화강암 기계 베이스는 높은 강성, 안정성 및 정밀도와 같은 우수한 특성으로 인해 웨이퍼 처리 장비 제품에 많이 사용됩니다.화강암 기계 베이스를 조립, 테스트 및 교정하는 것은 세부 사항, 정밀도 및 정확성에 최대한의 주의를 기울여야 하는 중요한 프로세스입니다.이 기사에서는 웨이퍼 처리 장비 제품용 화강암 기계 베이스를 조립, 테스트 및 교정하는 단계별 프로세스에 대해 설명합니다.
조립
첫 번째 단계는 조립을 위한 화강암 정반, 베이스, 기둥을 준비하는 것입니다.모든 표면이 깨끗하고 건조하며 잔해물, 먼지 또는 기름이 없는지 확인하십시오.레벨링 스터드를 베이스에 삽입하고 그 위에 정반을 놓습니다.정반이 수평이 되고 수평이 되도록 레벨링 스터드를 조정합니다.정반이 베이스 및 컬럼과 같은 높이인지 확인하십시오.
다음으로 기둥을 베이스에 설치하고 볼트로 고정합니다.토크 렌치를 사용하여 제조업체가 권장하는 토크 값으로 볼트를 조이십시오.기둥의 레벨을 확인하고 필요한 경우 레벨링 스터드를 조정하십시오.
마지막으로 기둥 상단에 스핀들 어셈블리를 설치합니다.토크 렌치를 사용하여 제조업체가 권장하는 토크 값으로 볼트를 조이십시오.스핀들 어셈블리의 레벨을 확인하고 필요한 경우 레벨링 스터드를 조정하십시오.
테스트
기계 베이스를 조립한 후 다음 단계는 기능과 정확성을 테스트하는 것입니다.전원 공급 장치를 연결하고 기계를 켜십시오.모터, 기어, 벨트, 베어링 등 모든 구성요소가 제대로 작동하고, 이상이나 이상한 소음이 없는지 확인하십시오.
기계의 정확성을 테스트하려면 정밀 다이얼 표시기를 사용하여 스핀들의 런아웃을 측정하십시오.다이얼 인디케이터를 정반에 놓고 스핀들을 회전시킵니다.최대 허용 런아웃은 0.002mm 미만이어야 합니다.런아웃이 허용 한계보다 큰 경우 레벨링 스터드를 조정하고 다시 확인하십시오.
구경 측정
교정은 기계 베이스의 정확성과 정밀도를 보장하는 중요한 단계입니다.교정 프로세스에는 기계가 제조업체의 사양을 충족하는지 확인하기 위해 속도, 위치 지정 및 정확도와 같은 기계 매개변수를 테스트하고 조정하는 작업이 포함됩니다.
기계를 교정하려면 레이저 간섭계, 레이저 추적기 또는 볼바를 포함하는 교정 도구가 필요합니다.이러한 도구는 기계의 동작, 위치 및 정렬을 매우 정확하게 측정합니다.
기계의 선형 축과 각축을 측정하는 것부터 시작하십시오.보정 도구를 사용하여 지정된 거리나 각도에서 기계의 동작과 위치를 측정합니다.측정된 값을 제조업체의 사양과 비교하십시오.편차가 있는 경우 모터, 기어, 드라이브 등 기계의 매개변수를 조정하여 측정값이 허용 한계 내에 있도록 하십시오.
다음으로 기계의 원호 보간 기능을 테스트합니다.교정 도구를 사용하여 원형 경로를 만들고 기계의 동작과 위치를 측정합니다.다시 측정된 값을 제조업체의 사양과 비교하고 필요한 경우 매개변수를 조정합니다.
마지막으로 기계의 반복성을 테스트합니다.지정된 기간 동안 다양한 지점에서 기계의 위치를 측정합니다.측정된 값을 비교하고 편차가 있는지 확인하십시오.편차가 있는 경우 기계 매개변수를 조정하고 테스트를 반복하십시오.
결론
웨이퍼 처리 장비 제품을 위한 화강암 기계 베이스를 조립, 테스트 및 교정하는 것은 인내, 세부 사항에 대한 주의 및 정밀도가 필요한 중요한 프로세스입니다.다음 단계를 따르면 기계가 제조업체의 사양과 기능을 정확성, 안정성, 정밀도로 충족하는지 확인할 수 있습니다.
게시 시간: 2023년 12월 28일