뉴스 - 광학 공기 부유 플랫폼 개요: 구조, 측정 및 진동 분리

1. 광학 플랫폼의 구조적 구성

고성능 광학 테이블은 초정밀 측정, 검사 및 실험실 환경의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 구조적 무결성은 안정적인 작동의 기반입니다. 주요 구성 요소는 다음과 같습니다.

완전 강철 구조 플랫폼
고품질 광학 테이블은 일반적으로 5mm 두께의 상하부 스킨과 0.25mm 두께의 정밀 용접 강철 허니콤 코어를 포함한 전체 강철 구조로 제작됩니다. 코어는 고정밀 프레스 금형을 사용하여 제작되며, 용접 스페이서를 사용하여 일관된 기하학적 간격을 유지합니다.
차원 안정성을 위한 열 대칭
플랫폼 구조는 세 축 모두 대칭을 이루어 온도 변화에 따라 균일한 팽창과 수축을 보장합니다. 이러한 대칭성은 열 응력 하에서도 탁월한 평탄도를 유지하는 데 도움이 됩니다.
코어 내부에 플라스틱이나 알루미늄이 없습니다
허니콤 코어는 플라스틱이나 알루미늄 삽입물 없이 상단에서 하단 강철 표면까지 완전히 확장됩니다. 이를 통해 강성 저하나 높은 열팽창률을 방지합니다. 강철 측면 패널은 습기로 인한 변형으로부터 플랫폼을 보호합니다.
고급 표면 가공
테이블 표면은 자동 무광 연마 시스템을 사용하여 정밀하게 마감 처리되었습니다. 기존 표면 처리 방식과 비교하여 더욱 매끄럽고 일관된 표면을 제공합니다. 표면 최적화 후 평탄도는 제곱미터당 1μm 이내로 유지되어 정밀 기기 장착에 이상적입니다.

2. 광학 플랫폼 테스트 및 측정 방법

품질과 성능을 보장하기 위해 각 광학 플랫폼은 세부적인 기계적 테스트를 거칩니다.

모달 해머 테스트
보정된 임펄스 해머를 사용하여 표면에 알려진 외력을 가합니다. 진동 센서를 표면에 부착하여 반응 데이터를 수집하고, 이 데이터를 특수 장비로 분석하여 주파수 응답 스펙트럼을 생성합니다.
굽힘 컴플라이언스 측정
R&D 과정에서 테이블 표면의 여러 지점을 측정하여 컴플라이언스를 확인합니다. 일반적으로 네 모서리가 가장 높은 유연성을 보입니다. 일관성을 위해 보고된 대부분의 굴곡 데이터는 평면 장착 센서를 사용하여 이러한 모서리 지점에서 수집됩니다.
독립 테스트 보고서
모든 플랫폼은 개별적으로 테스트되었으며, 측정된 컴플라이언스 곡선을 포함한 상세 보고서가 함께 제공됩니다. 이는 일반적인 크기 기반 표준 곡선보다 더 정확한 성능 표현을 제공합니다.
주요 성과 지표
굽힘 곡선과 주파수 응답 데이터는 동적 하중 하에서 플랫폼의 동작을 반영하는 중요한 벤치마크로, 특히 이상적이지 않은 조건에서의 동작을 반영하여 사용자에게 현실적인 격리 성능 기대치를 제공합니다.

3. 광 진동 분리 시스템의 기능

정밀 플랫폼은 외부 및 내부 소스로부터 진동을 분리해야 합니다.

외부 진동에는 바닥 움직임, 발소리, 문 쾅 닫힘, 벽 충격 등이 포함될 수 있습니다. 이러한 진동은 일반적으로 테이블 다리에 내장된 공압식 또는 기계식 진동 차단 장치에 의해 흡수됩니다.
내부 진동은 계기 모터, 공기 흐름, 또는 순환하는 냉각수와 같은 부품에 의해 발생합니다. 이러한 진동은 테이블 상판 자체의 내부 댐핑 층에 의해 감쇠됩니다.

완화되지 않은 진동은 장비 성능에 심각한 영향을 미쳐 측정 오류, 불안정성, 실험 중단으로 이어질 수 있습니다.

4. 고유 주파수 이해

시스템의 고유 진동수는 외부 힘의 영향을 받지 않을 때 시스템이 진동하는 속도입니다. 이는 수치적으로 공진 진동수와 같습니다.

자연 주파수를 결정하는 두 가지 주요 요소는 다음과 같습니다.

움직이는 구성 요소의 질량
지지구조의 강성(스프링상수)

질량이나 강성을 줄이면 주파수가 증가하고, 질량이나 스프링 강성을 높이면 주파수가 감소합니다. 공진 문제를 방지하고 정확한 측정값을 유지하려면 최적의 고유 주파수를 유지하는 것이 중요합니다.

5. 공기 부유 격리 플랫폼 구성 요소

에어 플로팅 플랫폼은 에어 베어링과 전자 제어 시스템을 사용하여 매우 부드럽고 비접촉식 동작을 구현합니다. 이러한 플랫폼은 다음과 같이 분류됩니다.

XYZ 선형 에어 베어링 스테이지
회전식 공기 베어링 테이블

공기 베어링 시스템은 다음을 포함합니다.

평면형 에어 패드(에어 부유 모듈)
선형 공기 궤도(공기 유도 레일)
회전형 에어 스핀들

6. 산업 응용 분야의 공기 부상

공기 부상 기술은 폐수 처리 시스템에서도 널리 채택되고 있습니다. 이 기계는 다양한 산업 및 생활 폐수에서 부유 고형물, 오일 및 콜로이드 물질을 제거하도록 설계되었습니다.

일반적인 유형 중 하나는 와류 공기 부상 장치로, 고속 임펠러를 사용하여 물속에 미세 기포를 생성합니다. 이 미세 기포는 입자에 부착되어 상승하여 시스템에서 제거됩니다. 임펠러는 일반적으로 2900RPM으로 회전하며, 다중 블레이드 시스템을 통한 반복적인 전단 작용을 통해 기포 생성이 향상됩니다.

응용 프로그램은 다음과 같습니다.