화강암 기계 베드는 우수한 안정성, 강성 및 진동 댐핑 특성으로 인해 웨이퍼 가공 장비 제품에 널리 사용됩니다. 화강암 기계 베드를 조립, 테스트 및 교정하려면 정확하고 신뢰할 수있는 성능을 보장하기 위해 정확하고 신중한 접근이 필요합니다. 이 기사에서는 웨이퍼 가공 장비 제품을위한 화강암 기계 베드를 조립, 테스트 및 교정하는 단계별 프로세스를 안내합니다.
1 단계 : 화강암 표면 플레이트 점검 및 준비
첫 번째 단계는 화강암 표면 플레이트에 결함이나 손상을 확인하는 것입니다. 균열, 칩 또는 흠집이 있는지 판에 확인하고 깨끗하고 잔해물이 없는지 확인하십시오. 손상이나 결함이있는 경우 플레이트를 수리하거나 교체해야합니다.
표면 플레이트를 확인한 후 레벨을 사용하여 완벽하게 평평한 지 확인하십시오. 평탄도와의 편차가 감지되면 심 또는 기타 레벨링 조정을 사용하여 수정해야합니다.
2 단계 : 화강암 기계 베드를 제자리에 놓습니다
두 번째 단계는 화강암 기계 베드를 최종 위치에 놓는 것입니다. 침대가 수평이고 안정적인지 확인하고 나머지 웨이퍼 처리 장비와 정렬하십시오. 화강암 기계 베드는 사용 중에 움직임을 방지하기 위해 단단히 고정되어야합니다.
3 단계 : 웨이퍼 처리 장비의 구성 요소 부착
세 번째 단계는 웨이퍼 처리 장비의 구성 요소를 화강암 기계 베드에 부착하는 것입니다. 이는 제조업체의 지침에 따라 신중하게 수행하고 모든 구성 요소가 안전하게 첨부되도록해야합니다.
4 단계 : 안정성 및 진동 감쇠를 위해 화강암 기계 베드 테스트
웨이퍼 처리 장비의 모든 구성 요소가 부착 된 후에는 화강암 기계 베드의 안정성 및 진동 댐핑 특성을 테스트해야합니다. 이를 위해 웨이퍼 처리 장비를 진동 분석기에 연결하여 일련의 테스트를 통해 실행하십시오.
이 테스트는 진동 원과 화강암 기계 베드가 흡수 될 수있는 진동의 진폭을 식별하는 데 도움이됩니다. 이 테스트 중에 식별되는 모든 문제를 해결해야하며 화강암 기계 침대의 진동 댐핑 시스템을 적절하게 조정해야합니다.
5 단계 : 화강암 기계 베드 보정
화강암 기계 베드의 안정성 및 진동 댐핑 특성이 테스트되고 조정되면, 정확한 정밀도로 사용할 수 있도록 층을 보정해야합니다. 여기에는 고정식 측정 시스템을 사용하여 표면 플레이트의 평탄도를 결정하고 그에 따라 기계 베드의 레벨을 조정하는 것이 포함됩니다.
결론
화강암 기계 베드를 조립, 테스트 및 교정하려면 정확하고 신뢰할 수있는 성능을 보장하기 위해 정확하고 신중한 접근이 필요합니다. 이러한 단계를 수행하면 웨이퍼 처리 장비 제품이 안정적이고 튼튼한 기초 위에 구축되도록 할 수 있으며, 이는 정확한 정밀도와 신뢰할 수있는 성능에 필수적입니다.
시간 후 : 12 월 29 일 -2023 년