반도체 제조 세계에서 고품질 칩을 생산하려면 정밀하고 정확한 장비가 중요합니다.반도체 제조 시설에는 안정적인 고정밀 작동을 보장하기 위해 특정 특성을 지닌 재료를 사용해야 하는 수많은 부품이 있습니다.
반도체 장비의 표준 부품이 된 재료 중 하나가 화강암이다.강도와 안정성이 뛰어난 화강암은 반도체 장비에 사용되는 부품을 구성하고 제작하는 데 탁월한 재료입니다.화강암 재료를 일반적으로 사용하는 반도체 장비의 일부 부품은 다음과 같습니다.
1. 베이스 플레이트
반도체 장비의 베이스 플레이트는 진동과 온도 변화를 최소화하기 위해 매우 평평하고 안정적이어야 합니다.그리고 화강암은 이러한 요구 사항을 충족할 수 있는 몇 안 되는 재료 중 하나입니다.화강암은 변형과 열팽창에 저항하는 치수 안정성이 있는 소재로, 시간이 지나도 베이스 플레이트의 평탄도가 유지됩니다.
2. 스테이지
스테이지는 웨이퍼 포지셔닝, 에칭, 증착과 같은 제조 공정에서 정밀한 이동을 수행하는 반도체 장비의 중요한 구성 요소입니다.화강암 스테이지는 높은 강성, 낮은 열팽창 및 우수한 감쇠 특성으로 인해 반도체 장비에 널리 사용됩니다.화강암 스테이지를 사용하면 움직임이 더욱 정확해지고 장비 고장 위험이 낮아집니다.
3. 선형 가이드
선형 가이드는 두 개의 평행 레일을 따라 선형 운동을 제공하는 기계 장치입니다.매우 안정적이고 정확해야 하며 화강암은 이러한 목적에 이상적인 재료입니다.화강암의 높은 강성과 감쇠 특성으로 인해 화강암은 반도체 장비에 사용되는 선형 가이드로 널리 선택되며 제조 공정에서 안정성과 정밀도를 보장합니다.
4. 척
척은 다양한 제조 공정 중에 웨이퍼를 고정하고 배치하는 데 사용됩니다.화강암 척은 평탄도와 열 안정성 때문에 인기가 높습니다.화강암은 열팽창이 낮기 때문에 이 재료로 만든 척은 온도 변화에 노출되어도 휘거나 치수가 변하지 않습니다.
5. 검사판
검사판은 반도체 장비에서 생산되는 제품의 품질을 확인하는 데 사용됩니다.이러한 플레이트는 매우 평평하고 안정적이어야 하며 빛을 정확하게 반사할 수 있어야 합니다.화강암은 높은 반사율, 표면 평탄도 및 치수 안정성으로 인해 반도체 장비의 검사판으로 널리 사용됩니다.
결론적으로 화강암 요소는 반도체 장비의 정밀 부품에 널리 사용되고 있으며, 우수한 특성으로 인해 그 용도가 확대될 것으로 예상된다.높은 강성, 낮은 열팽창 및 탁월한 감쇠 특성을 갖춘 화강암 요소는 반도체 장비에서 나노 규모 작업을 수행하는 데 필요한 안정성, 정확성 및 반복성을 제공합니다.고품질 반도체 장비를 생산하는 기업은 최고의 소재에 투자하여 제품의 성공 가능성을 극대화하고 있으며, 화강암은 뛰어난 특성과 신뢰성으로 인해 계속해서 선호되는 소재입니다.
게시 시간: 2024년 3월 19일