n 반도체 제조, 정확하고 정확한 장비의 세계는 고품질 칩을 생산하는 데 중요합니다. 반도체 제조 시설에는 수많은 부분이 있으며 특정 특성이있는 재료를 사용하여 신뢰할 수 있고 고 차이 운영을 보장해야합니다.
반도체 장비의 표준 구성 요소가 된 하나의 재료는 화강암입니다. 강도와 안정성으로 유명한 화강암은 반도체 장비에 사용되는 부품을 구성하고 제조하기위한 우수한 재료입니다. 다음은 화강암 재료를 일반적으로 사용하는 반도체 장비의 일부입니다.
1.베이스 플레이트
반도체 장비의 기본 플레이트는 진동과 온도의 변화를 최소화하기 위해 매우 평평하고 안정적이어야합니다. 화강암은 이러한 요구 사항을 충족시킬 수있는 몇 안되는 재료 중 하나입니다. 화강암은 뒤틀림과 열 팽창에 저항하는 치수 적으로 안정적인 물질로,베이스 플레이트가 시간이 지남에 따라 평탄도를 유지하도록합니다.
2. 단계
단계는 웨이퍼 포지셔닝, 에칭 및 증착과 같은 제조 공정을 위해 정확한 움직임을 수행하는 반도체 장비의 중요한 구성 요소입니다. 화강암 단계는 강성이 높은 강성, 낮은 열 팽창 및 우수한 감쇠 특성으로 인해 반도체 장비에 널리 사용됩니다. 화강암 단계에서는 움직임이 더 정확하며 장비는 고장 위험이 낮습니다.
3. 선형 가이드
선형 가이드는 2 개의 병렬 레일을 따라 선형 운동을 제공하는 기계 장치입니다. 그들은 매우 안정적이고 정확해야하며, 화강암은이 목적에 이상적인 재료입니다. 화강암의 높은 강성 및 감쇠 특성은 반도체 장비에 사용되는 선형 가이드에 대한 인기있는 선택으로, 제조 공정의 안정성과 정밀성을 보장합니다.
4. 척
척은 다양한 제조 공정에서 웨이퍼를 유지하고 위치시키는 데 사용됩니다. Granites Chucks는 평탄도와 열 안정성 때문에 인기가 있습니다. 화강암의 열 팽창이 낮기 때문에이 재료로 만든 척은 온도 변화에 노출 될 때 치수를 뒤틀거나 변화시키지 않습니다.
5. 검사 판
검사 플레이트는 반도체 장비에서 제조 된 제품의 품질을 점검하는 데 사용됩니다. 이 판은 매우 평평하고 안정적이어야하며 빛을 정확하게 반사 할 수 있어야합니다. Granite의 높은 반사율, 표면 평탄도 및 치수 안정성은 반도체 장비의 검사 플레이트에 인기있는 선택입니다.
결론적으로, 화강암 요소는 반도체 장비의 정밀 부품에 널리 사용되며, 우수한 특성으로 인해 사용이 확장 될 것으로 예상됩니다. 강성, 열 팽창이 낮고 탁월한 댐핑 특성으로 화강암 요소는 반도체 장비에서 나노 스케일 작업을 수행하는 데 필요한 안정성, 정확도 및 반복성을 제공합니다. 고품질의 반도체 장비를 생산하는 회사는 최고의 재료에 투자하여 제품에 성공할 수있는 최고의 기회를 제공하며 화강암은 우수한 특성과 신뢰성으로 인해 계속해서 재료입니다.
시간 후 : 3 월 19-2024 년