I반도체 제조 산업에서 웨이퍼 검사 장비의 정확도는 집적 회로의 품질을 보장하는 데 매우 중요합니다. ZHHIMG®에서 제공하는 것과 같은 고정밀 화강암 기계 받침대는 이러한 장비의 성능을 향상시키는 데 핵심적인 역할을 합니다. 이러한 받침대가 어떻게 차이를 만들어내는지 살펴보겠습니다.
탁월한 치수 안정성 화강암은 (4–8)×10⁻⁶/℃ 정도의 매우 낮은 열팽창 계수를 자랑하며, 이는 많은 금속보다 훨씬 낮습니다. 미세한 온도 변화조차 측정 오차를 유발할 수 있는 반도체 공장의 엄격한 환경 조건에서도 화강암으로 제작된 기계 받침대는 안정적인 상태를 유지합니다. 이러한 안정성은 웨이퍼 검사 장비에서 부품의 위치를 정확하게 유지하여 열로 인한 편차를 방지하고 검사 결과의 정밀도를 향상시킵니다.
탁월한 진동 감쇠 성능 생산 현장은 다양한 원인으로 인한 진동으로 가득 차 있는 경우가 많습니다. 화강암은 0.05~0.1의 감쇠비를 가진 고유한 감쇠 특성을 통해 이러한 진동을 효과적으로 흡수하고 소산시킵니다. 웨이퍼 검사 시에도 사용 가능합니다.
고해상도 이미징과 정밀한 센서 판독이 요구되는 분야에서 화강암 받침대가 제공하는 진동 감소 효과는 매우 중요합니다. 이는 이미지 흐림이나 센서 데이터 왜곡을 유발할 수 있는 간섭을 최소화하여 장비가 웨이퍼 표면 및 내부 구조에 대한 선명하고 정확한 정보를 획득할 수 있도록 합니다.
높은 강성과 내마모성 약 3100 kg/m³의 밀도를 자랑하는 ZHHIMG®의 화강암 기계 받침대는 탁월한 강성을 제공합니다. 웨이퍼 검사 장비의 무거운 부품들을 변형 없이 안정적으로 지지하여 광학 및 기계 시스템의 정렬을 유지합니다. 또한, 화강암의 높은 경도(모스 경도 6~7)와 뛰어난 내마모성은 기계 받침대 표면이 시간이 지나도 평평하고 매끄러운 상태를 유지하도록 보장합니다. 이러한 일관성은 장기적인 정밀도 유지에 필수적입니다. 받침대의 마모나 변형은 장비의 정밀도를 점진적으로 저하시킬 수 있기 때문입니다.
화학적 불활성 반도체 제조 공정은 다양한 화학 물질에 노출되는 환경을 수반합니다. 화강암은 화학적 불활성 덕분에 이러한 물질에 의한 부식에 강합니다. 이러한 특성은 기계 본체의 무결성을 보호하여 검사 장비의 안정성과 정확도에 영향을 미칠 수 있는 화학 물질로 인한 손상을 방지합니다.
결론적으로, 고정밀 화강암 기계 받침대는 단순한 부품이 아니라 웨이퍼 검사 장비의 엄격한 정확도 요구 사항을 충족하는 데 필수적인 요소입니다. 화강암 기계 받침대를 선택할 때는 ZHHIMG®와 같은 신뢰할 수 있는 공급업체를 선택하십시오. 다양한 인증과 품질에 대한 확고한 의지를 바탕으로 ZHHIMG®는 모든 화강암 기계 받침대가 첨단 반도체 제조에 필요한 신뢰성과 성능을 제공하도록 보장합니다.
게시 시간: 2025년 6월 3일