화강암은 반도체 제조 산업에서 없어서는 안 될 소재가 된 단단한 암석의 일종입니다. 화강암은 고온을 견딜 수 있는 특성 덕분에 반도체 소자 제조 공정의 다양한 단계에 사용하기에 이상적입니다. 그 결과, 화강암 조립품은 반도체 제조 공정 장치 제품에서 광범위하게 활용되고 있습니다.
화강암 조립 공법의 가장 널리 활용되는 분야 중 하나는 고정밀 공작기계 구조물 제작입니다. 화강암의 강성과 안정성 덕분에 변형이 거의 또는 전혀 없는 정밀하고 정확한 공구를 제작할 수 있습니다. 이러한 정밀도는 이온 주입과 같은 반도체 제조 공정에서 필수적입니다. 이온 주입 공정에서는 빔을 웨이퍼에 정확하게 조사해야 하기 때문입니다.
반도체 제조에서 화강암 조립의 또 다른 응용 분야는 계측 장비 제작입니다. 계측 장비는 생산되는 소자의 정확도를 측정하고 검증하는 데 필수적입니다. 화강암은 치수 안정성, 낮은 열팽창률, 뛰어난 진동 감쇠 특성 덕분에 계측 장비 제작에 가장 적합한 소재입니다. 여기에는 웨이퍼의 배치 및 검사에 사용되는 대형 화강암 표면도 포함됩니다.
광학 테이블은 반도체 산업에서 화강암 조립이 널리 적용되는 또 다른 분야입니다. 광학 테이블은 데이터 통신용 도파관과 같은 광학 장치 테스트에 사용됩니다. 화강암은 평탄성, 낮은 열팽창률, 높은 강성 및 기계적 안정성 덕분에 광학 부품을 장착하고 위치를 조정하는 데 매우 안정적인 표면을 제공합니다. 화강암 광학 테이블은 광학 장치의 정확하고 정밀한 테스트를 수행하는 데 필요한 안정성과 강성을 제공할 수 있습니다.
화강암은 웨이퍼 척과 스테이지 제작에도 사용됩니다. 반도체 제조 공정에서 정밀한 정렬과 위치 제어는 매우 중요합니다. 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼 척은 고온 및 진공 조건에서도 위치 정확도를 유지해야 합니다. 화강암은 넓은 온도 범위에서 뛰어난 치수 안정성을 보이며 진공 조건에도 견딜 수 있어 웨이퍼 척 제작에 이상적입니다. 웨이퍼를 한 위치에서 다른 위치로 이동시키는 데 사용되는 스테이지는 반도체 제조 공정 동안 반복적인 움직임을 수행합니다. 화강암으로 제작된 구조물은 이러한 지속적이고 반복적인 움직임 주기를 견딜 수 있는 안정성과 내구성을 제공합니다.
요약하자면, 반도체 제조 산업에서 화강암 조립체의 응용 분야는 매우 광범위합니다. 치수 안정성, 낮은 열팽창률, 높은 강성, 진동 감쇠 등의 특성 덕분에 화강암은 반도체 소자 제조 공정의 다양한 단계에 사용하기에 이상적인 소재입니다. 고정밀 공작기계 및 계측 장비부터 광학 테이블, 웨이퍼 스테이지, 척에 이르기까지, 화강암의 이러한 특성은 고품질 반도체 소자 제조에 필수적인 안정성, 정확성, 반복성을 제공하는 데 중요한 역할을 합니다.
게시 시간: 2023년 12월 6일