화강암 플랫폼은 단순한 돌판처럼 보일 수 있지만, 일반적인 산업 응용 분야에서 고성능 광학 검사 및 계측 분야로 넘어가면 선택 기준이 완전히 달라집니다. ZHHIMG®에게 있어 반도체 및 레이저 기술 분야의 세계적인 선도 기업에 정밀 부품을 공급한다는 것은 광학 측정 플랫폼이 단순한 받침대가 아니라 광학 시스템 자체의 필수 불가결한 요소라는 점을 인식하는 것을 의미합니다.
고배율 이미징, 레이저 스캐닝, 간섭계 등을 포함하는 광학 검사의 요구 사항은 모든 측정 노이즈 발생원을 제거해야 한다는 필요성에 의해 정의됩니다. 이는 진정한 광학 플랫폼을 표준 산업용 플랫폼과 구별하는 세 가지 특별한 속성에 초점을 맞추게 합니다.
1. 탁월한 밀도로 비교할 수 없는 진동 감쇠 효과 제공
일반적인 산업용 CNC 베이스의 경우 주철이나 일반 화강암이 충분한 강성을 제공할 수 있습니다. 그러나 광학 장치는 공장 설비, 공조 시스템 또는 멀리 떨어진 교통 소음과 같은 외부 진동으로 인한 미세한 변위에도 매우 민감합니다.
바로 이 지점에서 재료 과학이 매우 중요해집니다. 광학 플랫폼에는 탁월한 고유 감쇠 특성을 지닌 화강암이 필요합니다. ZHHIMG®는 자체 개발한 ZHHIMG® 블랙 화강암(약 3100 kg/m³)을 사용합니다. 이 초고밀도 소재는 저급 화강암이나 대리석 대체재와는 달리 기계적 에너지를 효율적으로 소산시키는 결정 구조를 가지고 있습니다. 목표는 단순히 진동을 줄이는 것뿐만 아니라, 베이스가 완벽하게 정숙한 기계적 환경을 유지하여 대물렌즈와 검사 대상 시료 사이의 상대적인 움직임을 서브마이크론 수준에서 최소화하는 것입니다.
2. 드리프트 방지를 위한 극한의 열 안정성
일반적인 산업용 플랫폼은 사소한 치수 변화를 허용합니다. 예를 들어, 드릴링 작업에서 섭씨 0.1도 정도의 온도 변화는 문제가 되지 않을 수 있습니다. 그러나 장기간에 걸쳐 정밀한 측정을 수행하는 광학 시스템에서는 베이스 형상의 온도 변화로 인한 미세한 변형조차도 체계적인 오차를 유발합니다.
광학 검사에서 플랫폼은 탁월한 열팽창 계수(CTE)를 가진 열 방출 장치 역할을 해야 합니다. ZHHIMG® 블랙 화강암은 우수한 질량과 밀도를 통해 항온항습실 내에서 발생할 수 있는 미세한 팽창 및 수축에 저항하는 데 필요한 열 관성을 제공합니다. 이러한 안정성은 광학 부품의 보정된 초점 거리와 평면 정렬을 고정시켜 수 시간에 걸친 측정의 정확성을 보장합니다. 이는 고해상도 웨이퍼 검사 또는 평판 디스플레이 계측에 필수적인 요소입니다.
3. 나노 수준의 평탄도 및 기하학적 정밀도 달성
가장 눈에 띄는 차이점은 평탄도에 대한 요구 사항입니다. 일반적인 산업용 기판은 1등급 또는 0등급 평탄도(수 마이크론 단위)를 충족할 수 있지만, 광학 시스템은 나노미터 범위의 정확도를 요구합니다. 이러한 수준의 기하학적 완벽성은 빛의 간섭 원리를 이용하는 선형 스테이지 및 자동 초점 시스템에 안정적인 기준면을 제공하는 데 필수적입니다.
나노미터 수준의 평탄도를 달성하고 인증하려면 완전히 다른 제조 방식이 필요합니다. 대만 Nanter 연삭기와 같은 첨단 장비를 사용하는 고도로 전문화된 기술이 필요하며, Renishaw 레이저 간섭계와 같은 정교한 측정 장비로 검증됩니다. 이 모든 과정은 ZHHIMG®의 진동 감쇠 및 항온 항습 작업장과 같이 공기의 미세한 움직임까지 최소화된 초안정 환경에서 이루어져야 합니다.
본질적으로, 광학 검사를 위한 화강암 정밀 플랫폼을 선택하는 것은 광학 측정 자체의 정밀도를 적극적으로 보장하는 부품에 투자하는 결정입니다. 이는 ISO 9001 인증과 완벽한 치수 추적성을 선택 사항이 아닌 초정밀 광학 분야 진출의 필수 요건으로 여기는 제조업체와의 협력을 필요로 합니다.
게시 시간: 2025년 10월 21일