화강암 층은 높은 차원 안정성, 고강도, 열 팽창이 낮은 열 팽창, 우수한 감쇠 특성 및 마모 및 마모에 대한 높은 저항과 같은 우수한 특성으로 인해 반도체 장비 제조에서 선호됩니다. 그들은 웨이퍼 검사 시스템, 웨이퍼 측정 시스템, 웨이퍼 처리 시스템 등과 같은 반도체 장비 제조 산업의 여러 중요한 부품에 널리 사용됩니다.
웨이퍼 검사 시스템
웨이퍼 검사 시스템은 화강암 층을 사용하여 반도체 웨이퍼의 검사를 위해 안정되고 평평한 표면을 제공합니다. 화강암 침대는 검사를받는 웨이퍼를 보유하는 스테이지 플랫폼으로 사용됩니다. 화강암 침대의 평탄도와 강성은 웨이퍼에 대한 손상이나 오염을 최소화하면서 정확한 검사를 보장합니다. 화강암 침대는 또한 환경 진동 및 기타 외부 요인의 영향을 줄이는 데 도움이됩니다.
웨이퍼 측정 시스템
웨이퍼 측정 시스템에서 정밀도가 중요합니다. 화강암 층은 탁월한 치수 안정성으로 인해이 목적으로 널리 사용됩니다. 그들은 웨이퍼 두께, 모양 및 표면 특징의 정확한 측정을위한 강성베이스를 제공합니다. 화강암 침대는 또한 마모 및 마모에 강하기 때문에 장기간 지속적으로 사용하기에 이상적입니다.
웨이퍼 처리 시스템
화강암 침대는 웨이퍼 취급 시스템에도 사용됩니다. 이 시스템에서, 화강암 침대는 취급 과정에서 웨이퍼를 배치하기위한 정확한 안내서로 사용됩니다. 화강암 침대의 강성과 평탄도는 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 위치를 보장하여 손상의 위험을 줄입니다.
다른 구성 요소
위의 구성 요소 외에도 화강암 베드는 스테이지베이스,지지 구조 및 기타 고 정밀 부품과 같은 반도체 장비 제조의 다른 중요한 부분에도 사용됩니다. 화강암 침대의 높은 차원 안정성은 부분 변형, 열 변화 및 진동으로 인한 오류를 줄이는 데 도움이됩니다.
결론
결론적으로, 화강암 층은 반도체 장비 제조에서 높은 차원의 안정성, 낮은 열 팽창 및 마모 및 마모에 대한 탁월한 저항성을 제공하기 때문에 중요한 구성 요소입니다. 웨이퍼 검사 시스템, 웨이퍼 측정 시스템, 웨이퍼 취급 시스템 및 기타 고 정밀 장비에서 정확하고 반복적이며 신뢰할 수있는 성능에 필수적입니다. 화강암 침대를 사용하면 반도체 장비 제조업체가 현대 반도체 산업에서 요구하는 엄격한 표준을 충족하는 고품질 제품을 생산할 수 있습니다.
시간 후 : 4 월 -03-2024