강암은 광범위한 온도에 비해 탁월한 차원 안정성을 가지며 진공 조건을 견딜 수있어 웨이퍼 척의 구성에 이상적입니다. 한 위치에서 다른 위치로의 웨이퍼의 움직임에 사용되는 단계는 반도체 제조 공정 동안 사이클링 순서를 통과합니다. 화강암 어셈블리는 연속적이고 반복적 인 움직임 사이클을 견딜 수있는 안정성과 내구성을 제공합니다.
요약하면, 반도체 제조 산업에서 화강암 어셈블리의 적용은 광대합니다. 치수 안정성, 낮은 열 팽창, 높은 강성 및 진동 댐핑과 같은 특성은 다양한 단계의 반도체 장치 제조 공정에서 사용하기에 이상적인 재료입니다. 고정밀 공작 기계 및 계측 장비 건설에서 광학 테이블 및 웨이퍼 단계 및 척에 이르기까지 Granite의 속성은 고품질 반도체 장치 제조를 달성하는 데 필요한 안정성, 정확성 및 반복성을 제공하는 데 중요한 역할을합니다.
후 시간 : Dec-06-2023