반도체 제조: 칩 제조 공정에서 포토리소그래피 공정은 회로 패턴을 웨이퍼에 정밀하게 전사해야 합니다. 단축 공중 부양 초정밀 모션 모듈의 화강암 베이스는 리소그래피 장비의 웨이퍼 테이블에 고정밀 위치 제어 및 안정적인 지지력을 제공합니다. 예를 들어, ASML을 비롯한 세계적으로 유명한 리소그래피 장비 제조업체들은 자사의 고급 장비에 화강암 베이스 공중 부양 모션 모듈을 사용하여 나노미터 수준의 웨이퍼 위치 정밀도를 제어함으로써 리소그래피 패턴의 정확도를 확보하고, 이를 통해 칩의 집적도와 성능을 향상시키고 있습니다.
정밀 측정 분야: CMM(좌표측정기)은 산업 생산에서 흔히 사용되는 정밀 측정 장비로, 공작물의 크기, 형상 및 위치 정확도를 측정하는 데 사용됩니다. 화강암 받침대 위에 장착된 단축 에어 플로트의 초정밀 모션 모듈은 CMM의 모션 플랫폼으로 활용되어 고정밀 선형 운동을 구현하고 측정 프로브에 안정적인 이동 궤적을 제공합니다. 예를 들어, 헥사곤의 고급 CMM은 이러한 조합을 사용하여 마이크론 수준의 측정 정확도로 크고 복잡한 부품을 측정함으로써 자동차, 항공우주 및 기타 산업 분야의 부품 품질 관리에 강력한 보증을 제공합니다.
항공우주 분야: 항공우주 부품의 가공 및 시험에는 높은 정밀도가 요구됩니다. 예를 들어, 항공기 엔진 블레이드 가공에서는 블레이드 형상 정확도를 확보하기 위해 공구의 이동 궤적을 정밀하게 제어해야 합니다. 단축 공중 부양 초정밀 모션 모듈의 화강암 베이스는 5축 가공 센터 등의 장비에 적용하여 공구에 고정밀 모션 제어를 제공하고 블레이드 가공 정확도가 설계 요구 사항을 충족하도록 보장합니다. 또한, 항공기 엔진 조립 과정에서는 고정밀 측정 장비를 사용하여 부품의 조립 정확도를 검사해야 합니다. 화강암 베이스의 공중 부양 모션 모듈은 측정 장비에 안정적인 지지대와 정확한 이동을 제공하여 조립 품질을 보장합니다.
광학 검사 분야: 광학 부품의 제조 및 테스트 과정에서 광학 부품의 고정밀 위치 결정 및 측정이 필수적입니다. 예를 들어, 거울이나 렌즈와 같은 고정밀 광학 부품을 제조할 때 표면 형상 정확도를 검사하기 위해 간섭계 등의 장비가 필요합니다. 단축 공중 부양 초정밀 모션 모듈의 화강암 받침대는 간섭계의 이동 플랫폼으로 활용되어 서브마이크론 수준의 위치 결정 정확도를 구현하고 광학 부품 검사에 필요한 정확한 데이터를 제공할 수 있습니다. 또한, 레이저 가공 장비에서도 레이저 빔의 스캐닝 궤적을 제어하기 위해 고정밀 모션 플랫폼이 필요한데, 공중 부양 모션 모듈의 화강암 받침대는 이러한 요구 사항을 충족하여 고정밀 레이저 가공을 가능하게 합니다.
게시 시간: 2025년 4월 7일