반도체 제조 분야에서는 정밀하고 정확한 장비가 고품질 칩 생산에 필수적입니다. 반도체 제조 시설에는 안정적이고 고정밀 작동을 보장하기 위해 특정 특성을 가진 재료를 사용해야 하는 여러 부분이 있습니다.
반도체 장비의 표준 부품으로 자리 잡은 재료 중 하나는 화강암입니다. 강도와 안정성으로 유명한 화강암은 반도체 장비에 사용되는 부품을 제작하고 구성하는 데 탁월한 재료입니다. 화강암을 일반적으로 사용하는 반도체 장비 부품은 다음과 같습니다.
1. 베이스 플레이트
반도체 장비의 베이스 플레이트는 진동과 온도 변화를 최소화하기 위해 매우 평평하고 안정적이어야 합니다. 화강암은 이러한 요건을 충족할 수 있는 몇 안 되는 재료 중 하나입니다. 화강암은 치수 안정성이 뛰어나 뒤틀림과 열팽창에 강하여 베이스 플레이트가 시간이 지나도 평탄성을 유지합니다.
2. 단계
스테이지는 웨이퍼 위치 조정, 에칭, 증착과 같은 제조 공정에서 정밀한 움직임을 수행하는 반도체 장비의 핵심 부품입니다. 화강암 스테이지는 높은 강성, 낮은 열팽창, 그리고 뛰어난 감쇠 특성으로 인해 반도체 장비에 널리 사용됩니다. 화강암 스테이지는 움직임이 더욱 정밀하고 장비 고장 위험이 낮습니다.
3. 선형 가이드
선형 가이드는 두 개의 평행한 레일을 따라 선형 운동을 제공하는 기계 장치입니다. 이러한 가이드는 매우 안정적이고 정밀해야 하며, 화강암은 이러한 목적에 이상적인 소재입니다. 화강암은 높은 강성과 감쇠 특성으로 인해 반도체 장비에 사용되는 선형 가이드에 널리 사용되어 제조 공정의 안정성과 정밀성을 보장합니다.
4. 척스
척은 다양한 제조 공정에서 웨이퍼를 고정하고 위치를 조정하는 데 사용됩니다. 화강암 척은 평탄성과 열 안정성으로 인해 널리 사용됩니다. 화강암은 열팽창률이 낮아 온도 변화에 노출되어도 변형되거나 치수가 변하지 않습니다.
5. 검사판
검사판은 반도체 장비에서 생산되는 제품의 품질을 검사하는 데 사용됩니다. 이 판은 매우 평평하고 안정적이어야 하며, 빛을 정확하게 반사할 수 있어야 합니다. 화강암은 높은 반사율, 표면 평탄도, 그리고 치수 안정성으로 인해 반도체 장비의 검사판으로 널리 사용됩니다.
결론적으로, 화강암 요소는 반도체 장비의 정밀 부품에 널리 사용되고 있으며, 뛰어난 특성 덕분에 그 사용 범위가 확대될 것으로 예상됩니다. 높은 강성, 낮은 열팽창, 그리고 뛰어난 감쇠 특성을 갖춘 화강암 요소는 반도체 장비에서 나노 단위의 작업을 수행하는 데 필요한 안정성, 정확성, 그리고 반복성을 제공합니다. 고품질 반도체 장비를 생산하는 기업들은 제품의 성공 가능성을 높이기 위해 최고의 소재에 투자하고 있으며, 화강암은 뛰어난 특성과 신뢰성으로 인해 여전히 필수적인 소재로 자리 잡고 있습니다.
게시 시간: 2024년 3월 19일