반도체 산업에서 웨이퍼 검사는 칩의 품질과 성능을 보장하는 핵심 요소이며, 검사 테이블의 정확성과 안정성은 검출 결과에 결정적인 역할을 합니다. 고유한 특성을 지닌 화강암 받침대는 반도체 웨이퍼 검사 테이블의 이상적인 선택이 될 것입니다. 다차원 분석을 통해 다음과 같은 결과를 얻으실 수 있습니다.
첫째, 정밀도 보장 차원
1. 초고평탄도 및 직진도: 화강암 기판은 첨단 가공 기술로 가공되어 평탄도가 ±0.001mm/m 이상에 달하며, 직진도 또한 매우 우수합니다. 웨이퍼 검사 공정에서 고정밀 평면은 웨이퍼를 안정적으로 지지하고 검사 장비의 프로브와 웨이퍼 표면의 솔더 접합부 사이의 정확한 접촉을 보장합니다.
2. 매우 낮은 열팽창 계수: 반도체 제조는 온도 변화에 민감하며, 화강암의 열팽창 계수는 일반적으로 약 5×10⁻⁶/℃로 매우 낮습니다. 검출 플랫폼이 작동 중일 때는 주변 온도가 변동하더라도 화강암 바닥의 크기는 거의 변하지 않습니다. 예를 들어, 여름철 고온 작업장에서 일반 금속 바닥 검출 플랫폼의 온도는 웨이퍼와 검출 장비의 상대적 위치를 변화시켜 검출 정확도에 영향을 미칠 수 있습니다. 화강암 바닥 검출 플랫폼은 안정성을 유지하고 검출 과정에서 웨이퍼와 검출 장비의 상대적 위치 정확도를 보장하며, 고정밀 검출을 위한 안정적인 환경을 제공합니다.
둘째, 안정성 차원
1. 안정적인 구조와 진동 저항성: 화강암은 수백만 년에 걸친 지질학적 과정을 거쳐 내부 구조가 치밀하고 균일합니다. 반도체 공장과 같은 복잡한 환경에서 주변 장비 작동 및 주변을 오가는 인력으로 발생하는 진동은 화강암 기저에 의해 효과적으로 감쇠됩니다.
2. 장기 사용 정확도: 화강암은 다른 재료에 비해 경도가 높고 내마모성이 뛰어나며, 모스 경도는 6~7에 달할 수 있습니다. 화강암 기반 표면은 웨이퍼 로딩, 언로딩 및 검사 작업 시 쉽게 마모되지 않습니다. 실제 사용 데이터 통계에 따르면, 화강암 기반 테스트 테이블을 사용하여 5,000시간 연속 작동 후에도 평탄도 및 진직도 정확도를 초기 정확도의 98% 이상으로 유지할 수 있습니다. 정기적인 교정 및 유지 보수로 인한 기반 마모를 줄이고, 사업 운영 비용을 절감하며, 테스트 작업의 장기적인 안정성을 보장합니다.
셋째, 청결하고 간섭 방지 차원
1. 낮은 분진 발생: 반도체 제조 환경은 고도로 청결해야 하며, 화강암 재질 자체가 안정적이고 분진 발생이 용이하지 않습니다. 테스트 플랫폼 작동 중 베이스에서 발생하는 분진이 웨이퍼를 오염시키지 않도록 방지하고, 분진으로 인한 단락 및 단선 위험을 줄입니다. 무진공 작업장의 웨이퍼 검사 구역에서는 화강암 베이스 검사대 주변의 분진 농도를 항상 매우 낮은 수준으로 관리하여 반도체 산업의 엄격한 청정도 요건을 충족합니다.
2. 자기 간섭 없음: 검출 장비는 전자기 환경에 민감하며, 화강암은 비자성 물질이므로 검출 장비의 전자 신호를 방해하지 않습니다. 전자빔 검출 및 매우 높은 전자기 환경을 요구하는 기타 테스트 기술에서 화강암 기반은 검출 장비의 전자 신호의 안정적인 전송을 보장하고 테스트 결과의 정확성을 보장합니다. 예를 들어, 웨이퍼의 고정밀 전기 성능 테스트 시, 비자성 화강암 기반은 검출 전류 및 전압 신호의 간섭을 방지하여 검출 데이터가 웨이퍼의 전기적 특성을 정확하게 반영하도록 합니다.
게시 시간: 2025년 3월 31일