화강암 소재는 높은 안정성, 낮은 열팽창률, 높은 내부식성 등 우수한 특성으로 인해 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 이러한 특성 덕분에 화강암은 웨이퍼 이송 시스템의 고정밀 부품 제작에 이상적인 소재입니다.
반도체 제조 공정에서 웨이퍼 이송 시스템은 제조 공정의 여러 단계로 웨이퍼를 운반하는 데 중요한 역할을 합니다. 미세한 편차라도 전체 공정에 영향을 미칠 수 있으므로 정밀성과 정확성은 이러한 시스템에 필수적인 요건입니다. 따라서 웨이퍼 이송 시스템의 구성 요소는 고품질 소재로 제작되어야 하며, 화강암은 이러한 기준을 충족합니다.
화강암 재료로 만들어진 웨이퍼 이송 시스템의 일부는 다음과 같습니다.
1. 진공 척 테이블
진공 척 테이블은 공정 중 웨이퍼를 고정하는 데 사용되며, 웨이퍼가 손상되지 않도록 안정적인 표면을 가져야 합니다. 화강암은 평평하고 다공성이 없는 표면을 가지고 있어 높은 안정성과 정밀성을 제공하기 때문에 이 테이블을 제작하는 데 이상적인 소재입니다. 또한, 화강암은 열팽창 계수가 낮아 웨이퍼의 치수 변화를 유발할 수 있는 온도 변화에 강합니다.
2. 공기 베어링 단계
에어 베어링 스테이지는 웨이퍼를 제조 공정의 여러 단계로 이송하는 데 사용됩니다. 이 스테이지는 마찰 없는 움직임을 제공하도록 설계되었으며, 높은 정밀도와 안정성을 요구합니다. 이 응용 분야에는 화강암이 사용되는데, 이는 단단하고 단단하여 시간이 지나도 변형과 마모에 강하기 때문입니다.
3. 선형 모션 가이드
리니어 모션 가이드는 에어 베어링 스테이지를 가이드하는 데 사용되며, 오차를 최소화하기 위해 정확한 위치에 설치해야 합니다. 이 가이드는 뛰어난 기계적 안정성과 강도를 가진 화강암으로 제작되었습니다. 또한, 화강암은 내식성이 뛰어나 가이드 시스템의 수명을 보장합니다.
4. 계측 장비
계측 장비는 제조 공정 중 웨이퍼의 치수와 특성을 측정하는 데 사용됩니다. 화강암은 강성이 높고 팽창률이 낮으며 하중 하에서 변형이 최소화되어 이 장비를 제작하는 데 이상적인 재료입니다. 또한, 화강암의 열 안정성은 계측 장비가 시간이 지나도 안정적이고 정확한 상태를 유지하도록 보장합니다.
결론적으로, 반도체 산업은 정밀성과 정확성에 의존하며, 화강암 소재는 제조 공정에서 높은 신뢰성과 안정성을 입증해 왔습니다. 웨이퍼 이송 시스템의 많은 핵심 부품들이 높은 안정성, 정밀성, 그리고 낮은 열팽창을 요구하기 때문에, 엔지니어들은 이러한 중요한 요건을 충족하기 위해 화강암 소재를 선택해 왔습니다.
게시 시간: 2024년 3월 19일