I반도체 제조 산업에서 웨이퍼 검사 장비의 정확도는 집적 회로의 품질을 보장하는 데 매우 중요합니다. ZHHIMG®에서 제공하는 것과 같은 고정밀 화강암 기계 베이스는 이러한 장비의 성능 향상에 중요한 역할을 합니다. 이러한 베이스가 어떤 차이를 만들어내는지 살펴보겠습니다.
탁월한 치수 안정성화강암은 매우 낮은 열팽창 계수(약 (4–8)×10⁻⁶/℃)를 자랑하며, 이는 많은 금속보다 현저히 낮습니다. 미세한 온도 변화도 측정 오류를 유발할 수 있는 반도체 공장과 같은 엄격하게 제어되는 환경에서도 화강암 기계 바닥은 안정적으로 유지됩니다. 이러한 안정성은 웨이퍼 검사 장비의 부품 배치를 정확하게 유지하여 검사 결과의 정밀도에 영향을 줄 수 있는 열 유도 편차를 방지합니다.
탁월한 진동 감쇠력 생산 현장은 다양한 원인으로 인한 진동으로 가득 차 있는 경우가 많습니다. 화강암의 고유한 감쇠 특성은 감쇠비 0.05~0.1로 이러한 진동을 효과적으로 흡수하고 분산시킵니다. 웨이퍼 검사용
고해상도 이미징과 정밀한 센서 판독을 요구하는 웨이퍼 검사에서 화강암 기반이 제공하는 진동 감소는 매우 중요합니다. 화강암 기반은 이미지를 흐릿하게 하거나 센서 데이터를 왜곡할 수 있는 간섭을 최소화하여 장비가 웨이퍼 표면과 내부 구조에 대한 명확하고 정확한 정보를 수집할 수 있도록 합니다.
높은 강성 및 내마모성약 3100 kg/m³의 밀도를 가진 ZHHIMG®의 화강암 머신 베이스는 탁월한 강성을 제공합니다. 웨이퍼 검사 장비의 무거운 부품을 변형 없이 지지하여 광학 및 기계 시스템의 정렬을 유지합니다. 또한, 화강암의 높은 경도(모스 경도 6-7)와 뛰어난 내마모성은 머신 베이스 표면을 시간이 지나도 평평하고 매끄럽게 유지해 줍니다. 이러한 일관성은 장기적인 정확도에 필수적입니다. 베이스의 마모나 변형은 장비의 정밀도를 점진적으로 저하시킬 수 있기 때문입니다.
화학적 불활성 반도체 제조는 다양한 화학 물질에 노출되는 과정입니다. 화강암의 화학적 불활성은 이러한 물질로 인한 부식에 대한 내성을 제공합니다. 이러한 특성은 장비 베이스의 무결성을 보호하여 검사 장비의 안정성과 정확성에 영향을 줄 수 있는 화학 물질로 인한 손상을 방지합니다.
결론적으로, 고정밀 화강암 머신 베이스는 단순한 부품이 아니라 웨이퍼 검사 장비의 엄격한 정확도 요건을 충족하는 핵심 요소입니다. 화강암 머신 베이스를 선택할 때는 ZHHIMG®와 같은 신뢰할 수 있는 공급업체를 선택하십시오. ZHHIMG®는 다양한 인증과 품질에 대한 헌신을 바탕으로 모든 화강암 머신 베이스가 첨단 반도체 제조에 필요한 신뢰성과 성능을 제공하도록 보장합니다.
게시 시간: 2025년 6월 3일