대형 좌표측정기(CMM)부터 첨단 반도체 리소그래피 장비에 이르기까지 모든 초정밀 기계의 안정성과 정확성은 근본적으로 화강암 기반 위에 세워집니다. 대규모의 일체형 기반이나 복잡한 다단면 화강암 평판을 다룰 때, 조립 및 설치 과정은 제조 정밀도 자체만큼이나 중요합니다. 완성된 패널을 단순히 배치하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 패널의 인증된 서브미크론 평탄도를 유지하고 활용하려면 특정 환경 및 구조적 요건을 충족해야 합니다.
1. 기초: 안정적이고 수평인 기질
가장 흔한 오해는 고밀도 ZHHIMG® 블랙 화강암(3100kg/m³)으로 제작된 정밀 화강암 패널이 불안정한 바닥을 바로잡을 수 있다는 것입니다. 화강암은 뛰어난 강성을 제공하지만, 장기적인 처짐을 최소화하도록 설계된 구조물로 지지되어야 합니다.
조립 구역은 평평할 뿐만 아니라 적절하게 경화된 콘크리트 바닥을 갖춰야 하며, 두께와 밀도 면에서 군용 규격에 부합하는 경우가 많습니다. 이는 ZHHIMG 자체 조립 시설의 1,000mm 두께 초경 콘크리트 바닥과 유사합니다. 가장 중요한 것은 이 바닥이 외부 진동원으로부터 격리되어야 한다는 것입니다. 저희는 최대 규모의 기계 베이스를 설계할 때, 계측실을 둘러싼 진동 방지 해자와 같은 개념을 적용하여 기초 자체가 정적이고 격리되도록 합니다.
2. 격리층: 그라우팅 및 레벨링
화강암 패널과 콘크리트 기초 사이의 직접 접촉은 엄격히 금지됩니다. 화강암 기초는 내부 응력을 제거하고 인증된 기하 구조를 유지하기 위해 수학적으로 계산된 특정 지점에서 지지되어야 합니다. 이를 위해서는 전문적인 레벨링 시스템과 그라우팅 층이 필요합니다.
조정 가능한 수평 조절 잭이나 웨지를 사용하여 패널을 정확하게 배치한 후, 고강도, 비수축성, 정밀 그라우트를 화강암과 기초 사이의 공간에 주입합니다. 이 특수 그라우트는 경화되어 고밀도의 균일한 계면을 형성하여 패널의 무게를 영구적으로 균등하게 분산시켜 시간이 지남에 따라 내부 응력을 유발하고 평탄도를 저하시킬 수 있는 처짐이나 변형을 방지합니다. 이 단계를 통해 화강암 패널과 기초가 하나의 응집력 있고 단단한 덩어리로 효과적으로 변형됩니다.
3. 열적 평형과 시간적 평형
모든 고정밀 계측 작업과 마찬가지로 인내심이 가장 중요합니다. 화강암 패널, 그라우팅 재료, 그리고 콘크리트 바닥은 최종 정렬 점검을 수행하기 전에 주변 작업 환경과 열 평형에 도달해야 합니다. 이 과정은 매우 큰 패널의 경우 며칠이 걸릴 수 있습니다.
또한, 레이저 간섭계나 전자 레벨과 같은 장비를 사용하여 레벨링 조정을 수행해야 하는데, 이는 재료가 안정될 시간을 주기 위해 천천히 미세하게 조정해야 합니다. 엄격한 국제 계측 표준(DIN, ASME)을 준수하는 저희 숙련된 기술자들은 최종 레벨링을 서두르면 잠재 응력이 발생할 수 있으며, 이는 나중에 정확도 편차로 나타날 수 있음을 잘 알고 있습니다.
4. 구성 요소 통합 및 맞춤형 조립
선형 모터, 에어 베어링 또는 CMM 레일이 통합된 ZHHIMG의 맞춤형 화강암 부품 또는 화강암 평판 패널의 경우, 최종 조립 과정에서 완벽한 청결이 요구됩니다. 반도체 장비 환경을 모방한 당사의 전용 청정 조립실은 화강암과 금속 부품 사이에 끼어 있는 미세한 먼지 입자조차도 미세 변형을 유발할 수 있기 때문에 필수적입니다. 모든 인터페이스는 최종 체결 전에 꼼꼼하게 세척 및 점검하여 부품의 치수 안정성이 기계 시스템 자체로 완벽하게 전달되도록 해야 합니다.
이러한 엄격한 요구 사항을 준수함으로써 고객은 단순히 구성 요소를 설치하는 것이 아니라 초정밀 장비에 대한 궁극적인 기준을 성공적으로 정의할 수 있습니다. 이는 ZHHIMG의 재료 과학 및 제조 전문성을 통해 보장되는 기반입니다.
게시 시간: 2025년 10월 29일