정밀 제조, 과학 연구, 시험 및 기타 정밀 요구 사항 분야에서 정밀 정압 공기 부유 플랫폼은 중추적인 역할을 합니다. 건물의 초석을 놓는 것처럼 플랫폼 기반을 선택하는 것은 플랫폼의 성능과 직접적인 관련이 있습니다. 화강암 정밀 기반과 광물 주조 기반은 두 가지 인기 있는 선택으로, 각각 고유한 장점을 가지고 있습니다. 아래에서 자세한 비교를 확인해 보세요.
안정성: 자연결정화와 인공복합체의 차이점
수백만 년에 걸친 지질학적 변화로 화강암 정밀 베이스는 내부 석영, 장석 및 기타 광물들이 단단하게 결합되어 구조가 매우 치밀하고 균일합니다. 주변 대형 장비 작동으로 발생하는 진동과 같은 외부 간섭에 대해 화강암 베이스는 견고한 방패와 같은 역할을 하여 진동을 효과적으로 차단하고 감쇠시켜 정밀 정압 공기 부유 플랫폼의 진동 진폭을 80% 이상 감소시켜 플랫폼의 고정밀 이동을 위한 견고하고 안정적인 기반을 제공합니다. 반도체 칩 제조 작업장에서 리소그래피 공정은 플랫폼의 안정성에 대한 높은 요구 조건을 충족해야 하며, 화강암 베이스는 칩 리소그래피 장비의 정확한 작동을 보장하고 칩 패턴의 정밀한 조각에 도움을 주며 칩 제조 수율을 크게 향상시킵니다.
미네랄 캐스팅 베이스는 특수 바인더가 혼합된 미네랄 입자로 제작되었습니다. 내부 구조가 균일하고 일정한 진동 감쇠 특성을 가지고 있습니다. 일반적인 진동을 처리할 때는 플랫폼에 비교적 안정적인 작업 환경을 제공할 수 있습니다. 그러나 고강도 연속 진동의 경우, 미네랄 캐스팅 베이스의 진동 감쇠 능력은 화강암 베이스에 비해 다소 부족하여 플랫폼 이동에 약간의 편차가 발생하고 초정밀 작업의 정밀도에 영향을 미칠 수 있습니다.
정확도 유지: 자연적 이점과 낮은 팽창의 인위적 제어의 균형
화강암은 열팽창 계수가 매우 낮은 것으로 알려져 있으며, 일반적으로 5~7×10⁻⁶/℃입니다. 온도 변화가 심한 환경에서도 화강암 정밀 받침대의 크기는 거의 변하지 않습니다. 천문학 분야에서는 망원경 렌즈 미세 조정을 위한 정밀 정압 공기 부유 플랫폼이 화강암 받침대와 함께 사용되어, 낮과 밤의 온도 차이가 크더라도 렌즈의 위치 정확도를 서브미크론 수준으로 유지하여 천문학자들이 멀리 있는 천체의 미묘한 변화를 포착하는 데 도움을 줍니다.
미네랄 주조 재료의 배합 설계에서 열팽창 특성을 최적화하고 제어할 수 있으며, 미네랄과 결합재의 비율을 조절하여 열팽창 계수를 화강암에 근접하거나 그보다 더 좋게 만들 수 있습니다. 일부 온도 민감형 고정밀 측정 장비에서는 미네랄 주조 베이스가 온도 변화에도 안정적인 크기를 유지하여 플랫폼 이동의 정확성을 보장합니다. 그러나 미네랄 주조 베이스는 결합재의 노화와 같은 요인의 영향을 받기 때문에 장기적인 정확도 안정성에 대한 추가적인 관찰이 필요합니다.
내구성 : 고경도 천연석 및 피로저항성 복합소재의 특성
화강암은 경도가 높아 모스 경도가 6~7에 달할 수 있으며, 내마모성이 우수합니다. 재료과학 실험실에서 자주 사용되는 정밀 정압 공기 부유 플랫폼의 화강암 기반은 일반 기반에 비해 장기적인 마찰 손실을 효과적으로 견뎌내 플랫폼의 유지 보수 주기를 50% 이상 연장하고, 장비 유지 보수 비용을 절감하며, 과학 연구 작업의 연속성을 보장합니다. 그러나 화강암 소재는 상대적으로 취성이 강하고 우발적인 충격 시 파손되기 쉽습니다.
미네랄 캐스팅 베이스는 뛰어난 피로 저항성을 갖추고 있어 정밀 정압 공기 부유 플랫폼의 장시간 고주파 왕복 운동 시 피로 손상을 효과적으로 방지하고 구조적 무결성을 유지할 수 있습니다. 동시에 일반 화학 물질에 대한 내성을 갖추고 있으며, 화학적 부식 위험이 경미한 환경에서는 화강암 베이스보다 내구성이 뛰어납니다. 그러나 습도가 높은 극한 환경에서는 미네랄 캐스팅 베이스의 바인더가 영향을 받아 내구성이 저하될 수 있습니다.
제조 비용 및 가공 난이도: 천연석 과제 및 인공 주조 한계
화강암 원료의 채굴 및 운송은 복잡하며, 가공에는 매우 높은 수준의 장비와 기술이 필요합니다. 경도와 취성이 높아 절단, 연삭, 연마 등의 가공 과정에서 모서리 붕괴 및 균열 등의 문제가 발생하기 쉽고, 스크랩 발생률이 높아 제조 비용이 높습니다.
미네랄 캐스팅 베이스 제조에는 특정 금형과 공정이 필요하며, 초기 금형 개발 비용이 높지만, 일단 금형이 형성되면 대량 생산이 가능하여 단가를 낮출 수 있습니다. 가공 공정이 화강암에 비해 비교적 용이하며, 기계적 가공을 통해 더 높은 정밀도를 구현할 수 있고, 대규모 적용 시나리오에서 비용 효율적인 잠재력을 가지고 있습니다.
게시 시간: 2025년 4월 10일