반도체 및 광전자 제조 장비에서 화강암은 정밀 모션 플랫폼, 가이드 레일 베이스, 진동 차단 지지 구조물, 광학 부품 설치 기판과 같은 핵심 부품에 주로 사용됩니다. 이러한 부품들은 정밀도, 안정성 및 환경 내성에 대한 요구 사항이 매우 높습니다. 화강암의 특성은 반도체 및 광전자 산업의 엄격한 요구 사항을 정확하게 충족할 수 있습니다. 다음은 구체적인 적용 시나리오 및 장점에 대한 분석입니다.
I. 주요 적용 부품
정밀 모션 플랫폼(예: 포토리소그래피 장비 및 본딩 장비용 웨이퍼 플랫폼)
이 장치는 웨이퍼 및 광학 렌즈와 같은 정밀 부품을 운반하는 데 사용되며 나노 스케일의 정확도로 병진 및 회전 운동을 구현합니다.
대표적인 장비: 포토리소그래피 장비의 공작물 테이블, 측정 장비의 위치 결정 플랫폼.
가이드 레일 베이스 및 프레임 구조
선형 가이드 및 공기 부양 가이드의 설치 기반으로서 장비의 핵심 구동 메커니즘을 지지합니다.
대표적인 장비: 반도체 패키징 장비의 기계 프레임 및 광학 검사 기기.
진동 차단 지지대 및 안정화 구조물
이는 외부 진동(예: 공장 바닥이나 장비 작동 중 발생하는 진동)을 차단하여 광학 시스템이나 정밀 기계의 안정성을 확보하는 데 사용됩니다.
일반적인 사용 사례: 광학 현미경 및 레이저 간섭계의 받침대.
광학 부품 장착 기판
광학 경로 시스템의 정렬 정확도의 장기적인 안정성을 보장하기 위해 거울, 프리즘, 레이저와 같은 광학 장치를 고정합니다.
대표적인 장비: 광전자 패키징 장비, 광섬유 커플링 시스템.
게시 시간: 2025년 5월 29일