화강암 기계베이스는 강성, 안정성 및 정밀도와 같은 우수한 특성으로 인해 웨이퍼 처리 장비 제품에 많이 사용됩니다. 화강암 기계 기반을 조립, 테스트 및 보정하는 것은 세부 사항, 정밀도 및 정확도에 최대한주의를 기울여야하는 중요한 프로세스입니다. 이 기사에서는 웨이퍼 처리 장비 제품을위한 화강암 기계 기반을 조립, 테스트 및 교정하는 단계별 프로세스에 대해 논의 할 것입니다.
조립
첫 번째 단계는 화강암 표면 플레이트,베이스 및 컬럼을 조립용으로 준비하는 것입니다. 모든 표면에 깨끗하고 건조하며 잔해, 먼지 또는 기름이 없는지 확인하십시오. 레벨링 스터드를베이스에 삽입하고 표면 플레이트를 위에 놓습니다. 표면 플레이트가 수평이고 수평이되도록 레벨링 스터드를 조정하십시오. 표면 플레이트가베이스 및 컬럼과 플러시되어 있는지 확인하십시오.
다음으로베이스에 열을 설치하고 볼트로 고정하십시오. 토크 렌치를 사용하여 볼트를 제조업체의 권장 토크 값으로 조입니다. 열의 레벨을 확인하고 필요한 경우 레벨링 스터드를 조정하십시오.
마지막으로 열 상단에 스핀들 어셈블리를 설치하십시오. 토크 렌치를 사용하여 볼트를 제조업체의 권장 토크 값으로 조입니다. 스핀들 어셈블리의 레벨을 확인하고 필요한 경우 레벨링 스터드를 조정하십시오.
테스트
기계 기반을 조립 한 후 다음 단계는 기능과 정확도를 테스트하는 것입니다. 전원 공급 장치를 연결하고 기계를 켭니다. 모터, 기어, 벨트 및 베어링과 같은 모든 구성 요소가 비정상이나 비정상적인 소음없이 제대로 작동하는지 확인하십시오.
기계의 정확도를 테스트하려면 정밀 다이얼 표시기를 사용하여 스핀들의 런아웃을 측정하십시오. 다이얼 표시기를 표면 플레이트에 설정하고 스핀들을 회전시킵니다. 허용 가능한 최대 런아웃은 0.002mm 미만이어야합니다. 런아웃이 허용 한계보다 큰 경우 레벨링 스터드를 조정하고 다시 확인하십시오.
구경 측정
교정은 기계 기반의 정확성과 정밀도를 보장하는 중요한 단계입니다. 교정 프로세스에는 기계가 제조업체의 사양을 충족하도록하기 위해 속도, 위치 및 정확도와 같은 기계의 매개 변수를 테스트하고 조정하는 것이 포함됩니다.
기계를 보정하려면 레이저 간섭계, 레이저 추적기 또는 볼 바를 포함하는 교정 도구가 필요합니다. 이 도구는 기계의 동작, 위치 및 높은 정확도와 정렬을 측정합니다.
기계의 선형 및 각 축을 측정하여 시작하십시오. 교정 도구를 사용하여 기계의 움직임을 측정하고 지정된 거리 또는 각도에 위치하십시오. 측정 된 값을 제조업체 사양과 비교하십시오. 편차가 있으면 모터, 기어 및 드라이브와 같은 기계의 매개 변수를 조정하여 측정 값을 허용 가능한 한계 내에 가져옵니다.
다음으로 기계의 원형 보간 기능을 테스트하십시오. 교정 도구를 사용하여 원형 경로를 만들고 기계의 움직임과 위치를 측정하십시오. 다시 측정 된 값을 제조업체 사양과 비교하고 필요한 경우 매개 변수를 조정하십시오.
마지막으로 기계의 반복성을 테스트하십시오. 지정된 기간 동안 다른 지점에서 기계의 위치를 측정하십시오. 측정 된 값을 비교하고 편차를 확인하십시오. 편차가 있으면 기계의 매개 변수를 조정하고 테스트를 반복하십시오.
결론
웨이퍼 가공 장비 제품을위한 화강암 기계베이스를 조립, 테스트 및 보정하는 것은 인내심, 세부 사항에 대한 관심 및 정밀도가 필요한 중요한 프로세스입니다. 이 단계를 수행하면 기계가 정확성, 안정성 및 정밀도로 제조업체의 사양 및 기능을 충족하도록 할 수 있습니다.
후 시간 : 12 월 28 일 -2023 년