반도체 웨이퍼 제조 분야에서 기판 재료의 선택은 장비의 정확도와 생산 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 일부 비양심적인 공급업체는 대리석을 천연 화강암으로 둔갑시키거나, 저급 제품을 고품질 제품으로 속여 판매합니다. 이러한 두 가지를 구별하는 방법을 숙달하는 것은 웨이퍼 장비의 안정적인 작동을 보장하는 핵심입니다. 이 글에서는 네 가지 주요 측면에서 차이점을 분석하여 저품질 대체품의 함정에 빠지지 않도록 도와드립니다.
I. 밀도와 경도: 가장 직관적인 물리적 "신분증"
천연 화강암: 밀도는 2600~3100kg/m³, 모스 경도는 6~7이며, 두드렸을 때 맑은 소리가 납니다. ZHHIMG®에서 엄선한 검은색 화강암은 밀도가 3000kg/m³ 이상으로, 1000kg/m² 이상의 균일 하중을 견딜 수 있습니다.
대리석: 밀도가 2500~2700kg/m³에 불과하고 경도는 3~5이며, 두드렸을 때 둔탁한 소리가 납니다. 동전으로 표면을 살짝 긁어보면 대리석에는 자국이 남기 쉽지만, 화강암은 거의 손상되지 않습니다.
II. 구조적 특징: 현미경으로 본 "결함"
천연 화강암: 석영과 장석 등의 광물 입자가 촘촘하게 얽혀 있으며, 다공성은 0.5% 미만입니다. 초음파 검사 결과 내부에 뚜렷한 결함이 발견되지 않습니다.
대리석: 주성분은 탄산칼슘이며, 결정 구조가 느슨하고 다공성이 1~3%로 수분 흡수 및 팽창이 용이합니다. 웨이퍼 장비의 고온 환경에서 대리석 기판은 열팽창 및 수축으로 인해 ±5μm 이상의 정밀도 편차를 유발할 수 있습니다.
3. 성능 테스트: 실제 전투에서의 "마법의 거울"
IV. 인증 및 추적성: 신뢰할 수 있는 "신원 증명"
정식 화강암 기반: ISO 9001 품질 인증서와 SGS 광물 성분 분석 보고서가 제공되며, 광맥의 원산지(예: 지난 흑색, 산둥 흑색, 인도 흑색)를 추적할 수 있습니다.
저품질 대체품: 공신력 있는 인증이 없거나 "화강암 재질"이라고 모호하게 설명된 제품들은 실제로는 염색된 대리석이며, 상세한 시험 데이터를 제공할 수 없습니다.
함정을 피하는 가이드: 고품질 기반을 확보하는 세 가지 비결
인증서를 확인하십시오: 공급업체에게 밀도, 경도 및 열팽창 계수에 대한 시험 보고서를 제출하도록 요구하십시오.
테스트 성능: 웨이퍼 장비의 작동 환경을 시뮬레이션하여 진동 및 온도 변화 하에서의 베이스 안정성을 테스트합니다.
브랜드를 선택할 때는 ZHHIMG®와 같이 ISO 3대 인증 시스템을 통과한 제조업체를 우선적으로 고려하여 저가 함정에 빠지지 않도록 하십시오.
게시 시간: 2025년 6월 10일