I반도체 제조 산업에서 웨이퍼 검사 장비의 정확도는 집적 회로의 품질을 보장하는 데 매우 중요합니다. ZHHIMG®에서 제공하는 것과 같은 고정밀 화강암 기계 베이스는 이러한 장비의 성능 향상에 중요한 역할을 합니다. 이러한 베이스가 어떤 차이를 만들어내는지 살펴보겠습니다.
탁월한 치수 안정성화강암은 매우 낮은 열팽창 계수(약 (4–8)×10⁻⁶/℃)를 자랑하며, 이는 많은 금속보다 훨씬 낮습니다. 미세한 온도 변화도 측정 오류를 유발할 수 있는 반도체 공장과 같은 엄격하게 제어되는 환경에서도 화강암 기계 바닥은 안정적으로 유지됩니다. 이러한 안정성은 웨이퍼 검사 장비의 부품 배치를 정확하게 유지하여 검사 결과의 정밀도에 영향을 줄 수 있는 열 유도 편차를 방지합니다.
탁월한 진동 감쇠력 생산 현장은 다양한 원인으로 인한 진동으로 가득 차 있는 경우가 많습니다. 화강암의 고유한 감쇠 특성은 0.05~0.1의 감쇠율을 통해 이러한 진동을 효과적으로 흡수하고 분산시킵니다. 웨이퍼 검사용
고해상도 이미징과 정밀한 센서 판독을 요구하는 전자기파 영역에서 화강암 기반이 제공하는 진동 감소는 매우 중요합니다. 화강암 기반은 이미지를 흐릿하게 하거나 센서 데이터를 왜곡할 수 있는 간섭을 최소화하여 장비가 웨이퍼 표면과 내부 구조에 대한 명확하고 정확한 정보를 수집할 수 있도록 합니다.
높은 강성 및 내마모성약 3,100kg/m³의 밀도를 가진 ZHHIMG®의 화강암 머신 베이스는 탁월한 강성을 제공합니다. 웨이퍼 검사 장비의 무거운 부품을 변형 없이 지지하여 광학 및 기계 시스템의 정렬을 유지합니다. 또한, 화강암의 높은 경도(모스 경도 6~7)와 뛰어난 내마모성은 머신 베이스 표면을 시간이 지나도 평평하고 매끄럽게 유지해 줍니다. 이러한 균일성은 장기적인 정확도에 필수적입니다. 베이스의 마모나 변형은 장비의 정밀도를 점진적으로 저하시킬 수 있기 때문입니다.
화학적 불활성 반도체 제조는 다양한 화학 물질에 노출되는 과정입니다. 화강암은 화학적 불활성이기 때문에 이러한 물질로 인한 부식에 강합니다. 이러한 특성은 장비 바닥의 무결성을 보호하여 검사 장비의 안정성과 정확성에 영향을 줄 수 있는 화학 물질로 인한 손상을 방지합니다.
결론적으로, 고정밀 화강암 머신 베이스는 단순한 부품이 아니라 웨이퍼 검사 장비의 엄격한 정확도 요건을 충족하는 핵심 요소입니다. 화강암 머신 베이스를 선택할 때는 ZHHIMG®와 같은 신뢰할 수 있는 공급업체를 선택하십시오. ZHHIMG®는 다양한 인증과 품질에 대한 헌신을 통해 모든 화강암 머신 베이스가 첨단 반도체 제조에 필요한 신뢰성과 성능을 제공하도록 보장합니다.
게시 시간: 2025년 6월 3일