화강암 재료는 높은 안정성, 낮은 열 팽창 및 부식에 대한 높은 저항과 같은 우수한 특성으로 인해 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 이러한 특성으로 인해 화강암은 웨이퍼 전송 시스템에 고정밀 부품을 구축하기위한 이상적인 재료입니다.
반도체 제조 공정에서 웨이퍼 전송 시스템은 제조 공정의 여러 단계에서 웨이퍼를 운반하는 데 중요한 역할을합니다. 정밀도와 정확도는 약간의 편차조차도 전체 프로세스를 위태롭게 할 수 있으므로 이러한 시스템의 필수 요구 사항입니다. 따라서 웨이퍼 전송 시스템의 구성 요소는 고품질 재료로 만들어야하며 화강암은 이러한 기준을 충족시킵니다.
화강암 재료로 만들어진 웨이퍼 전달 시스템의 일부는 다음과 같습니다.
1. 진공 청크 테이블
진공 척 테이블은 공정 동안 웨이퍼를 유지하는 데 사용되며 웨이퍼가 손상되지 않도록 안정적인 표면이 있어야합니다. 화강암은 높은 안정성과 정밀도를 제공하는 평평하고 비 다공성 표면을 가지고 있기 때문에이 테이블을 만드는 데 이상적인 재료입니다. 또한 화강암은 열 팽창 계수가 낮아서 온도 변화에 저항하여 웨이퍼의 치수 변화를 유발할 수 있습니다.
2. 공기를 깎는 단계
공기 함유 단계는 제조 공정의 다양한 단계를 통해 웨이퍼를 운반하는 데 사용됩니다. 무대는 마찰이없는 움직임을 제공하도록 설계되며, 이는 높은 정밀도와 안정성이 필요합니다. 화강암은이 애플리케이션에 사용되며 단단하고 단단한 석재이기 때문에 변형과 시간이 지남에 따라 마모에 저항합니다.
3. 선형 모션 가이드
선형 모션 가이드는 에어 베어 스테이지를 안내하는 데 사용되며 오류를 최소화하기 위해 정확하게 배치해야합니다. 화강암은 기계적 안정성과 강도가 우수하기 때문에이 가이드를 구축하는 데 사용됩니다. 이 재료는 또한 부식 방지제로 가이드 시스템의 수명을 보장합니다.
4. 메트로학 장비
메트릭 장비는 제조 공정에서 웨이퍼의 치수와 특성을 측정하는 데 사용됩니다. 화강암은 강성이 높고 팽창이 낮고 하중 하에서 최소 변형을 갖기 때문에이 장비를 구축하는 데 이상적인 재료입니다. 또한 Granite의 열 안정성은 메트릭 장비가 시간이 지남에 따라 안정적이고 정확하게 유지되도록합니다.
결론적으로, 반도체 산업은 정밀성과 정확성에 의존하며, 화강암 재료는 제조 공정에서 매우 신뢰할 수 있고 안정적인 것으로 입증되었습니다. 웨이퍼 전송 시스템의 많은 중요한 구성 요소가 높은 안정성, 정밀성 및 낮은 열 팽창이 필요한 많은 중요한 구성 요소를 사용하여 엔지니어는 이러한 중요한 요구 사항을 충족시키기 위해 화강암 재료로 전환했습니다.
시간 후 : 3 월 19-2024 년