화강암 재료는 높은 안정성, 낮은 열팽창, 높은 부식 저항성과 같은 우수한 특성으로 인해 반도체 산업에서 널리 사용됩니다.이러한 특성으로 인해 화강암은 웨이퍼 이송 시스템에서 고정밀 부품을 제작하는 데 이상적인 재료입니다.
반도체 제조 공정에서 웨이퍼 이송 시스템은 제조 공정의 여러 단계에 걸쳐 웨이퍼를 이송하는 데 중요한 역할을 합니다.약간의 편차라도 전체 프로세스를 위험에 빠뜨릴 수 있으므로 정밀도와 정확성은 이러한 시스템의 필수 요구 사항입니다.따라서 웨이퍼 이송 시스템의 구성 요소는 고품질 재료로 만들어져야 하며 화강암은 이러한 기준을 충족합니다.
화강암 재료로 만들어진 웨이퍼 이송 시스템의 일부 부분은 다음과 같습니다.
1. 진공 척 테이블
진공 척 테이블은 공정 중 웨이퍼를 고정하는 역할을 하며, 웨이퍼가 손상되지 않도록 표면이 안정적이어야 합니다.화강암은 높은 안정성과 정밀도를 제공하는 편평하고 비다공성 표면을 갖고 있기 때문에 이 테이블을 만드는 데 이상적인 재료입니다.또한 화강암은 열팽창 계수가 낮아 웨이퍼의 치수 변화를 일으킬 수 있는 온도 변화에 강합니다.
2. 에어베어링 스테이지
에어베어링 스테이지는 제조 공정의 여러 단계를 통해 웨이퍼를 운반하는 데 사용됩니다.스테이지는 높은 정밀도와 안정성이 요구되는 마찰 없는 움직임을 제공하도록 설계되었습니다.화강암은 단단하고 단단한 돌이기 때문에 이 응용 분야에 사용되며 시간이 지남에 따라 변형과 마모에 저항합니다.
3. 리니어 모션 가이드
리니어 모션 가이드는 에어베어링 스테이지를 안내하는 데 사용되며 오류를 최소화하려면 정확한 위치에 배치되어야 합니다.화강암은 기계적 안정성과 강도가 우수하기 때문에 이 가이드를 만드는 데 사용됩니다.또한 이 소재는 부식 방지 처리가 되어 있어 가이드 시스템의 수명을 보장합니다.
4. 계측 장비
계측 장비는 제조 공정 중 웨이퍼의 치수와 특성을 측정하는 데 사용됩니다.화강암은 강성이 높고 팽창이 적으며 하중에 따른 변형이 최소화되므로 이 장비를 제작하는 데 이상적인 재료입니다.또한 화강암의 열 안정성은 계측 장비가 시간이 지나도 안정적이고 정확한 상태를 유지하도록 보장합니다.
결론적으로, 반도체 산업은 정밀도와 정확성에 의존하며 화강암 재료는 제조 과정에서 신뢰성이 높고 안정적인 것으로 입증되었습니다.높은 안정성, 정밀도 및 낮은 열팽창을 요구하는 웨이퍼 이송 시스템의 중요한 구성 요소가 많기 때문에 엔지니어는 이러한 중요한 요구 사항을 충족하기 위해 화강암 재료로 전환했습니다.
게시 시간: 2024년 3월 19일