화강암 플랫폼은 단순한 석판처럼 보일 수 있지만, 일반적인 산업 응용 분야에서 고위험 광학 검사 및 계측 분야로 전환할 경우 선택 기준은 크게 달라집니다. ZHHIMG®에게 반도체 및 레이저 기술 분야의 세계적 선도 기업에 정밀 부품을 공급한다는 것은 광학 측정 플랫폼이 단순한 기반이 아니라 광학 시스템 자체의 필수적이고 타협할 수 없는 부분임을 인식하는 것을 의미합니다.
고배율 이미징, 레이저 스캐닝, 간섭계를 포함하는 광학 검사의 요건은 모든 측정 노이즈원을 제거해야 한다는 필요성으로 정의됩니다. 이는 진정한 광학 플랫폼과 표준 산업용 플랫폼을 구분하는 세 가지 특수 특성에 초점을 맞추게 됩니다.
1. 탁월한 진동 감쇠를 위한 뛰어난 밀도
표준 산업용 CNC 베이스의 경우, 주철이나 일반 화강암이 적절한 강성을 제공할 수 있습니다. 그러나 광학 장치는 공장 장비, 공기 조절 시스템, 심지어 먼 거리의 교통량으로 인한 외부 진동으로 인한 미세한 변위에 매우 민감합니다.
바로 이 부분에서 재료 과학이 매우 중요합니다. 광학 플랫폼에는 뛰어난 고유 감쇠력을 가진 화강암이 필요합니다. ZHHIMG®는 자사만의 ZHHIMG® 블랙 화강암(약 3100 kg/m³)을 사용합니다. 이 초고밀도 소재는 저급 화강암이나 대리석 대체재와 달리 기계적 에너지를 매우 효율적으로 분산시키는 결정 구조를 가지고 있습니다. 이는 단순히 진동을 줄이는 것이 아니라, 베이스가 완전히 조용한 기계적 바닥으로 유지되도록 하여 대물렌즈와 검사 대상 샘플 사이의 상대 운동을 서브미크론 수준으로 최소화하는 것을 목표로 합니다.
2. 드리프트를 방지하기 위한 극한의 열 안정성
표준 산업용 플랫폼은 사소한 치수 변화를 허용합니다. 섭씨 0.1도 정도의 온도 변화는 시추 작업에는 문제가 되지 않을 수 있습니다. 그러나 장시간 정밀 측정을 수행하는 광학 시스템에서는 베이스 구조의 열 드리프트가 시스템 오류를 발생시킵니다.
광학 검사를 위해 플랫폼은 매우 낮은 열팽창 계수(CTE)를 갖는 방열판 역할을 해야 합니다. ZHHIMG® Black Granite의 뛰어난 질량과 밀도는 온도 조절이 가능한 실내에서 발생할 수 있는 미세한 팽창과 수축을 견뎌내는 데 필요한 열 관성을 제공합니다. 이러한 안정성은 광학 부품의 보정된 초점 거리와 평면 정렬을 일정하게 유지하여 수 시간에 걸친 측정의 무결성을 보장합니다. 이는 고해상도 웨이퍼 검사 또는 평판 디스플레이 계측에 있어 절대적인 요소입니다.
3. 나노 수준의 평탄도 및 기하학적 정밀도 달성
가장 눈에 띄는 차이점은 평탄도 요건입니다. 일반적인 산업용 기판은 수 미크론 단위로 측정되는 1등급 또는 0등급 평탄도를 충족할 수 있지만, 광학 시스템은 나노미터 단위의 정확도를 요구합니다. 이러한 수준의 기하학적 완벽성은 광 간섭 원리로 작동하는 선형 스테이지와 자동 초점 시스템에 신뢰할 수 있는 기준면을 제공하는 데 필수적입니다.
나노미터 수준의 평탄도를 달성하고 인증하려면 완전히 다른 제조 방식이 필요합니다. 대만 난터(Nanter) 연삭기와 같은 첨단 기계를 사용하는 고도로 전문화된 기술이 필요하며, 레니쇼(Renishaw) 레이저 간섭계와 같은 정교한 계측 장비를 통해 검증됩니다. 이 공정은 ZHHIMG®의 진동 감쇠 및 기후 제어가 가능한 작업장과 같이 공기의 미세한 움직임조차 최소화되는 매우 안정적인 환경에서 이루어져야 합니다.
본질적으로 광학 검사용 화강암 정밀 플랫폼을 선택하는 것은 광학 측정 자체의 정밀도를 적극적으로 보장하는 부품에 투자하는 결정입니다. ISO 9001 인증과 포괄적인 치수 추적성을 선택 사항이 아닌 초정밀 광학 분야 진출을 위한 기본 요건으로 여기는 제조업체와 협력해야 합니다.
게시 시간: 2025년 10월 21일