화강암 베드는 다양한 반도체 장치에서 중요한 구성 요소입니다. 매우 안정적이고 단단한 재료로서, 화강암은 반도체 처리 장비의 기반으로 널리 사용됩니다. 낮은 열 팽창 계수, 고 차원 안정성 및 우수한 기계적 특성을 특징으로합니다. 이러한 특성으로 인해 화강암 베드는 세 가지 유형의 반도체 장치 (메트로학 장비, 리소그래피 장비 및 검사 장비)에서 가장 일반적으로 사용됩니다.
메트릭 장비는 반도체 장치의 중요한 치수를 측정하고 감지하는 데 사용됩니다. 반도체 제조 공정의 품질과 일관성을 유지하는 데 중요한 역할을합니다. 계측 장비에는 광학 현미경, 전자 현미경 및 원자력 현미경 (AFM)과 같은기구가 포함됩니다. 이러한 측정 기기의 성능은 안정성, 정밀성 및 진동 저항에 의존하기 때문에 화강암은 침대 재료에 이상적인 선택입니다. 화강암 베드의 균일 성과 안정성은 기기를위한 안정적인 플랫폼을 제공하여 정확도와 신뢰성을 향상시킵니다.
리소그래피 장비는 웨이퍼에서 마이크로 칩 패턴을 만드는 데 사용됩니다. 리소그래피 프로세스는 복잡한 회로를 만들고 칩 성능을 향상시키기 위해 높은 수준의 정밀도와 정확도가 필요합니다. 리소그래피 장비에는 광선을 사용하여 이미지를 웨이퍼로 전송하는 스테퍼 및 스캐너 시스템이 포함됩니다. 리소그래피 과정이 진동 및 열 변화에 매우 민감하기 때문에 리소그래피 공정의 안정성과 반복성을 보장하기 위해 고품질 베드가 필수적입니다. 화강암 베드는 리소그래피 시스템에 필요한 안정성과 엄격한 진동 감쇠 성능을 제공합니다. 화강암 베드는 스테퍼 또는 스캐너 시스템이 정확한 공간 관계를 유지하여 높은 정확도와 최종 제품 품질을 보장 할 수 있도록합니다.
검사 장비는 반도체 장치의 모든 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 검사 장비에는 레이저 스캐닝 현미경, 전자 현미경 및 광학 현미경과 같은 시스템이 포함됩니다. 이러한 장치가 매우 정확하고 안정적이며 진동 방지력이 있어야하는 화강암 침대가 완벽한 재료입니다. 화강암의 기계적 특성 및 치수 안정성은 진동 분리에 도움이되며 검사 장비의 출력 정확도를 향상시킵니다.
결론적으로, 화강암 베드는 반도체 산업에 중요하며 다양한 유형의 장비에 널리 사용됩니다. 치수 안정성, 낮은 열 팽창 계수 및 우수한 기계적 안정성과 같은 고유 한 특성은 화강암이 반도체 장비의 층 재료에 이상적인 선택입니다. 고품질 화강암 베드는 반도체 장비에 필요한 안정성, 정밀도 및 진동 저항을 제공하므로 궁극적으로 최종 제품의 품질을 향상시킵니다. 따라서 반도체 장비에서 화강암 베드를 사용하는 것은 앞으로 몇 년 동안 계속 될 것입니다.
시간 후 : 4 월 -03-2024