정밀 제조 및 과학 연구의 최첨단 분야에서 초정밀 모션 제어에 대한 수요는 날이 갈수록 증가하고 있습니다. 고정밀 선형 운동을 구현하는 핵심 장비인 초정밀 단축 공중 부양 모듈의 성능은 최종 제품의 품질과 과학 연구 결과의 정확도에 직접적인 영향을 미칩니다. 수많은 영향 요인 중에서도 화강암 베이스의 적용은 탁월한 성능을 제공하며, 최상의 정확도를 보장하는 핵심 요소가 됩니다.
수백만 년에 걸친 지질학적 변화를 거쳐 형성된 화강암은 내부 구조가 매우 조밀하고 균일합니다. 주로 석영, 장석 등의 광물로 구성된 화강암은 이러한 독특한 구성 덕분에 탁월한 물리적 특성을 지닙니다. 단축 공중 부양 초정밀 모션 모듈의 베이스로 사용될 때, 화강암은 무엇보다도 매우 높은 안정성을 보여줍니다. 일반적인 금속 소재 베이스와 비교했을 때, 화강암 베이스는 온도 변화 및 기계적 진동과 같은 외부 환경 변화에 대한 변형 저항성이 훨씬 뛰어납니다. 전자 칩 제조 공정에서는 칩 리소그래피의 위치 정밀도가 나노미터 수준에 도달해야 합니다. 생산 현장에서는 대형 장비 작동으로 발생하는 진동과 주변 온도의 미세한 변화조차도 리소그래피 장비의 동작 정밀도에 영향을 미칠 수 있습니다. 화강암 베이스를 사용한 단축 공중 부양 초정밀 모션 모듈은 외부 진동을 효과적으로 감쇠시켜 모션 모듈에 전달되는 진동 진폭을 80% 이상 감소시킬 수 있습니다. 동시에, 극히 낮은 열팽창 계수로 인해 온도가 변해도 베이스의 크기 변화가 매우 적어, 공중 부양 모션 모듈이 복잡한 환경에서도 안정적인 동작 정확도를 유지할 수 있도록 보장하고, 칩 리소그래피를 위한 정밀한 위치 지정 기반을 제공하여 칩 제조 수율을 크게 향상시킵니다.
또한 화강암은 내마모성이 뛰어납니다. 초정밀 단축 공기부양 모듈은 빈번한 왕복 운동을 하는데, 공기부양 슬라이더와 받침대 사이에 가스막이 형성되어 있더라도 장기간 사용 시 필연적으로 마찰이 발생합니다. 높은 경도를 지닌 화강암 받침대는 이러한 마찰로 인한 마모를 효과적으로 방지하여 운동 모듈의 수명을 연장시켜 줍니다. 대학 연구실에서 미세 입자 검출에 사용되는 실험 장비는 대량의 정확한 실험 데이터를 얻기 위해 장시간 안정적으로 작동하는 초정밀 단축 공기부양 운동 모듈이 필수적입니다. 화강암 받침대의 높은 내마모성은 장시간 사용 후에도 운동 모듈의 정밀도를 초기 수준의 높은 정밀도로 유지할 수 있도록 보장하여, 연구의 지속성과 정확성을 안정적으로 유지하고 연구자들이 미시 세계의 신비를 심도 있게 탐구할 수 있도록 지원합니다.
화강암 받침대가 있는 단축 공중 부양 초정밀 모션 모듈은 정밀 제조 및 과학 연구를 위한 정밀한 "항해사"와 같습니다. 탁월한 안정성과 내마모성을 자랑하는 화강암 받침대는 공중 부양 모션 모듈의 고정밀 움직임에 견고한 지지대를 제공하며, 반도체 제조, 광학 기기 제조, 첨단 과학 연구 등 정밀도가 요구되는 다양한 분야에서 없어서는 안 될 중요한 역할을 수행하여 산업을 더욱 정밀하고 고품질의 방향으로 이끌어갑니다.
게시 시간: 2025년 4월 7일