화강암 재질의 머신 베드는 뛰어난 안정성, 강성 및 진동 감쇠 특성 덕분에 웨이퍼 가공 장비 제품에 널리 사용됩니다. 화강암 머신 베드의 조립, 테스트 및 교정은 정확하고 신뢰할 수 있는 성능을 보장하기 위해 정밀하고 세심한 접근이 필요합니다. 이 글에서는 웨이퍼 가공 장비 제품에 사용되는 화강암 머신 베드의 조립, 테스트 및 교정 과정을 단계별로 안내합니다.
1단계: 화강암 상판 점검 및 준비
첫 번째 단계는 화강암 상판에 결함이나 손상이 있는지 확인하는 것입니다. 판에 균열, 깨짐 또는 긁힘이 있는지 검사하고, 깨끗하고 이물질이 없는지 확인하십시오. 손상이나 결함이 발견되면 판을 수리하거나 교체해야 합니다.
표면판을 점검한 후 수평계를 사용하여 완벽하게 평평한지 확인하십시오. 평평하지 않은 부분이 발견되면 심(shim)이나 다른 수평 조정 도구를 사용하여 수정해야 합니다.
2단계: 화강암 재질의 기계 베드를 제자리에 놓기
두 번째 단계는 화강암 재질의 기계 베드를 최종 위치에 놓는 것입니다. 베드가 수평이고 안정적인지 확인하고 웨이퍼 처리 장비의 나머지 부분과 정렬하십시오. 화강암 기계 베드는 사용 중 움직임을 방지하기 위해 단단히 고정해야 합니다.
3단계: 웨이퍼 처리 장비 구성 요소 조립
세 번째 단계는 웨이퍼 처리 장비의 구성 요소를 화강암 재질의 기계 베드에 부착하는 것입니다. 이 작업은 제조업체의 지침을 주의 깊게 따르고 모든 구성 요소가 단단히 부착되었는지 확인하면서 진행해야 합니다.
4단계: 화강암 재질의 기계 베드 안정성 및 진동 감쇠 성능 테스트
웨이퍼 가공 장비의 모든 구성 요소가 조립되면 화강암 재질의 기계 베드의 안정성과 진동 감쇠 특성을 테스트해야 합니다. 이를 위해 웨이퍼 가공 장비를 진동 분석기에 연결하고 일련의 테스트를 실행합니다.
이러한 테스트는 진동 발생원과 화강암 가공기 베드가 흡수할 수 있는 진동의 크기를 파악하는 데 도움이 됩니다. 테스트 중에 발견된 문제점은 해결해야 하며, 화강암 가공기 베드의 진동 감쇠 시스템을 그에 맞게 조정해야 합니다.
5단계: 화강암 가공기 베드 교정
화강암 재질의 기계 베드의 안정성과 진동 감쇠 특성을 테스트하고 조정한 후에는 정확한 정밀도로 사용할 수 있도록 베드를 교정해야 합니다. 이 과정에는 고정밀 측정 시스템을 사용하여 표면 플레이트의 평탄도를 측정하고 그에 따라 기계 베드의 수평을 조정하는 작업이 포함됩니다.
결론
화강암 재질의 머신 베드를 조립, 테스트 및 교정하는 작업은 정확하고 안정적인 성능을 보장하기 위해 정밀하고 세심한 접근 방식이 필요합니다. 이러한 단계를 따르면 웨이퍼 가공 장비 제품이 안정적이고 견고한 기반 위에 구축되어 정확한 정밀도와 안정적인 성능을 확보할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 12월 29일