화강암 정밀 플랫폼의 평탄도를 측정하는 방법.

정밀 제조 및 과학 연구 분야에서 화강암 정밀 플랫폼의 평탄도는 장비의 정확성을 보장하는 핵심 지표입니다. 다음은 몇 가지 주요 탐지 방법과 그 작동 절차에 대한 자세한 소개입니다.
I. 레이저 간섭계 검출 방법
레이저 간섭계는 고정밀 평탄도 검출에 선호되는 도구입니다. ZYGO GPI XP 레이저 간섭계를 예로 들면, 분해능은 0.1nm에 달합니다. 검출을 수행할 때는 먼저 간섭계의 광원을 플랫폼에 정렬하고 플랫폼 표면을 50mm×50mm 격자 영역으로 나눕니다. 이후, 간섭 무늬 데이터를 점별로 수집하고, 제르니케 다항식을 사용하여 데이터를 피팅 및 분석하여 평탄도 오차를 구합니다. 이 방법은 고정밀 플랫폼에 적용 가능하며, ≤0.5μm/m²의 평탄도 오차를 검출할 수 있습니다. 이 방법은 포토리소그래피 장비 및 고급 3좌표 측정기 플랫폼의 검출에 일반적으로 사용됩니다.
ii. 전자 레벨 어레이 방법
전자 수평계 배열 감지는 작동이 간편하고 효율성이 높습니다. TESA A2 전자 수평계(분해능 0.01μm/m)를 선택하여 플랫폼의 X/Y축 방향을 따라 9×9 배열로 배치했습니다. 각 수평계의 경사 데이터를 동시에 수집한 후 최소자승법을 사용하여 계산함으로써 평탄도 값을 정확하게 얻을 수 있습니다. 이 방법은 플랫폼의 국부적인 요철 상태를 효과적으로 파악할 수 있습니다. 예를 들어, 50mm 범위 내에서 0.2μm의 변동도 감지할 수 있어 대량 생산 시 신속한 감지에 적합합니다.
iii. 광학 평면 결정법
광학 평탄 결정법은 작은 면적의 플랫폼 검출에 적합합니다. 광학 평탄 결정을 플랫폼 위의 시험 대상 표면에 단단히 부착하고 단색 광원(예: 나트륨 램프)을 비추어 두 표면 사이에 형성되는 간섭 무늬를 관찰합니다. 줄무늬가 평행한 직선 줄무늬이면 평탄도가 양호함을 나타냅니다. 곡선 줄무늬가 나타나면 줄무늬의 곡률 정도를 기준으로 평탄도 오차를 계산합니다. 각 곡선 줄무늬는 0.316μm의 높이 차이를 나타내며, 평탄도 데이터는 간단한 변환을 통해 얻을 수 있습니다.
4. 3좌표 측정기 검사 방법
3좌표 측정기는 3차원 공간에서 고정밀 측정을 달성할 수 있습니다. 화강암 플랫폼을 측정기 작업대 위에 놓고 프로브를 사용하여 플랫폼 표면의 여러 측정 지점에서 균일하게 데이터를 수집합니다. 측정기 시스템은 이러한 데이터를 처리하고 분석하여 플랫폼의 평탄도 보고서를 생성합니다. 이 방법은 평탄도 측정뿐만 아니라 플랫폼의 다른 기하학적 매개변수도 동시에 얻을 수 있어 대형 화강암 플랫폼을 종합적으로 측정하는 데 적합합니다.
이러한 탐지 방법을 숙지하면 화강암 정밀 플랫폼의 평탄도를 정확하게 평가하고 정밀 장비의 안정적인 작동을 보장하는 데 도움이 됩니다.