반도체 장비 엔지니어에게 무엇이 그들을 잠 못 이루게 하는지 물어보면, 모션 시스템이나 광학 장치라고 대답하는 경우는 드뭅니다. 오히려 장비가 놓여 있는 바닥이라고 대답할 것입니다. 종이 위에서 2나노미터의 정밀도로 위치를 유지하는 웨이퍼 스테이지조차도 움직이거나, 진동하거나, 과열되지 않는 견고한 받침대가 필요합니다.
그 받침대는 보통 검은색 화강암으로 만들어집니다. 화강암이 유행이라서가 아니라, 금속이 할 수 없는 세 가지 장점을 동시에 갖추고 있기 때문입니다. 온도가 변해도 제자리를 유지하고, 진동을 전달하는 대신 흡수하며, 24시간 내내 10년 이상 작동해도 녹슬거나 변형되지 않습니다. ZHHIMG는 바로 이 받침대 부분을 제작합니다.
ZHHIMG 공장에서 검사 중인 커다란 검은색 화강암 판 - 평탄도는 약속이 아닌 계측기를 통해 입증됩니다.
문제는 강도가 아니라 안정성이다.
반도체 장비가 무거운 것은 강도가 필요해서가 아닙니다. 안정성이 필요하기 때문입니다. 모터가 회전하는 동안, 실내 온도가 오르내리는 동안, 그리고 몇 달 동안 중단 없이 가동되는 동안에도 장비는 형태를 유지해야 합니다.
강철과 주철은 온도에 따라 변형되고, 또한 진동합니다. 바이러스보다 작은 특징을 측정하는 도구에서 진동하는 베이스는 고장난 베이스입니다. 목표는 설치 당일뿐 아니라 일년 내내 기준면 역할을 하는 표면을 만드는 것입니다.
블랙 그래닛이 승리하는 이유
저희 흑색 화강암은 대략적인 밀도를 가지고 있습니다.3,100 kg/m³밀도가 높다는 것은 다공성이 낮다는 것을 의미합니다. 다공성이 낮다는 것은 석재가 수분을 흡수하지 않고, 습한 클린룸에서 팽창하지 않으며, 계절 변화에 따라 변형되지 않는다는 것을 의미합니다.
세 가지 특성이 더 중요합니다. 화강암은 열팽창률이 낮아 온도 변화에 따른 변형이 금속보다 훨씬 적습니다. 내부 감쇠율이 높아 진동이 웨이퍼로 전달되는 대신 열로 변환됩니다. 또한 비자성이고 녹슬지 않아 센서에 영향을 주거나 시간이 지나도 부식되지 않습니다. 나노미터 정밀도를 유지해야 하는 장비에는 이러한 특성이 매우 중요합니다.
반도체 장비에서 화강암이 위치하는 곳
당사는 정확도가 중요한 장비 부품에 화강암을 공급합니다. 여기에는 웨이퍼 검사 및 계측 스테이지, 리소그래피 및 레이저 플랫폼, 접합 및 패키징 장비, CMP 및 평탄화 프레임 등이 포함됩니다.화강암 갠트리 시스템가공물 위로 광학 장치와 탐침을 운반하는 장치.
동일한 소재가 PCB 드릴링, 광학 검사 및 정밀 조립용 기계 베이스에도 사용됩니다. 도구는 다르지만 요구 사항은 동일합니다. 즉, 측정값과 일치하지 않는 기준점이 필요합니다.
웨이퍼 스테이지를 결정짓는 세부 사항들
화강암 덩어리 자체는 부품이 아닙니다. 화강암을 부품으로 만드는 것은 그 주변에서 이루어지는 작업입니다. 우리는 화강암에 나사산 삽입물, 진공 채널, 공기 베어링 포켓, 케이블 경로 및 장착면을 가공한 다음, 그 사이의 형상을 도면에 맞춰 고정합니다.
구멍과 삽입물을 설치하여 현장에서 쐐기질 없이 무대, 광학 장치 및 이동 레일이 정렬되도록 합니다. 이것이 슬래브와정밀 화강암 부품— 그리고 바로 이것이 장비 제조업체들이 외부 치수뿐만 아니라 인터페이스 도면까지 보내주는 이유입니다.
마이크론을 읽는 손
화강암 판의 평탄도 작업은 여전히 수작업으로 마무리됩니다. 저희 숙련된 수작업 연마공들은 최대 30년 동안 이 작업을 해왔습니다. 그들은 계측기를 사용하기 훨씬 전에 미크론 수준의 돌출부를 손으로 감지할 수 있습니다.
우리는 그 기술을 자격증이 아닌 출발점으로 여깁니다. 손이 구상하고, 도구가 마무리합니다. 모든 중요 표면은 당사의 검사 라인에서 측정되며, 이 라인은 다양한 장비를 사용하여 운영됩니다.Mahr(독일), WYLER(스위스) 및 Renishaw(영국)숫자가 추첨 결과와 일치할 때까지는 아무것도 배송되지 않습니다.
인증 및 특허를 획득했으며, 감사를 받을 수 있도록 설계되었습니다.
ZHHIMG는 ISO 9001, ISO 45001, ISO 14001 및 CE 인증을 동시에 보유한 업계 유일의 기업이며, 20개 이상의 국제 특허를 보유하고 있습니다. 반도체 고객사는 엄격한 심사를 진행하며, 저희는 고객사가 모든 것을 꼼꼼히 검사해 주기를 바랍니다.
우리의정밀 화강암GE, 삼성, 오라클과 같은 기업에서 사용하고 있으며, 싱가포르 국립대학교와 영국, 독일, 미국의 국가 계측 연구소를 포함한 여러 기관과의 공동 연구를 통해 개발되었습니다. 국가 계측 연구소에서 재료를 측정할 때, 허용 오차는 마케팅용 수치가 아닌 실제 측정된 사실입니다. 속임수도, 은폐도, 기만도 없습니다. 이것이 바로 저희의 업무 방식입니다.
건설업자들이 계속해서 이 분야에 뛰어드는 이유
반도체 장비가 출하될 때, 베이스는 누구도 다시 사양을 조정하지 않는 부분입니다. 제대로 작동하면 전체 장비는 폐기됩니다. 제조업체들이 ZHHIMG를 다시 찾는 이유는 플랫폼 수명 주기 전반에 걸쳐 수치, 마감, 형상이 안정적으로 유지되기 때문입니다.
무대, 갠트리 또는 기계 베이스를 설계 중이시라면, 정밀도 예산, 하중 및 환경 조건을 보내주십시오. 저희 엔지니어들이 작업에 맞는 화강암 등급, 두께 및 삽입물 배치를 결정하고, 이를 입증할 수 있는 측정 데이터를 제공해 드립니다. 더 자세한 내용을 확인해 보세요.초고정밀 화강암 솔루션시작하기 위해.
게시 시간: 2026년 9월 17일