화강암은 내구성, 강도 및 마모 저항성 덕분에 다양한 산업 분야에서 널리 사용되는 재료입니다. 화강암의 활용 분야 중 하나는 반도체 제조 공정으로, 마이크로칩, 집적 회로 및 기타 전자 부품 생산을 위한 기판으로 사용됩니다.
반도체 제조의 필수 구성 요소 중 하나는 광식각 공정으로, 빛을 이용하여 실리콘 웨이퍼에 패턴을 전사하는 공정입니다. 이 공정에서 화강암 판은 패턴 전사에 사용되는 박막을 코팅하는 기판으로 사용됩니다. 화강암은 자연적인 평탄성 덕분에 광식각 공정에 선호되는데, 이는 표면에 도포되는 박막이 매끄럽고 균일하게 형성되도록 보장하기 때문입니다. 박막이 매끄럽고 균일하게 도포되는 것은 웨이퍼에 형성되는 패턴의 정확성과 정밀도를 확보하는 데 매우 중요합니다.
화강암은 클린룸 작업대 및 장비 제작에도 사용됩니다. 반도체 생산 과정에서는 청결이 매우 중요하며, 미세 입자나 먼지 하나라도 부품에 손상을 줄 수 있습니다. 따라서 클린룸에 사용되는 재료는 가루가 떨어지지 않고, 반응성이 없으며, 세척이 용이해야 합니다. 화강암은 이러한 조건을 모두 충족하므로 클린룸 작업대 및 기타 장비 제작에 이상적인 재료입니다.
반도체 제조에서 화강암의 또 다른 용도는 진공 시스템 구축입니다. 진공 시스템은 반도체 부품의 고품질 생산을 보장하는 저압 환경을 조성하는 데 필수적입니다. 화강암은 높은 강도와 낮은 열팽창 계수 덕분에 진공 챔버 구축에 적합한 소재입니다.
결론적으로, 화강암은 내구성, 강도, 열 안정성과 같은 탁월한 특성 덕분에 반도체 제조에 있어 매우 가치 있는 소재입니다. 화강암의 평탄하고 깨끗한 표면은 포토리소그래피, 클린룸 작업대, 진공 시스템에 적합합니다. 반도체 산업에서 화강암이 널리 사용되는 것은 화강암의 다재다능함과 다양한 응용 분야에 대한 적응성을 입증하는 사례이며, 단순히 장식용 소재가 아니라 다양한 산업 공정에서 필수적인 구성 요소임을 보여줍니다.
게시 시간: 2023년 12월 5일