정밀 측정 및 가공을 위한 기준 도구인 화강암 플랫폼의 정확도 유지는 생산 품질에 직접적인 영향을 미칩니다. 본 문서에서는 플랫폼이 나노미터 수준의 정확도를 장기간 유지할 수 있도록 환경 관리, 일상 유지 보수 및 전문 교정을 포함하는 체계적인 유지 보수 계획을 제시합니다.
1. 환경 관리: 정밀 보호 장벽 구축
온도 및 습도 관리
작업 환경 온도는 20±1℃로 안정화되어야 합니다. 1℃의 온도 변화는 화강암 플랫폼에 0.5~1μm/m의 열 변형을 발생시킵니다. 작업장에 항온 시스템을 설치하여 에어컨 바람이 플랫폼에 직접 닿지 않도록 해야 합니다.
습도는 40%에서 60% 사이로 유지해야 합니다. 습도가 너무 높으면 금속 부품에 녹이 슬기 쉽고, 습도가 너무 낮으면 정전기가 발생하여 측정에 방해가 될 수 있습니다.
진동 차단
작업대는 스탬핑 기계나 밀링 기계와 같은 진동 발생원으로부터 멀리 떨어뜨려 놓아야 합니다. 진동 장비로부터 3미터 이상의 거리를 유지하는 것이 좋습니다.
진동을 피할 수 없는 경우, 플랫폼 하단에 공기 스프링 충격 흡수 장치를 설치하여 환경 진동이 플랫폼의 평탄도에 미치는 영향을 줄일 수 있습니다(외부 진동을 80% 이상 줄일 수 있음).
2. 일상 유지 관리: 청소부터 보호까지 꼼꼼한 관리
표면 세척 사양
먼지 제거: 먼지 입자(≥5μm)가 플랫폼을 긁지 않도록 매일 사슴 가죽이나 보풀 없는 천으로 같은 방향으로 표면을 닦아주십시오. 잘 지워지지 않는 얼룩은 무수 에탄올(순도 ≥99.7%)로 부드럽게 닦아낼 수 있습니다. 아세톤과 같은 강한 용제는 사용하지 마십시오.
탈지: 기름때가 묻으면 희석한 중성 세제로 닦아낸 후, 탈이온수로 헹구고 자연 건조하여 미네랄 오일이 플랫폼의 미세한 구멍으로 스며드는 것을 방지하십시오.
적재 및 충돌 보호
플랫폼의 하중 지지 능력은 정격 하중의 70% 이내로 제어해야 합니다(예: 1000kg 플랫폼의 경우 하중은 700kg 이하로 유지하는 것이 좋습니다). 이는 국부적인 과부하로 인한 영구 변형을 방지하기 위함입니다.
작업대 위에서 공작물을 강하게 치는 것은 엄격히 금지되어 있습니다. 공구를 다룰 때는 날카로운 물체로 인해 표면이 긁히는 것을 방지하기 위해 부드러운 장갑을 착용하십시오 (20μm 이상의 긁힘은 반사광 경로 측정에 영향을 미칩니다).
3. 전문 교정: 정확도를 과학적으로 유지하는 핵심
교정 주기 설정
일반적인 사용 시나리오: 분기별로 한 번씩 교정하고 레이저 간섭계를 사용하여 평탄도를 측정합니다(정확도 ±0.5μm/m).
사용 빈도가 높거나 열악한 환경인 경우: 매월 교정을 실시하고, 특히 열원 근처의 플랫폼 가장자리와 같이 온도에 민감한 영역을 집중적으로 모니터링해야 합니다.

보정 후 처리
평탄도 편차(예: > ±1μm/m)가 발견될 경우, 반드시 전문 기술자가 W1.5 미세 분말을 사용하여 연마 및 수리해야 합니다. 사포를 이용한 자가 연마는 절대 금지됩니다.
교정 후에는 데이터를 기록하고 보관해야 하며, 유지보수 필요성을 사전에 예측하기 위해 플랫폼 정확도 저하 곡선을 설정해야 합니다.
4. 보관 및 운송: 숨겨진 정밀도 손실을 방지하십시오.
장기 보관을 위한 주요 사항
보관 시에는 방습 및 방진 덮개로 덮어야 합니다. 바닥은 중력으로 인한 휘어짐 변형을 방지하기 위해 세 지점(지지점은 플랫폼 길이의 2/9 지점)으로 지지해야 합니다. (장기간 한 지점에만 지지할 경우 1미터 플랫폼이 0.3μm 정도 처질 수 있습니다.)
플랫폼 지원 지점의 위치를 정기적으로(매달) 이동하여 장기적인 지역적 압력을 방지하십시오.
교통 보호 계획
단거리 운송: 충격 흡수 폼으로 감싸고 견고한 프레임에 고정하여 가속도를 2g 이내로 유지합니다.
장거리 운송 시: 진공 포장 후 건조 질소로 충전해야 합니다. 도착 후, 응결수로 인한 정확도 저하를 방지하기 위해 24시간 동안 온도가 평형에 도달할 때까지 방치한 후 포장을 개봉하십시오.
5. 고장 예측: 초기 문제 식별 기법
육안 검사: 40배 확대경으로 표면을 정기적으로 관찰하십시오. 연속적인 긁힘이나 광택의 현저한 감소가 발견되면 정확도가 저하되었을 가능성이 있습니다.
소리 감지: 플랫폼을 가볍게 두드려 보세요. 소리가 거칠게 들린다면 (정상적으로는 깨끗한 소리가 나야 합니다), 내부에 미세한 균열이 있을 수 있습니다. 즉시 사용을 중단하고 점검하십시오.
이 유지보수 시스템을 통해 ZHHIMG® 화강암 플랫폼은 10년 동안 ±1μm/m의 평탄도를 유지할 수 있으며, 이는 적절한 유지보수가 이루어지지 않는 플랫폼의 정밀도 수명보다 3배 이상 긴 기간입니다. 실제로 한 반도체 공장에서 이 솔루션을 도입한 후 플랫폼 교정 빈도가 50% 감소하고 연간 유지보수 비용이 15만 위안 이상 절감된 사례가 있습니다.
게시 시간: 2025년 6월 18일
