화강암은 높은 안정성, 낮은 열팽창률, 뛰어난 내식성 등의 우수한 특성으로 인해 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 이러한 특성 덕분에 화강암은 웨이퍼 이송 시스템에서 고정밀 부품을 제작하는 데 이상적인 소재입니다.
반도체 제조 공정에서 웨이퍼 이송 시스템은 제조 공정의 여러 단계를 거쳐 웨이퍼를 운반하는 데 매우 중요한 역할을 합니다. 이러한 시스템은 정밀도와 정확성이 필수적이며, 아주 작은 오차라도 전체 공정에 악영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 웨이퍼 이송 시스템의 구성 요소는 고품질 재료로 제작되어야 하며, 화강암은 이러한 기준을 충족합니다.
화강암 재질로 만들어진 웨이퍼 전송 시스템의 일부 부품은 다음과 같습니다.
1. 진공척 테이블
진공척 테이블은 공정 중 웨이퍼를 고정하는 데 사용되며, 웨이퍼 손상을 방지하기 위해 안정적인 표면을 갖춰야 합니다. 화강암은 평평하고 기공이 없는 표면으로 높은 안정성과 정밀도를 제공하기 때문에 진공척 테이블 제작에 이상적인 소재입니다. 또한, 화강암은 열팽창 계수가 낮아 웨이퍼의 치수 변화를 유발할 수 있는 온도 변화에 강합니다.
2. 공기 베어링 단계
공기 베어링 스테이지는 웨이퍼를 제조 공정의 여러 단계를 거쳐 이송하는 데 사용됩니다. 이 스테이지는 마찰 없는 움직임을 제공하도록 설계되었으며, 이를 위해서는 높은 정밀도와 안정성이 요구됩니다. 화강암은 단단하고 강성이 뛰어나며, 시간이 지나도 변형이나 마모에 강하기 때문에 이 용도에 사용됩니다.
3. 선형 모션 가이드
선형 모션 가이드는 공기 베어링 스테이지를 안내하는 데 사용되며, 오차를 최소화하기 위해 정확한 위치에 설치되어야 합니다. 이 가이드는 화강암으로 제작되는데, 화강암은 기계적 안정성과 강도가 뛰어나기 때문입니다. 또한 내식성이 우수하여 가이드 시스템의 수명을 연장시켜 줍니다.
4. 계측 장비
계측 장비는 웨이퍼 제조 공정 중 웨이퍼의 치수와 특성을 측정하는 데 사용됩니다. 화강암은 높은 강성, 낮은 팽창률, 하중 하에서의 최소한의 변형이라는 장점을 가지고 있어 이러한 장비를 제작하는 데 이상적인 소재입니다. 또한, 화강암의 열 안정성은 계측 장비가 시간이 지나도 안정적이고 정확한 상태를 유지하도록 보장합니다.
결론적으로, 반도체 산업은 정밀도와 정확성에 크게 의존하며, 화강암 소재는 제조 공정에서 매우 높은 신뢰성과 안정성을 입증해 왔습니다. 웨이퍼 이송 시스템의 많은 핵심 부품들이 높은 안정성, 정밀도, 그리고 낮은 열팽창률을 요구하기 때문에, 엔지니어들은 이러한 필수 요건을 충족하기 위해 화강암 소재를 선택해 왔습니다.
게시 시간: 2024년 3월 19일