정밀 제조 및 과학 연구의 최전선에서 초정밀 모션 제어에 대한 수요는 날로 증가하고 있습니다. 고정밀 직선 운동을 구현하는 핵심 장비인 초정밀 단축 에어 플로팅 모듈의 성능은 최종 제품의 품질과 과학 연구 결과의 정확도에 직접적인 영향을 미칩니다. 여러 요인 중에서도 화강암 기반은 탁월한 이점을 제공하며, 탁월한 정확도를 보장하는 핵심 요소입니다.
화강암은 수백만 년에 걸친 지질학적 변화로 내부 구조가 매우 치밀하고 균일합니다. 주로 석영, 장석 및 기타 광물로 구성되어 있으며, 이러한 독특한 재료 조성은 화강암에 탁월한 물리적 특성을 부여합니다. 단축 에어 플로팅 초정밀 모션 모듈의 베이스로 사용될 경우, 화강암은 매우 높은 안정성을 우선적으로 발휘합니다. 일반적인 금속 재질 베이스와 비교하여 화강암 베이스는 온도 변화 및 기계적 진동과 같은 외부 환경 요인에 대한 변형 저항성이 더 강합니다. 전자 칩 제조 공정에서 칩 리소그래피의 위치 정확도는 나노미터 수준에 도달해야 합니다. 생산 현장에서는 대형 장비 작동으로 발생하는 진동과 주변 온도의 미세한 변화가 리소그래피 장비의 모션 정확도에 영향을 미칠 수 있습니다. 화강암 베이스를 사용한 단축 에어 플로팅 초정밀 모션 모듈은 외부 진동을 효과적으로 감쇠시키고 모션 모듈로 전달되는 진동 진폭을 80% 이상 줄일 수 있습니다. 동시에, 매우 낮은 열팽창 계수로 인해 온도 변화에 따라 베이스의 크기가 거의 변하지 않아 공기 부유 모션 모듈이 복잡한 환경에서도 안정적인 모션 정확도를 유지할 수 있으며, 칩 리소그래피를 위한 정밀한 위치 지정 기준을 제공하고 칩 제조 수율을 크게 향상시킵니다.
화강암은 내마모성이 우수합니다. 초정밀 단축 에어 플로트 모듈의 빈번한 왕복 운동 과정에서 에어 플로트 슬라이더와 베이스 사이에 가스막 지지대가 있지만, 장기간 사용하면 필연적으로 어느 정도의 마찰이 발생합니다. 높은 경도를 가진 화강암 베이스는 이러한 마찰로 인한 마모를 효과적으로 방지하고 모션 모듈의 수명을 연장할 수 있습니다. 대학 과학 연구실에서 미세 입자 검출에 사용되는 실험 장비는 다량의 정확한 실험 데이터를 얻기 위해 초정밀 단축 에어 플로팅 모션 모듈이 장시간 안정적으로 작동해야 합니다. 화강암 베이스의 높은 내마모성은 모션 모듈의 정확도를 장시간 사용 후에도 초기 고정밀 수준으로 유지하여 과학 연구 작업의 연속성과 정확성을 보장하고 연구자들이 미시 세계의 신비를 깊이 탐구하는 데 도움을 줍니다.
화강암 기반 단축 에어 플로트 초정밀 모션 모듈은 정밀 제조 및 과학 연구를 위한 정밀 "내비게이터"와 같습니다. 뛰어난 안정성과 내마모성을 갖춘 화강암 기반은 에어 플로트 모션 모듈의 고정밀 동작을 위한 견고한 지지대를 제공하며, 반도체 제조, 광학 기기 제조, 첨단 과학 연구 등 다양한 정밀 요구 분야에서 대체 불가능한 중요한 역할을 수행하여 산업의 정밀성과 품질을 더욱 향상시킵니다.
게시 시간: 2025년 4월 7일