화강암 머신 베이스는 높은 강성, 안정성, 정밀성과 같은 우수한 특성으로 인해 웨이퍼 가공 장비 제품에 널리 사용됩니다. 화강암 머신 베이스의 조립, 테스트 및 교정은 세부 사항, 정밀성, 그리고 정확성에 대한 극도의 주의를 요구하는 중요한 공정입니다. 본 문서에서는 웨이퍼 가공 장비 제품용 화강암 머신 베이스의 조립, 테스트 및 교정 과정을 단계별로 살펴보겠습니다.
조립
첫 번째 단계는 조립을 위해 화강암 정반, 받침대, 기둥을 준비하는 것입니다. 모든 표면이 깨끗하고 건조하며 이물질, 먼지, 기름 등이 없는지 확인하십시오. 수평 조절 스터드를 받침대에 삽입하고 정반을 그 위에 놓습니다. 정반이 수평을 이루고 수평이 되도록 수평 조절 스터드를 조정합니다. 정반이 받침대와 기둥과 같은 높이가 되도록 합니다.
다음으로, 기둥을 받침대에 설치하고 볼트로 고정합니다. 토크 렌치를 사용하여 제조업체에서 권장하는 토크 값으로 볼트를 조입니다. 기둥의 수평을 확인하고 필요한 경우 수평 조절 스터드를 조정합니다.
마지막으로, 컬럼 상단에 스핀들 어셈블리를 설치합니다. 토크 렌치를 사용하여 볼트를 제조업체 권장 토크 값으로 조입니다. 스핀들 어셈블리의 수평을 확인하고 필요한 경우 수평 조절 스터드를 조정합니다.
테스트
기계 베이스를 조립한 후 다음 단계는 기능과 정확성을 테스트하는 것입니다. 전원을 연결하고 기계를 켜세요. 모터, 기어, 벨트, 베어링 등 모든 구성품이 제대로 작동하고 이상이나 이상한 소음이 없는지 확인하세요.
기계의 정확도를 테스트하려면 정밀 다이얼 인디케이터를 사용하여 스핀들의 런아웃을 측정하십시오. 다이얼 인디케이터를 정반에 놓고 스핀들을 회전시키십시오. 최대 허용 런아웃은 0.002mm 미만이어야 합니다. 런아웃이 허용 한계를 초과하면 레벨링 스터드를 조정하고 다시 확인하십시오.
구경 측정
교정은 기계 베이스의 정확도와 정밀도를 보장하는 데 중요한 단계입니다. 교정 과정에는 속도, 위치, 정확도 등 기계의 매개변수를 테스트하고 조정하여 기계가 제조업체의 사양을 충족하는지 확인하는 작업이 포함됩니다.
기계를 교정하려면 레이저 간섭계, 레이저 추적기 또는 볼바를 포함한 교정 도구가 필요합니다. 이러한 도구는 기계의 움직임, 위치 및 정렬을 높은 정확도로 측정합니다.
먼저 기계의 선형 축과 각축을 측정합니다. 보정 도구를 사용하여 지정된 거리 또는 각도에 대한 기계의 움직임과 위치를 측정합니다. 측정값을 제조업체의 사양과 비교합니다. 편차가 있는 경우 모터, 기어, 드라이브 등 기계의 매개변수를 조정하여 측정값이 허용 한계 내로 나오도록 합니다.
다음으로, 기계의 원호 보간 기능을 테스트합니다. 보정 도구를 사용하여 원호 경로를 생성하고 기계의 움직임과 위치를 측정합니다. 측정값을 제조업체의 사양과 다시 비교하고 필요한 경우 매개변수를 조정합니다.
마지막으로, 기계의 반복성을 시험합니다. 지정된 기간 동안 여러 지점에서 기계의 위치를 측정합니다. 측정값을 비교하여 편차가 있는지 확인합니다. 편차가 있는 경우, 기계의 매개변수를 조정하고 시험을 반복합니다.
결론
웨이퍼 가공 장비 제품용 화강암 기계 베이스를 조립, 테스트 및 교정하는 것은 인내심, 세부 사항에 대한 주의, 그리고 정밀성을 요구하는 중요한 과정입니다. 다음 단계를 따르면 기계가 제조업체의 사양을 충족하고 정확성, 안정성, 그리고 정밀성을 갖춘 기능을 갖추고 있는지 확인할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 12월 28일